CN217576849U - 硅片取片装置及硅片取片系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种硅片取片装置，包括第一侧板组件、第二侧板组件、第一支撑板、第二支撑板、连接板、第一输送带、第二输送带和第一驱动机构；第一支撑板滑动连接在第一侧板组件上，第二支撑板滑动连接在第二侧板组件上，第一支撑板和第二支撑板之间通过连接板连接；第一输送带绕设于第一侧板组件和第一支撑板上，第二输送带绕设于第二侧板组件和第二支撑板上；第一驱动机构的驱动端连接所述连接板，用于驱动连接板运动，进而同步带动第一支撑板沿第一侧板组件的延伸方向往复运动、第二支撑板沿第二侧板组件的延伸方向往复运动。本申请能够实现对具有多列容置腔的花篮进行取片的功能，即兼容不同尺寸的多分片或整片硅片。

Description

硅片取片装置及硅片取片系统

技术领域

本申请涉及硅片输送技术领域，尤其涉及一种硅片取片装置及硅片取片系统。

背景技术

硅片生产加工完成后，需要统一叠放于用于存放硅片的花篮中，采用输送带输送硅片时，需要将盛有硅片的花篮放置于输送带的一端，输送带连续运转的过程中，控制花篮向下进行间歇动作，进而完成取片过程。

然而随着半分片、三分片等多分片的出现，当同一花篮中并列放置两列或多列多分片时，采用上述方式会导致花篮内其中一列硅片取完后，无法对下一列硅片进行取片，影响取片过程的正常进行。

实用新型内容

为了兼容不同尺寸多分片或整片的取片，本申请提供一种硅片取片装置及硅片取片系统，采用如下的技术方案：

第一方面，本申请提供一种硅片取片装置，包括第一侧板组件、第二侧板组件、第一支撑板、第二支撑板、连接板、第一输送带、第二输送带和第一驱动机构；

第一侧板组件和第二侧板组件并列设置；

第一支撑板滑动连接在第一侧板组件上，第二支撑板滑动连接在第二侧板组件上，第一支撑板和第二支撑板之间通过连接板连接；

第一输送带绕设于第一侧板组件和第一支撑板上，第二输送带绕设于第二侧板组件和第二支撑板上；

第一驱动机构的驱动端连接连接板，用于驱动连接板运动，进而同步带动第一支撑板沿第一侧板组件的延伸方向往复运动、第二支撑板沿第二侧板组件的延伸方向往复运动。

可选的，第一侧板组件包括第一侧板、沿第一侧板延伸方向设置的第一滑轨以及沿第一侧板延伸方向设置的第一滑槽，第一支撑板滑动连接于第一滑轨上，第一滑槽用于承接沿第一侧板延伸方向往复运动的第一支撑板；

第二侧板组件包括第二侧板、沿第二侧板延伸方向设置的第二滑轨以及沿第二侧板延伸方向设置的第二滑槽，第二支撑板滑动连接于第二滑轨上，第二滑槽用于承接沿第二侧板延伸方向往复运动的第二支撑板。

可选的，硅片取片装置还包括第二驱动机构，用于驱动第一输送带和第二输送带运转；

第一侧板组件还包括第一传动件，第二侧板组件还包括第二传动件，第一传动件和第二传动件结构相同且分别对称安装于第一侧板和第二侧板上，第一传动件包括：第一主动轮、第一从动轮、第二从动轮、第一惰轮、第二惰轮和第三惰轮；

