CN217516182U - 一种多功能全自动分装晶圆装置 - Google Patents

Abstract

一种多功能全自动分装晶圆装置，包括工作平台、自动机械手臂和晶舟盒；所述自动机械手臂设于工作平台的中间位置，所述晶舟盒设置在工作平台的周边，且所述晶舟盒的取放口朝向工作平台的中间；所述自动机械手臂包括横向滑轨、纵向滑轨、竖向滑轨和取放装置，所述横向滑轨与工作平台固定连接，所述纵向滑轨可横向滑动地与横向滑轨连接，所述竖向滑轨可纵向滑动地与纵向滑轨连接，所述取放装置可竖向滑动地与竖向滑轨连接。此多功能全自动分装晶圆装置可以代替人工将晶圆隔片放置，提高了晶圆的加工效率，而且可以防止在人工放置时，人体皮肤接触到晶圆而对晶圆造成损伤。

Description

一种多功能全自动分装晶圆装置

技术领域

本实用新型属于晶圆加工制造技术领域，尤其涉及一种多功能全自动分装晶圆装置。

背景技术

因晶圆前段制造工艺所需，厚度通常做得比较厚实。所用的晶舟盒在盒内基本都是连续排列放置。但是实际到后道工序时，根据不同的需要，会把晶圆磨薄。在晶圆进行减薄加工后，因厚度已被磨薄，自身强度已很弱，导致磨薄后的晶圆再次放回料架时，弯曲度将会增加。此时再进行取放时，容易触碰到晶圆表面。因此，晶圆在磨薄后需要转换到专用提篮进行隔片放置，需要在上机前将晶圆隔片放置。现有技术中，通过人工抽取转移晶圆，将其放置到其他晶舟盒或者专用提篮中。这些方式不仅人工劳动强度大，而且有些敏感型晶圆或芯片不宜人工接触。因此，有必要提供一种多功能全自动分装晶圆装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多功能全自动分装晶圆装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种多功能全自动分装晶圆装置，包括工作平台、自动机械手臂和晶舟盒；所述自动机械手臂设于工作平台的中间位置，所述晶舟盒设置在工作平台的周边，且所述晶舟盒的取放口朝向工作平台的中间；所述自动机械手臂包括横向滑轨、纵向滑轨、竖向滑轨和取放装置，所述横向滑轨与工作平台固定连接，所述纵向滑轨可横向滑动地与横向滑轨连接，所述竖向滑轨可纵向滑动地与纵向滑轨连接，所述取放装置可竖向滑动地与竖向滑轨连接。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述取放装置包括可以在水平面转动的取晶臂。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述工作平台上设有定位结构，所述晶舟盒的底部设有与定位结构对应的定位脚。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述定位结构为定位槽，所述定位脚的外形与定位槽的形状相对应。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述工作平台的周边设有多个晶舟盒。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述工作平台的周边设有多个放置架，所述放置架中设有多个窗格，所述晶舟盒设于窗格中。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述窗格水平排列和/或竖直排列有多列和/或多排。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述工作平台的底部设有脚轮。

本实用新型具有的有益效果为：此多功能全自动分装晶圆装置可以代替人工将晶圆隔片放置，提高了晶圆的加工效率，而且可以防止在人工放置时，由于人体带有静电，接触到晶圆容易对晶圆造成损坏；取晶臂可以在水平面内转动，便于转移位于自动机械手臂不同方向的晶圆；通过把晶圆放置在具有多个窗格的放置架上，大大提高了一次性转移的晶圆的数量，而不需要频繁地中断自动机械手臂来放置晶舟盒或者专用提篮。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一的结构示意图。

图2为自动机械手臂的结构示意图。

图3为晶圆未转移时晶舟盒的结构示意图。

图4为晶圆转移完成后的晶舟盒的结构示意图。

图5为本实用新型实施例二的结构示意图。

附图标记如下：

1、工作平台；2、自动机械手臂；21、横向滑轨；22、纵向滑轨；23、竖向滑轨；24、取放装置；241、取晶臂；3、晶舟盒；31、定位脚；4、放置架；41、窗格；5、脚轮。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例一

