CN217444347U - 一种花篮及硅片清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种花篮及硅片清洗设备，花篮包括相对的两个端板和设置于两个端板之间的至少一组夹持组件，一组夹持组件包括相对的两个用于夹持硅片的夹持杆；各端板均包括端板本体和设置于端板本体上的滑动组件，滑动组件与夹持杆的端部连接；各滑动组件可沿竖直方向移动，以带动各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆遮挡的区域可以露出，以进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。

Description

一种花篮及硅片清洗设备

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗的技术领域，具体涉及一种花篮及硅片清洗设备。

背景技术

目前，硅片清洗设备通常包括多个清洗槽，硅片插入花篮中在各个清洗槽之间转移，以对硅片进行清洗。

相关技术中，自硅片插入花篮之后，花篮的夹持杆与硅片相对位置始终保持不变，硅片固定位置始终被夹持杆的卡齿遮挡，导致硅片遮挡位置的清洗效果差，容易出现脏污残留。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种花篮及硅片清洗设备，以解决相关技术中硅片被花篮夹持杆的卡齿遮挡的位置清洗效果差，容易出现脏污残留的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种花篮，所述花篮包括相对的两个端板和设置于两个所述端板之间的至少一组夹持组件，一组所述夹持组件包括相对的两个夹持杆；

各所述端板均包括端板本体和设置于所述端板本体上的滑动组件，所述滑动组件与所述夹持杆的端部连接；

各所述滑动组件可沿竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。

进一步地，各所述滑动组件包括：滑道和两个相对的滑块；

各所述滑道固定设置于对应的所述端板本体上，在所述花篮的宽度方向上，每个所述滑道具有相对的两个容纳槽，每个所述容纳槽对应滑动设置一个所述滑块；

两个所述端板上第一侧的所述滑块分别与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，第二侧的所述滑块分别与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接，所述第一侧和所述第二侧为所述花篮在其宽度方向上的中心面的两侧；

各所述滑块可在对应的所述容纳槽内沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。

进一步地，所述滑道包括：两个矩形框；

一个所述矩形框包括两个相对的长边杆和连接两个所述长边杆的两个短边杆，以围成一个所述容纳槽，所述长边杆沿所述竖直方向设置；

在所述花篮的宽度方向上，各所述滑块的两端分别滑动设置于靠近其的所述长边杆上，且所述第一侧的两个所述滑块远离所述中心面的一端分别与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，所述第二侧的两个所述滑块远离所述中心面的一端分别与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接。

进一步地，各所述滑动组件还包括：推杆和两个第一移动杆，所述第一移动杆沿所述竖直方向设置；

所述推杆位于所述矩形框的底部，一个所述第一移动杆对应一个所述滑块，各所述第一移动杆的底端分别与所述推杆固定连接，各所述第一移动杆的顶端分别穿设相对的第一短边杆，并与对应的所述滑块的底端固定连接，所述第一短边杆为所述滑块底部的短边杆；

所述推杆可推动两个所述第一移动杆分别带动对应的滑块沿所述竖直方向移动。

进一步地，各所述滑动组件还包括：两个第二移动杆和两个弹性件，所述第二移动杆沿所述竖直方向设置；

一个所述第二移动杆对应一个所述滑块，在所述竖直方向上，各所述第二移动杆的底端分别与对应的所述滑块的顶端固定连接，各所述第二移动杆的顶端分别位于相对的第二短边杆上设有的穿设孔内，所述第二短边杆为所述滑块顶部的短边杆；

两个所述弹性件分别套设于两个所述第二移动杆上，各所述弹性件的一端分别抵接于对应的所述滑块的顶端，另一端分别抵接于相对的所述第二短边杆的内壁；

在所述推杆朝向所述滑块移动的情况下，各所述弹性件被压缩，各所述第二移动杆穿出对应的所述穿设孔，在推动所述推杆移动的力撤去的情况下，各所述弹性件复位，以推动对应的所述滑块复位。

进一步地，各所述滑动组件还包括：两个连接杆，所述连接杆沿所述竖直方向设置；

在所述花篮的宽度方向上，两个所述连接杆相对设置在所述端板本体上，一个所述滑动组件中的两个所述矩形框位于两个所述连接杆之间；

所述第一侧的两个所述滑块分别通过靠近其的所述连接杆与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，第二侧的两个所述滑块分别通过靠近其的所述连接杆与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接；