第一从动轮安装在第一侧板的第一端，第二从动轮安装在第一支撑板的第一端，且第一从动轮和第二从动轮位于第一水平线上；

第一惰轮安装在第一侧板的第一端，第二惰轮安装在第一侧板的第二端，且第一惰轮和第二惰轮位于第二水平线上，第二水平线位于第一水平线下方；

第一主动轮安装在第一侧板的第一端，且位于第一水平线和第二水平线之间；

第三惰轮安装在第一支撑板的第二端，且位于第一水平线和第二水平线之间；

第一输送带依次绕设于第一主动轮、第一从动轮、第二从动轮、第三惰轮、第二惰轮和第一惰轮上，第二驱动机构与第一主动轮连接运转。

可选的，第一驱动机构为无杆气缸，无杆气缸的缸筒沿第一侧板组件的延伸方向设置，连接板与无杆气缸的滑块相连。

可选的，硅片取片装置还包括第一传感器和第二传感器，第一传感器和第二传感器间隔设置在无杆气缸的滑块的移动路径上。

可选的，第一支撑板和/或第二支撑板的取片端设置有第三传感器，用于感应硅片是否取出至第一输送带和第二输送带上。

可选的，硅片取片装置还包括第一底板，第一底板上沿垂直于第一侧板延伸方向设置有第三滑轨；

第一侧板固定设置于第一底板上；

第二侧板滑动设置于第三滑轨上并通过第一连接件固定。

可选的，第一支撑板上设置有第一悬臂，第一悬臂上沿垂直于第一侧板延伸方向可移动安装有第一规整板；第二支撑板上设置有第二悬臂，第二悬臂上沿垂直于第二侧板延伸方向可移动安装有第二规整板；

第一规整板和第二规整板之间形成有导向端和规整端，位于导向端的第一规整板和第二规整板之间的间距由大到小逐渐减小，位于规整端的第一规整板和第二规整板之间的间距不变。

第二方面，本申请提供一种硅片取片系统，包括：

导轨；

第二底板，滑动设置于导轨上；以及

两个第二方面中任一项的硅片取片装置，均可滑动安装于第二底板上，并通过第二连接件固定安装在第二底板上。

可选的，硅片取片系统还包括调平组件，调平组件设置在硅片取片装置和第二底板之间；

调平组件包括安装块、调平螺栓和调节螺母，安装块固定安装在硅片取片装置上，调平螺栓穿过安装块和第二底板，调节螺母套设在调平螺栓上，且位于第二底板下表面。

如上，采用本申请进行硅片取片时，对于具有单列容置腔的花篮来讲，无需控制第一输送带和第二输送带伸缩。当对具有多列容置腔的花篮进行取片时，首先应使第一输送带和第二输送带处于伸出状态，将花篮放置于第一输送带和第二输送带的前端，当取完一列容置腔内的硅片后，第一驱动机构控制第一输送带和第二输送带缩回，调整花篮位置，将下一列容置腔的底部对准第一输送带和第二输送带，第一驱动机构控制第一输送带和第二输送带再次伸出至对应容置腔的底部，进行取片即可。

采用本申请，通过控制第一输送带和第二输送带的同步伸缩，能够在一列硅片取完后顺利切换至下一列硅片，实现对具有多列容置腔的花篮进行取片的功能，即兼容不同尺寸的多分片或整片硅片。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图，而并不超出本申请要求保护的范围。

图1是本申请实施例给出的硅片取片装置的一种示意图；

图2是图另一视角下的示意图；

图3是图1中第一输送带和第二输送带缩回状态的示意图；

图4是第一传动件的示意图；

图5是体现第一底板与第二底板连接关系的示意图；

图6是本申请实施例给出的硅片取片系统的一种示意图。

图中，附图标记指代如下：

1、第一侧板组件；11、第一侧板；12、第一滑槽；13、第一主动轮；14、第一从动轮；15、第二从动轮；16、第一惰轮；17、第二惰轮； 18、第三惰轮；

2、第二侧板组件；21、第二侧板；211、第一定位板；22、第二滑槽；

3、第一支撑板；31、第一输送带；32、第一悬臂；33、第一规整板；

4、第二支撑板；41、第二输送带；42、第二悬臂；43、第二规整板；

5、连接板；

6、第一驱动机构；61、第一传感器；62、第二传感器；63、第三传感器；64、电容传感放大器；

7、第二驱动机构；

8、第一底板；81、第三滑轨；82、第一定位孔；

100、导轨；110、第二底板；120、第二定位孔；130、第二定位板； 140、安装块；150、调平螺栓；160、调节螺母。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。

为了易于说明，在这里可以使用诸如“上”、“下”、“左”、“右”等空间相对术语，用于说明图中示出的一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。应该理解的是，除了图中示出的方位之外，空间术语意在于包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被倒置，被叙述为位于其他元件或特征“下”的元件将定位在其他元件或特征“上”。因此，示例性术语“下”可以包含上和下方位两者。装置还可以以其他方式定位，例如旋转90度或位于其他方位，这里所用的空间相对说明可相应地解释。