如附图1至附图4所示，一种多功能全自动分装晶圆装置，包括工作平台1、自动机械手臂2和晶舟盒3；所述自动机械手臂2设于工作平台1的中间位置，所述晶舟盒3设置在工作平台1的边沿，且所述晶舟盒3的取放口朝向工作平台1的中间；所述自动机械手臂2包括横向滑轨21、纵向滑轨22、竖向滑轨23和取放装置24，所述横向滑轨21与工作平台1固定连接，所述纵向滑轨22可横向滑动地与横向滑轨21连接，所述竖向滑轨23可纵向滑动地与纵向滑轨22连接，所述取放装置24可竖向滑动地与竖向滑轨23连接。

使用时，首先将装满晶圆的晶舟盒放置在工作平台的边沿，然后再在工作平台的边沿放置至少两个空的晶舟盒，通过自动机械手臂将晶圆取出后自动隔片放置进入空的晶舟盒中。此多功能全自动分装晶圆装置可以代替人工将晶圆隔片放置，提高了晶圆的加工效率，而且可以防止在人工放置时，人体皮肤接触到晶圆而对晶圆造成损坏。

所述取放装置24包括可以在水平面转动的取晶臂241。取晶圆时，将取晶臂放置在晶圆的底面，然后向上托起晶圆，再把晶圆取出，接着放入空的晶舟盒中。取晶臂可以在水平面内转动，便于转移位于自动机械手臂不同方向的晶圆。

所述工作平台1上设有定位结构，所述晶舟盒3的底部设有与定位结构对应的定位脚31。所述定位结构为定位槽，所述定位脚31的外形与定位槽的形状相对应。在放置晶舟盒时，只需要将定位脚放入定位槽中即可，可以使晶舟盒每次都放置在相同的位置，便于自动机械手臂更高效精准地取放晶圆。

所述工作平台1的周边设有多个晶舟盒3，可以一次性转移更多的晶圆。

所述工作平台1的底部设有脚轮5，便于移动。

实施例二

此实施例与实施例一的不同之处仅在于晶舟盒的摆放方式不同。此实施例中所述工作平台1的边沿设有多个放置架4，所述放置架4中设有多个窗格41，所述晶舟盒3设于窗格41中。所述窗格41水平排列和/或竖直排列有多列和/或多排，进一步增加了一次性转移的晶圆的数量，而不需要频繁地中断自动机械手臂来放置晶舟盒。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：包括工作平台(1)、自动机械手臂(2)和晶舟盒(3)；所述自动机械手臂(2)设于工作平台(1)的中间位置，所述晶舟盒(3)设置在工作平台(1)的边沿，且所述晶舟盒(3)的取放口朝向工作平台(1)的中间；所述自动机械手臂(2)包括横向滑轨(21)、纵向滑轨(22)、竖向滑轨(23)和取放装置(24)，所述横向滑轨(21)与工作平台(1)固定连接，所述纵向滑轨(22)可横向滑动地与横向滑轨(21)连接，所述竖向滑轨(23)可纵向滑动地与纵向滑轨(22)连接，所述取放装置(24)可竖向滑动地与竖向滑轨(23)连接。

2.如权利要求1所述的一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：所述取放装置(24)包括可以在水平面转动的取晶臂(241)。

3.如权利要求1所述的一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：所述工作平台(1)上设有定位结构，所述晶舟盒(3)的底部设有与定位结构对应的定位脚(31)。

4.如权利要求3所述的一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：所述定位结构为定位槽，所述定位脚(31)的外形与定位槽的形状相对应。

5.如权利要求1所述的一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：所述工作平台(1)的周边设有多个晶舟盒(3)。

6.如权利要求1所述的一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：所述工作平台(1)的边沿设有多个放置架(4)，所述放置架(4)中设有多个窗格(41)，所述晶舟盒(3)设于窗格(41)中。

7.如权利要求6所述的一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：所述窗格(41)水平排列和/或竖直排列有多列和/或多排。

8.如权利要求1所述的一种多功能全自动分装晶圆装置，其特征在于：所述工作平台(1)的底部设有脚轮(5)。

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