各所述滑块分别带动靠近其的所述连接杆沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。

进一步地，各所述长边杆上分别设有滑槽，所述滑槽沿所述竖直方向设置；

在所述花篮的宽度方向上，所述滑块包括滑块本体和设置于所述滑块本体的两端的两个滑条；

各所述滑块本体分别位于对应的所述容纳槽内，各所述滑块本体的一端上的滑条分别滑动设置于靠近其的所述滑槽内，各所述滑块本体的另一端上的滑条分别滑动设置于靠近其的所述滑槽内，且分别与靠近其的所述连接杆固定连接。

本实用新型实施例提供的花篮具有以下优势：

在本实用新型实施例中，花篮包括相对的两个端板和设置于两个端板之间的至少一组夹持组件，一组夹持组件包括相对的两个用于夹持硅片的夹持杆；各端板均包括端板本体和滑动设置于端板本体上的滑动组件，滑动组件与夹持杆的端部连接；各滑动组件沿竖直方向移动，以带动各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆的卡齿遮挡的区域可以露出，以进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被清洗，提高了整张硅片的清洗效果。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种硅片清洗设备，包括上述的花篮和多个可容纳所述花篮的清洗槽；

部分所述清洗槽内设有推块，在所述花篮放置于设有所述推块的所述清洗槽中的情况下，所述推块可推动所述花篮的两个滑动组件沿竖直方向移动，以带动所述花篮的各夹持杆沿竖直方向移动。

进一步地，所述清洗槽中设有用于承载所述花篮的承托架；

在所述竖直方向上，一个所述清洗槽中的所述推块高于其中的所述承托架。

进一步地，所述清洗槽中在与每个所述滑动组件相对的设置设有所述推块。

本实用新型实施例提供的硅片清洗设备具有以下优点：

在本实用新型实施例中，硅片清洗设备包括上述花篮和可容纳花篮的清洗槽；清洗槽上设有推块，在花篮放置于设有推块的清洗槽中的情况下，推块可推动花篮的两个滑动组件沿竖直方向移动，以带动花篮的各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆的卡齿遮挡的区域可以露出，进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。

附图说明

图1表示本实用新型实施例提供的一种花篮的示意图之一；

图2表示本实用新型实施例提供的一种花篮的示意图之二；

图3表示本实用新型实施例提供的一种花篮的端板的示意图之一；

图4表示本实用新型实施例提供的一种花篮的端板的示意图之二。

附图标记：

1：花篮；10：端板；101：端板本体；102：滑动组件；103：滑道；104：滑块；1041：滑块本体；1042：滑条；105：矩形框；1051：长边杆；10511：滑槽；1052：短边杆；106：推杆；107：第一移动杆；108：第二移动杆；109：弹性件；111：连接杆；112：中间杆；11：夹持组件；110：夹持杆；12：底杆；13：支撑杆；2：硅片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本实用新型的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。

本实用新型实施例提供的一种花篮1，参照图1至图4，花篮1包括相对的两个端板10和设置在两个端板10之间的至少一组夹持组件11，一组夹持组件11包括相对的两个用于夹持硅片2的夹持杆110；各端板10均包括端板本体101和设置于端板本体101上的滑动组件102，滑动组件102与夹持杆110的端部连接；各滑动组件102可沿竖直方向移动，以带动各夹持杆110沿竖直方向移动。这样，硅片2被夹持杆110遮挡的区域可以露出，进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。

在本实用新型实施例中，如图1和图2所示，花篮1包括相对设置的两个端板10和设置于两个端板10之间的至少一组夹持组件11，一组夹持组件11包括相对的两个夹持杆110。在图1和图2中，两个端板10沿花篮1的长度方向(图示的前后方向)相对设置，两个夹持杆110沿花篮1的宽度方向(图示的左右方向)设置。在实际中，夹持杆110可以为齿杆，每个齿杆沿其长度方向均匀设有多个卡齿，相邻的两个卡齿之间用于插入硅片2。

如图1和图2所示，花篮1还包括至少一根底杆12，底杆12的两端分别与两个端板10连接。当硅片插入两个卡齿之间后，硅片的底端与底杆12接触，底杆12支撑硅片，以避免硅片滑落而受损。若底杆12的数目为多根(大于等于2根)，多根底杆12沿花篮的宽度方向间隔设置。另外，花篮还包括四根支撑杆13，四根支撑杆13位于花篮的两个端板10之间，用来固定连接两个端板10。如图1和图2所示，四根支撑杆13分别连接两个端板10的四个角区域，这样可以使花篮的结构更加稳固。