硅片生产加工完成后，统一叠放于“花篮”中，“花篮”是专用于存放硅片的一种存储工具，采用输送带输送硅片时，将装有硅片的花篮放置于输送带上，须使输送带伸入花篮底部，输送带连续运转的过程中，通过控制系统控制花篮间歇向下动作，花篮每下降一次，其内部的一片硅片便落至输送带上，硅片随输送带向前连续输送。花篮内的硅片取完后，输送带可保持不动，更换下一个花篮。

然而随着半分片、三分片等多分片的出现，一些花篮内会设置两列甚至多列容置腔，分别盛放不同规格的多分片，取完一个容置腔内的硅片后，还需要对同一花篮其它容置腔内的硅片进行取片，而此时输送带和花篮之间无法相对移动，导致无法切换至下一容置腔进行取片。因此，本申请旨在提出一种能够对具有多列容置腔的花篮进行取片的装置。

参照图1和图2，为本申请实施例公开的一种硅片取片装置，其包括第一侧板组件1、第二侧板组件2、第一支撑板3、第二支撑板4、连接板5、第一输送带31、第二输送带41和第一驱动机构6。

第一侧板组件1和第二侧板组件2并列设置。第一支撑板3滑动连接于第一侧板组件1上，第一输送带31绕设于第一侧板组件1和第一支撑板3上；第二支撑板4滑动连接于第二侧板组件2上，第二输送带41绕设于第二侧板组件2和第二支撑板4上。连接板5的两端分别与第一支撑板3和第二支撑板4相连，将第一支撑板3和第二支撑板4 连接为一体。

第一驱动机构6的驱动端与连接板5相连，第一驱动机构6驱动连接板5往复动作，进而同步带动第一支撑板3沿第一侧板组件1延伸方向往复运动、第二支撑板4沿第二侧板组件2延伸方向往复运动，实现第一输送带31和第二输送带41的同步伸缩。

参照图1和图3，采用本申请进行硅片取片时，对于具有单列容置腔的花篮来讲，无需控制第一输送带31和第二输送带41伸缩。当对具有多列容置腔的花篮进行取片时，首先应使第一输送带31和第二输送带41处于伸出状态，将花篮放置于第一输送带31和第二输送带41的前端，当取完一列容置腔内的硅片后，第一驱动机构6控制第一输送带 31和第二输送带41缩回，调整花篮位置，将下一列容置腔的底部对准第一输送带31和第二输送带41，第一驱动机构6控制第一输送带31 和第二输送带41再次伸出至对应容置腔的底部，进行取片即可。

采用本申请，通过控制第一输送带31和第二输送带41的同步伸缩，能够在一列硅片取完后顺利切换至下一列硅片，实现对具有多列容置腔的花篮进行取片的功能，即兼容不同尺寸的多分片或整片硅片。

参照图1，作为本申请实施例一种可选的技术方案，第一侧板组件 1包括第一侧板11以及沿第一侧板11延伸方向设置的第一滑轨(图中未示出)，第一支撑板3滑动连接于第一滑轨上。第一侧板11上沿其延伸方向开设有第一滑槽12，第一滑槽12用于承接沿第一侧板11延伸方向往复运动的第一支撑板3，第一支撑板3的末端始终位于第一滑槽 12内。

第二侧板组件2包括第二侧板21以及沿第二侧板21延伸方向设置的第二滑轨(图中未示出)，第二支撑板4滑动连接于第二滑轨上。第二侧板21上沿其延伸方向开设有第二滑槽22，第二滑槽22用于承接沿第二侧板21延伸方向往复运动的第二支撑板4，第二支撑板4的末端始终位于第二滑槽22内。

采用上述方式将第一支撑板3滑动设置于第一侧板11上，将第二支撑板4滑动设置于第二侧板21上。但是应当理解的是，上述方式仅仅是本申请的一种具体实现方式，本申请并不局限于上述方式，实际生产加工中，也可采取在第一支撑板3/第二支撑板4上设置滑轨，在第一侧板11/第二侧板21上开设导向槽的方式，将滑轨滑动设置于导向槽内，从而实现滑动连接的目的。

