CN217620060U - 一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，包括第一手柄和第二手柄,第一手柄的头部横向设置有一镊子头滑动件，镊子头滑动件的长度方向上设有镂空槽，镂空槽内设有两个能够沿着镂空槽滑动的活动镊子头。本实用新型在原有基础上，不仅增大镊子与碳化硅外延片的接触面积，而且利用三角形最稳原理新增镊子头，使其适用于夹取多种尺寸的碳化硅外延片，并且受力点易为控制，在一定程度上，降低碳化硅外延片边缘损伤、掉落的概率。本实用新型结构简单、调节宽度方便，适应各种尺寸的碳化硅外延片夹取。

Description

一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子

技术领域

本实用新型涉及半导体碳化硅外延片辅助夹具，特别涉及一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子。

背景技术

目前，随着碳化硅外延片的快速发展，现市面上碳化硅外延片的尺寸趋于多样化，据了解，现已存在4寸、6寸、8寸碳化硅外延片。

在碳化硅外延片的制造过程中，需要进行多次夹取碳化硅外延片的操作，例如：从承载容器中夹取碳化硅外延片，放入相应的检测设备中进行检测，进而确定碳化硅外延片的制造是否符合标准。现有夹取碳化硅外延片的镊子主要存在以下不足：

现有的夹取碳化硅外延片的夹具为防静电耐高温的4寸晶圆镊子，在不影响使用面积的情况下，镊子与碳化硅外延片的接触面积小；

镊子夹取碳化硅外延片的点位与碳化硅外延片的重心的距离，随着碳化硅外延片的尺寸增大而变远，用现有的镊子不易控制手指对镊子的施加力量；

综合上述，极易造成碳化硅外延片边缘损伤、掉落的不良现象。

发明内容

为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本实用新型的目的在于提供一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，包括第一手柄和第二手柄,所述第一手柄的头部横向设置有一镊子头滑动件，所述镊子头滑动件的长度方向上设有镂空槽，所述镂空槽内设有两个能够沿着所述镂空槽滑动的活动镊子头。两个活动镊子头能够向中间靠拢缩小距离，用于夹持尺寸较小的碳化硅外延片，两个活动镊子头向两端移动时可以增加夹持宽度，用于夹持尺寸较大的碳化硅外延片。

作为本实用新型用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子的一种改进，所述镂空槽内还设有固定镊子头，所述固定镊子头位于两个所述活动镊子头之间。固定镊子头位于中间不动，两个所述活动镊子头可以向固定镊子头靠拢，缩小夹持宽度。

作为本实用新型用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子的一种改进，两个所述活动镊子头上均设有滑动块，所述滑动块内设在所述镂空槽内。滑动块能够在镂空槽内滑动，用于调节活动镊子头的夹持位置，调节方便。

作为本实用新型用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子的一种改进，所述活动镊子头的一端设有连接端、另一端设有夹持端，所述夹持端上设有防滑槽，所述连接端上设有连接孔。

作为本实用新型用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子的一种改进，两个所述活动镊子头通过连接端分别活动连接有活动控制杆，两根所述活动控制杆的另一端活动连接在安装座上，所述安装座活动安装在所述第一手柄上。

作为本实用新型用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子的一种改进，所述活动镊子头通过插销连接所述活动控制杆的一端，所述活动控制杆的另一端通过插销连接所述安装座。安装座的一端通过插销连接在第一手柄上，安装座的一端设有伸出端，两根活动控制杆通过插销连接在伸出端上。

作为本实用新型用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子的一种改进，两根所述活动控制杆连接所述安装座的一端均设有缺口。两根所述活动控制杆向中间靠拢时、缺口可以提供让位。

作为本实用新型用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子的一种改进，所述第一手柄和所述第二手柄的尾端连接，所述第二手柄的头端设有夹持板。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型在原有基础上，不仅增大镊子与碳化硅外延片的接触面积，而且利用三角形最稳原理新增镊子头，使其适用于夹取多种尺寸的碳化硅外延片，并且受力点易为控制，在一定程度上，降低碳化硅外延片边缘损伤、掉落的概率。本实用新型结构简单、调节宽度方便，适应各种尺寸的碳化硅外延片夹取。