值得注意的是，夹持杆110的结构不局限于齿杆，也可以为其他结构，例如，夹持杆沿其长度方向均匀设置插入槽，插入槽内用于插入硅片2，本实施例可以根据实际情况进行设定，下文以夹持杆110为齿杆为例进行说明。

需要说明的是，图1和图2中示出了两组夹持组件11，在花篮1的高度方向(也即竖直方向，图中的上下方向)上，两组夹持组件11间隔设置，两组夹持组件11中位于同一侧的两个齿杆对应设置，这样，硅片可以插入两组夹持组件11中相对位置的两个卡齿之间，以使硅片在竖直方向上保持稳定性。图1和图2中可以看出，硅片有四个区域位于卡齿之间，也即，该四个区域被齿杆的卡齿遮挡。实际中夹持组件11的具体设置数目，可以根据实际需求进行设定，不局限于图示的布局方式，例如为了使硅片放置的更稳定，在花篮1的高度方向上，可以在目前的两组夹持组件11中增加一组夹持组件11。

如图3和图4所示，以一个端板10为例进行说明，端板10包括端板本体101和设置于端板本体101的内侧面(靠近齿杆的侧面)上的滑动组件102，滑动组件102可在该内侧面上沿竖直方向移动。一个(简称后边的)滑动组件102与各齿杆的一端(图示的后端)固定连接，另一个(简称前边的)滑动组件102与各齿杆的另一端(图示的前端)固定连接。需要说明的是，齿杆的一端指的是齿杆的一端以及靠近其一端的区域，齿杆的另一端指的是齿杆的另一端以及靠近其另一端的区域。在实际中，两个部件之间固定连接指的是两个部件之间不发生相对位移，实现固定连接的方式有：卡接、粘接、焊接、紧固件连接等，图中滑动组件102与齿杆的端部的固定连接方式可以选择其中一种。

实际中，花篮1可以应用于硅片清洗设备，硅片清洗设备具体可以包括多个清洗槽，例如硅片清洗设备包括10个清洗槽，10个清洗槽依次编号为1号、2号、3号……10号，其中，各个清洗槽中盛放相同或不同的清洗液，总之，10个清洗槽中的清洗液是按照清洗顺序的需要对应放置的。当硅片插入花篮1后，花篮1按照清洗顺序被依次放置于对应的清洗槽中，通过清洗槽中清洗液和/或超声波对硅片进行清洗。例如：当花篮1放置于偶数号(2号、4号……10号)的清洗槽中时，花篮1的两个滑动组件102可沿竖直方向移动，以带动各齿杆沿竖直方向移动，使硅片被齿杆的卡齿遮挡的区域露出。以1号和2号清洗槽为例进行说明，图1所示的花篮1先放置于1号清洗槽中，此时，硅片被齿杆的卡齿遮挡的4个位置没有被充分清洗，清洗效果差，当把花篮1被放置于2号清洗槽中时，花篮1的两个滑动组件102向上移动，如图2所示，以带动各齿杆向上移动，使硅片被齿杆遮挡的区域露出，从而可进行充分清洗。这样，花篮1的齿杆位置可以根据清洗槽的不同而自动调整位置，以使整张硅片都能够充分受到清洗液和/或超声波的作用，避免硅片上产生脏污残留(也可称为“花篮1印”)，从而提高整张硅片的清洗效果。当然，对于滑动组件102在竖直方向上的移动，也可以通过人工完成，而花篮1在放置于部分清洗槽中时，其中的滑动组件102实现自动移动为优选方案，其可以节省人工成本，提高清洗效率。

在本实用新型实施例中，如图3和图4所示，各滑动组件102包括：滑道103和两个滑块104；各滑道103固定设置于对应的端板本体101上，在花篮1的宽度方向上，每个滑道103具有相对的两个容纳槽，每个容纳槽对应滑动设置一个滑块104；两个端板本体101上第一侧的滑块104分别与第一侧的夹持杆110的两端固定连接，第二侧的滑块104分别与第二侧的夹持杆100的两端固定连接，第一侧和第二侧为花篮1在其宽度方向上的中心面的两侧；各滑块104可在对应的容纳槽内沿竖直方向移动，以带动各夹持杆110沿竖直方向移动。