参照图4，可选地，第一侧板组件1还包括第一传动件，第二侧板组件2还包括第二传动件。第一输送带31绕设于第一传动件上，第二输送带41绕设于第二传动件上。

第一传动件包括第一主动轮13、第一从动轮14、第二从动轮15、第一惰轮16、第二惰轮17以及第三惰轮18。

第一从动轮14安装于第一侧板11的第一端，第二从动轮15安装于第一支撑板3的第一端，第一从动轮14和第二从动轮15均位于第一水平线上。应说明的是，本申请将第一输送带31伸出的方向称为取片装置的前端，第一侧板11的第一端指的是其远离取片装置前端的一端，第一支撑板3的第一端即为靠近取片装置前端的一端。

第一惰轮16安装于第一侧板11的第一端，第二惰轮17安装于第一侧板11的第二端，第一惰轮16和第二惰轮17均位于第二水平线上。其中第一水平线和第二水平线位于同一竖直平面内，且第二水平线位于第一水平线的下方。

第一主动轮13安装于第一侧板11的第一端，且位于第一水平线和所述第二水平线之间。硅片取片装置还包括第二驱动机构7，第二驱动机构7的输出轴与第一侧板11和第二侧板21转动连接，第二驱动机构 7的输出轴与第一主动轮13相连，用于驱动第一主动轮13转动。

第三惰轮18安装于第一支撑板3的第二端，且位于第一水平线和所述第二水平线之间。可选的，第三惰轮18可与第一主动轮13位于同一水平线上。

第一输送带31依次绕设于第一主动轮13、第一从动轮14、第二从动轮15、第三惰轮18、第二惰轮17和第一惰轮16上，第二驱动机构 7驱动第一主动轮13转动，从而带动第一从动轮14、第二从动轮15、第一惰轮16、第二惰轮17以及第三惰轮18转动。

采用上述第一传动件，当第一驱动机构6控制第一支撑板3向前运动时，第三惰轮18跟随第一支撑板3一同运动，第三惰轮18与第一主动轮13之间的距离增大；当第一驱动机构6控制第一支撑板3向后运动时，第三惰轮18跟随第一支撑板3一同运动，第三惰轮18与第一主动轮13之间的距离减小。通过第三惰轮18的移动，第一支撑板3伸缩过程中，第一输送带31始终绕设于第一传动件上，并保持张紧状态。

本申请中第二传动件的结构与第一传动件相同，第二传动件安装于第二侧板21上，与第一传动件对称设置，因此本申请在此不再赘述。

作为本申请实施例一种可选的技术方案，第一驱动机构6采用无杆气缸，无杆气缸的缸筒沿第一侧板组件1的延伸方向设置，连接板5与无杆气缸的滑块相连。无杆气缸的滑块往复运动时带动连接板5往复运动，实现第一输送带31和第二输送带41的伸缩。

当然，本申请并不局限于上述方式，实际中也可采用滚珠丝杠等机构。

参照图1，可选地，无杆气缸的下方设置有第一传感器61和第二传感器62，第一传感器61和第二传感器62间隔设置在无杆气缸的滑块的移动路径上。无杆气缸的滑块运动过程中，当第一传感器61和第二传感器62感应到无杆气缸的滑块位置后，将信号反馈给控制系统，控制系统控制无杆气缸停止动作，因此通过第一传感器61和第二传感器62可对无杆气缸的滑块的行程进行控制，进而限制第一输送带31和第二输送带41的伸缩距离。当然，为了提高感应灵敏度，也可在无杆气缸的滑块上设置与第一传感器61和第二传感器62适配的感应片。

可选的，第一支撑板3和/或第二支撑板4的取片端设置有第三传感器63，用于感应硅片是否取出至第一输送带31和第二输送带41上。

当第三传感器63感应到硅片取出至第一输送带31和第二输送带 41上后，将信号反馈至控制系统，控制系统控制花篮下降一个单位高度，保证取片过程的顺利进行。

可选的，无杆气缸的滑块上设置有电容传感放大器64，用于增大第三传感器63的感应距离。

参照图2和图5，作为本申请实施例一种可选的技术方案，硅片取片装置还包括第一底板8，第一底板8上沿垂直于所述第一侧板11延伸方向设置有第三滑轨81。第一侧板11固定设置于所述第一底板8上，第二侧板21滑动设置于第三滑轨81上并通过第一连接件(如图2中所示出的第一定位板211的方式)固定。