附图说明

图1是本实用新型的立体图；

图2是本实用新型的两个活动镊子头和固定镊子头安装在镊子头滑动件的结构示意图；

附图标记为：1、第一手柄2、第二手柄3、镊子头滑动件4、镂空槽5、活动镊子头6、固定镊子头7、活动控制杆8、安装座71、缺口81、伸出端51、滑动块52、连接端53、夹持端54、防滑槽55、连接孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围内。

如图1和图2所示，一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，包括第一手柄1和第二手柄2,第一手柄1的头部横向设置有一镊子头滑动件3，镊子头滑动件3的长度方向上设有镂空槽4，镂空槽4内设有两个能够沿着镂空槽4滑动的活动镊子头5。两个活动镊子头5能够向中间靠拢缩小距离，用于夹持尺寸较小的碳化硅外延片，两个活动镊子头5向两端移动时可以增加夹持宽度，用于夹持尺寸较大的碳化硅外延片。

优选的，镂空槽4内还设有固定镊子头6，固定镊子头6位于两个活动镊子头5之间。固定镊子头6位于中间不动，两个活动镊子头5可以向固定镊子头靠拢，缩小夹持宽度。

优选的，两个活动镊子头5上均设有滑动块51，滑动块51内设在镂空槽4内。滑动块51能够在镂空槽4内滑动，用于调节活动镊子头5的夹持位置，调节方便。

优选的，活动镊子头5的一端设有连接端52、另一端设有夹持端53，夹持端53上设有防滑槽54，连接端52上设有连接孔55。

优选的，两个活动镊子头5通过连接端52分别活动连接有活动控制杆7，两根活动控制杆7的另一端活动连接在安装座8上，安装座8活动安装在第一手柄1上。

优选的，活动镊子头5通过插销连接活动控制杆7的一端，活动控制杆7的另一端通过插销连接安装座8。安装座8的一端通过插销连接在第一手柄1上，安装座8的一端设有伸出端81，两根活动控制杆7通过插销连接在伸出端81上。

优选的，两根活动控制杆7连接安装座8的一端均设有缺口71。两根活动控制杆7向中间靠拢时、缺口71可以提供让位。

优选的，第一手柄1和第二手柄2的尾端连接，第二手柄2的头端设有夹持板21。夹持板21配合两个活动镊子头5和固定镊子头6对产品进行夹持，夹持板21的宽度较大，可以提高夹持接触面，提高夹持的稳定性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和结构的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同范围限定。

Claims (8)

1.一种用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，包括第一手柄和第二手柄,其特征在于，所述第一手柄的头部横向设置有一镊子头滑动件，所述镊子头滑动件的长度方向上设有镂空槽，所述镂空槽内设有两个能够沿着所述镂空槽滑动的活动镊子头。

2.根据权利要求1所述的用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，其特征在于，所述镂空槽内还设有固定镊子头，所述固定镊子头位于两个所述活动镊子头之间。

3.根据权利要求1所述的用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，其特征在于，两个所述活动镊子头上均设有滑动块，所述滑动块内设在所述镂空槽内。

4.根据权利要求1所述的用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，其特征在于，所述活动镊子头的一端设有连接端、另一端设有夹持端，所述夹持端上设有防滑槽，所述连接端上设有连接孔。

5.根据权利要求4所述的用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，其特征在于，两个所述活动镊子头通过连接端分别活动连接有活动控制杆，两根所述活动控制杆的另一端活动连接在安装座上，所述安装座安装在所述第一手柄上。

6.根据权利要求5所述的用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，其特征在于，所述活动镊子头通过插销连接所述活动控制杆的一端，所述活动控制杆的另一端通过插销连接所述安装座。

7.根据权利要求5所述的用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，其特征在于，两根所述活动控制杆连接所述安装座的一端均设有缺口。

8.根据权利要求1所述的用于夹取多种尺寸的半导体碳化硅外延片的镊子，其特征在于，所述第一手柄和所述第二手柄的尾端连接，所述第二手柄的头端设有夹持板。

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