具体而言，如图3和图4所示，以一个端板10为例进行说明，该端板10上的滑动组件102包括滑道103和两个相对的滑块104，滑道103与端板本体101的内侧面固定连接，其可选用上述实现两个部件固定连接方式中的任一种。在花篮1的宽度方向上，滑道103具有相对的两个容纳槽，容纳槽沿竖直方向设置，每个容纳槽内滑动设置一个滑块104，两个滑块104可以在对应的容纳槽内沿竖直方向移动。

具体而言，如图1和图2所示，以花篮1在其宽度方向上的中心面为参考，一个端板10中的两个滑块104位于该中心面的两侧，即为图中的左右两侧，对于一组夹持组件11而言，其中的两个夹持杆110位于该中心面的左右两侧，对于两组夹持组件11而言，该中心面的左/右侧分别有两个夹持杆110。在花篮1中，左侧的两个夹持杆110的后端均与后端板10(后边的端板10)上左侧的滑块104固定连接，左侧的两个夹持杆110的前端均与前端板10(前边的端板10)上左侧的滑块104固定连接，对应的，右侧的两个夹持杆110的后端均与后端板10上右侧的滑块104固定连接，右侧的两个夹持杆110的前端均与前端板10上右侧的滑块104固定连接。

实际中，当花篮1放置于偶数号(2号、4号……10号)的清洗槽中时，花篮1的两个滑动组件102中的滑块104可同时沿竖直方向移动，以带动各齿杆沿竖直方向移动，使硅片被齿杆的卡齿遮挡的区域露出，进行充分清洗。

在本实用新型实施例中，如图3和图4所示，滑道103包括：两个矩形框105；一个矩形框105包括两个相对的长边杆1051和连接两个长边杆1051的两个短边杆1052，以围成一个容纳槽，长边杆1051沿竖直方向设置；在花篮1的宽度方向上，各滑块104的两端分别滑动设置于靠近其的长边杆1051上，且第一侧的两个滑块104远离中心面的一端分别与第一侧的夹持杆110的两端固定连接，第二侧的两个滑块104远离中心面的一端分别与第二侧的夹持杆110的两端固定连接。

具体而言，如图3和图4所示，滑道103包括两个相对设置的矩形框105，两个矩形框105相对中心面对称，一个矩形框105可以包括两个相对的长边杆1051和分别连接两个长边杆1051两端的两个短边杆1052，两个长边杆1051和两个短边杆1052在端板本体101的内侧面上形成一个容纳槽，一个滑块104设置于一个容纳槽内，也即，一个滑块104设置于一个矩形框105内。

具体而言，如图3和图4所示，在花篮1的宽度方向上，以后端板10左右两侧的滑块104为例进行说明，左侧的滑块104的左端滑动设置于左侧的矩形框105中左边的长边杆1051上，且与左侧的两个夹持杆110的后端固定连接，左侧的滑块104的右端滑动设置于该矩形框105中右边的长边杆1051上，这样，左侧的滑块104可在左侧的矩形框105内沿竖直方向移动。同理，右侧的滑块104的左端滑动设置于右侧的矩形框105中左边的长边杆1051上，右侧的滑块104的右后端滑动设置于该矩形框105中右边的长边杆1051上，且与右侧的两个夹持杆110的后端固定连接，这样，右侧的滑块104可在右侧的矩形框105内沿竖直方向移动。

在花篮1的宽度方向上，对于前端板10左右两侧的滑块104，左侧的滑块104的右端滑动设置于左侧的矩形框105中左边的长边杆1051上，且与左侧的两个夹持杆110的前端固定连接，左侧的滑块104的右端滑动设置于该矩形框105中右边的长边杆1051上，这样，左侧的滑块104可在左侧的矩形框105内沿竖直方向移动。同理，右侧的滑块104的左端滑动设置于右侧的矩形框105中左边的长边杆1051上，右侧的滑块104的右端滑动设置于该矩形框105中右边的长边杆1051上，且与右侧的两个夹持杆110的前端固定连接，这样，右侧的滑块104可在右侧的矩形框105内沿竖直方向移动。

在本实用新型实施例中，如图3和图4所示，各滑动组件102还包括：推杆106和两个第一移动杆107，第一移动杆107沿竖直方向设置，在竖直方向上，推杆106位于矩形框105的底部，一个第一移动杆107对应一个滑块104，各第一移动杆107的底端分别与推杆106固定连接，各第一移动杆107的顶端分别穿设相对的第一短边杆，并与对应的滑块104的底端固定连接，第一短边杆为滑块104底部的短边杆1052；推杆106可推动两个第一移动杆107分别带动对应的滑块104沿竖直方向移动。