采用上述方案，方便调节第一侧板11和第二侧板21之间的间距，从而改变第一输送带31和第二输送带41之间的间距，以承接输送不同尺寸规格的硅片。

可选的，第一底板8上沿垂直于第一侧板11延伸方向间隔开设有多个第一定位孔83，第二侧板21的端部固定有第一定位板211，螺钉、螺栓或插销等紧固件穿过第一定位板211后插入第一定位孔83内，从而将第二侧板21固定。

参照图1和图2，作为本申请实施例一种可选的技术方案，第一支撑板3上设置有第一悬臂32，第一悬臂32上沿垂直于第一侧板11延伸方向可移动安装有第一规整板33；第二支撑板4上设置有第二悬臂 42，第二悬臂42上沿垂直于第二侧板21延伸方向可移动安装有第二规整板43。

第一规整板33和第二规整板43相对的一侧表面的前端均加工形成有斜面，以使第一规整板33和第二规整板43之间形成导向端和规整端，位于导向端的第一规整板33和第二规整板43之间的间距由大到小逐渐减小，位于规整端的第一规整板33和第二规整板43之间的间距不变。

当硅片落在第一输送带31和第二输送带41上之后，经过导向端的导向作用向取片装置的中心方向移动，最终通过规整端向后道输送。不仅提高输送的稳定性，也保证硅片向后道输送的过程中处于同一直线上，硅片的排列更为整齐。除此之外，第一规整板33和第二规整板43 可沿垂直于第一侧板11延伸方向滑动，能够对不同尺寸规格的硅片起到导向规整作用。

参照图6，本申请实施例还公开了一种硅片取片系统，包括导轨 100、第二底板110以及上述任一实施例中的硅片取片装置。

其中，硅片取片装置设置有两个，同样的，第二底板110也设置两个，与硅片取片装置一一对应，第二底板110均滑动设置于导轨100上。硅片取片装置分别滑动设置于对应的第二底板110上，并可通过第二连接件(比如图2中所示出第二定位板130的形式)固定安装于第二底板 110上。

采用两个硅片取片装置，在一个取片装置对应的花篮取空后，更换满花篮的时候，可以直接切换另一个取片装置，进而提高取片效率。同时，两个取片装置滑动设置于导轨100上，兼容不同尺寸的硅片取片时，可根据需要适应地调整两个取片装置之间的间距。

可选的，参照图2，第二底板110上沿垂直于第一侧板11延伸方向间隔开设有多个第二定位孔111，第一底板8上固定有第二定位板 130，螺栓、插销或螺钉等紧固件穿过第二定位板130后插入第二定位孔111内，进而将硅片取片装置固定于第二底板110上。

可选的，参照图1，硅片取片系统还包括调平组件，所述调平组件设置在硅片取片装置和第二底板110之间。具体的，调平组件可根据实际空间分配情况设置多组，例如在第一输送带31和第二输送带41的下方分别对应设置一组。

调平组件包括安装块140、调平螺栓150和调节螺母160，安装块 140固定安装在硅片取片装置上，调平螺栓150穿过安装块140和第二底板110，调节螺母160套设在所述调平螺栓上，且位于第二底板110 下表面。

通过控制调节螺母160的位置改变调平螺栓150位于第一底板8和第二底板110之间的长度，进而控制第一输送带31和第二输送带41位于同一平面内，实现硅片的平稳输送。

以上对本申请实施例进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明仅用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想。因此，本领域技术人员依据本申请的思想，基于本申请的具体实施方式及应用范围上做出的改变或变形之处，都属于本申请保护的范围。综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种硅片取片装置，其特征在于，包括第一侧板组件、第二侧板组件、第一支撑板、第二支撑板、连接板、第一输送带、第二输送带和第一驱动机构；

所述第一侧板组件和所述第二侧板组件并列设置；

所述第一支撑板滑动连接在所述第一侧板组件上，所述第二支撑板滑动连接在所述第二侧板组件上，所述第一支撑板和所述第二支撑板之间通过所述连接板连接；

所述第一输送带绕设于所述第一侧板组件和所述第一支撑板上，所述第二输送带绕设于所述第二侧板组件和所述第二支撑板上；

所述第一驱动机构的驱动端连接所述连接板，用于驱动所述连接板运动，进而同步带动所述第一支撑板沿所述第一侧板组件的延伸方向往复运动、所述第二支撑板沿所述第二侧板组件的延伸方向往复运动。

2.根据权利要求1所述的硅片取片装置，其特征在于，所述第一侧板组件包括第一侧板、沿所述第一侧板延伸方向设置的第一滑轨以及沿所述第一侧板延伸方向设置的第一滑槽，所述第一支撑板滑动连接于所述第一滑轨上，所述第一滑槽用于承接沿所述第一侧板延伸方向往复运动的所述第一支撑板；

所述第二侧板组件包括第二侧板、沿所述第二侧板延伸方向设置的第二滑轨以及沿所述第二侧板延伸方向设置的第二滑槽，所述第二支撑板滑动连接于所述第二滑轨上，所述第二滑槽用于承接沿所述第二侧板延伸方向往复运动的所述第二支撑板。

3.根据权利要求2所述的硅片取片装置，其特征在于，

所述硅片取片装置还包括第二驱动机构，用于驱动所述第一输送带和所述第二输送带运转；

所述第一侧板组件还包括第一传动件，所述第二侧板组件还包括第二传动件，所述第一传动件和所述第二传动件结构相同且分别对称安装于所述第一侧板和所述第二侧板上，所述第一传动件包括：第一主动轮、第一从动轮、第二从动轮、第一惰轮、第二惰轮和第三惰轮；

所述第一从动轮安装在所述第一侧板的第一端，所述第二从动轮安装在所述第一支撑板的第一端，且所述第一从动轮和所述第二从动轮位于第一水平线上；

所述第一惰轮安装在所述第一侧板的第一端，所述第二惰轮安装在所述第一侧板的第二端，且所述第一惰轮和所述第二惰轮位于第二水平线上，所述第二水平线位于所述第一水平线下方；

所述第一主动轮安装在所述第一侧板的第一端，且位于所述第一水平线和所述第二水平线之间；

所述第三惰轮安装在所述第一支撑板的第二端，且位于所述第一水平线和所述第二水平线之间；

所述第一输送带依次绕设于所述第一主动轮、第一从动轮、第二从动轮、第三惰轮、第二惰轮和第一惰轮上，所述第二驱动机构与所述第一主动轮连接运转。

4.根据权利要求1所述的硅片取片装置，其特征在于，所述第一驱动机构为无杆气缸，所述无杆气缸的缸筒沿所述第一侧板组件的延伸方向设置，所述连接板与所述无杆气缸的滑块相连。

5.根据权利要求4所述的硅片取片装置，其特征在于，所述硅片取片装置还包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和第二传感器间隔设置在所述无杆气缸的滑块的移动路径上。

6.根据权利要求1所述的硅片取片装置，其特征在于，所述第一支撑板和/或第二支撑板的取片端设置有第三传感器，用于感应硅片是否取出至第一输送带和第二输送带上。

7.根据权利要求2所述的硅片取片装置，其特征在于，所述硅片取片装置还包括第一底板，所述第一底板上沿垂直于所述第一侧板延伸方向设置有第三滑轨；

所述第一侧板固定设置于所述第一底板上；

所述第二侧板滑动设置于所述第三滑轨上并通过第一连接件固定。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片取片装置，其特征在于，所述第一支撑板上设置有第一悬臂，所述第一悬臂上沿垂直于所述第一侧板延伸方向可移动安装有第一规整板；所述第二支撑板上设置有第二悬臂，所述第二悬臂上沿垂直于所述第二侧板延伸方向可移动安装有第二规整板；

所述第一规整板和所述第二规整板之间形成有导向端和规整端，位于所述导向端的所述第一规整板和所述第二规整板之间的间距由大到小逐渐减小，位于所述规整端的所述第一规整板和所述第二规整板之间的间距不变。

9.一种硅片取片系统，其特征在于，包括：

导轨；

第二底板，滑动设置于所述导轨上；以及

两个权利要求1-8中任一项所述的硅片取片装置，均可滑动安装于所述第二底板上，并通过第二连接件固定安装在所述第二底板上。

10.根据权利要求9所述的硅片取片系统，其特征在于，所述硅片取片系统还包括调平组件，所述调平组件设置在所述硅片取片装置和所述第二底板之间；

所述调平组件包括安装块、调平螺栓和调节螺母，所述安装块固定安装在所述硅片取片装置上，所述调平螺栓穿过所述安装块和所述第二底板，所述调节螺母套设在所述调平螺栓上，且位于所述第二底板下表面。

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