具体而言，如图3和图4所示，以左端板10为例进行说明，左端板10上的滑动组件102还包括推杆106和两个第一移动杆107，第一移动杆107沿上下方向设置。推杆106位于矩形框105的底部，也即推杆106位于矩形框105的下方，推杆106沿左右方向设置。以花篮1宽度方向上的中心面为参考，两个第一移动杆107分别位于该中心面的左右两侧，两个第一移动杆107的底端(图示的下端)与推杆106的固定连接，也可以认为，推杆106连接两个第一移动杆107的底端，左侧的第一移动杆107穿设左侧的第一短边杆(为左侧的滑块104底部的短边杆1052)，并与左侧的滑块104的底端固定连接，右侧的第一移动杆107穿设右侧的第一短边杆(为右侧的滑块104底部的短边杆1052)，并与右侧的滑块104的底端固定连接。

当花篮1放置于偶数号的清洗槽中时，推杆106可推动两个第一移动杆107沿竖直方向(如向上)移动，两个第一移动杆107分别带动对应的滑块104沿竖直方向(如向上)移动，两个滑块104分别带动与其连接的夹持杆110沿竖直方向(如向上)移动，以使硅片被齿杆的卡齿遮挡的区域露出(参考图3至图4)，进行充分清洗。

需要说明的是，对于第一移动杆107分别与滑块104和推杆106之间的固定连接的实现方式，可选用上述实现两个部件固定连接方式中的任一种，本实施例对此可以不做限定。

在本实用新型实施例中，如图3和图4所示，各滑动组件102还包括：两个第二移动杆108和两个弹性件109，第二移动杆108沿竖直方向设置，一个第二移动杆108对应一个滑块104，在竖直方向上，各第二移动杆108的底端分别与对应的滑块104的顶端固定连接，各第二移动杆108的顶端分别位于相对的第二短边杆上设有的穿设孔内，第二短边杆为滑块104顶部的短边杆1052；两个弹性件109分别套设于两个第二移动杆108上，各弹性件109的一端分别抵接于对应的滑块104的顶端，另一端分别抵接于相对的第二短边杆的内壁；在推杆106朝向滑块104移动的情况下，各弹性件109被压缩，各第二移动杆108穿出对应的穿设孔，在推动推杆106移动的力撤去的情况下，各弹性件109复位，以推动对应的滑块104复位。

具体而言，以后端板10为例进行说明，如图3和图4所示，后端板10上的滑动组件102还包括两个第二移动杆108和两个弹性件109，第二移动杆108沿上下方向设置。以花篮1宽度方向上的中心面为参考，两个第二移动杆108位于该中心面的左右两侧，左侧的第二移动杆108的底端(图示的下端)与左侧的滑块104的顶端(图示的上端)固定连接，左侧的第二短边杆(左侧滑块104顶部的短边杆1052)上设有穿设孔，左侧的第二移动杆108的顶端(图示的上端)位于该穿设孔内，同样地，右侧的第二移动杆108的底端(图示的下端)与右侧的滑块104的顶端(图示的上端)固定连接，右侧的第二短边杆(右侧滑块104顶部的短边杆1052)上设有穿设孔，右侧的第二移动杆108的顶端(图示的上端)位于该穿设孔内。

如图3和图4所示，两个第二移动杆108上分别套设有弹性件109，左侧的第二移动杆108上的弹性件109的一端(图示的下端)抵接于左侧的滑块104的顶面，另一端(图示的上端)抵接于左侧的第二短边杆的内壁(内壁为靠近滑块104的侧壁)上；同样地，右侧的第二移动杆108上的弹性件109的一端(图示的下端)抵接于右侧的滑块104的顶面，另一端(图示的上端)抵接于右侧的第二短边杆的内壁(内壁为靠近滑块104的侧壁)上。这样，当推杆106朝向滑块104移动的情况下，也即，当推杆106向上移动的情况下，两个滑块104分别推动对应的第二移动杆108向上移动，两个第二移动杆108分别穿出其所在的穿设孔，并且分别挤压对应的弹性件109，两个弹性件109被压缩，当推动推杆106向上移动的力撤去时，两个弹性件109复位，并分别推动对应的滑块104向下移动，从而带动两个第一移动杆107向下移动，进而推动推杆106向下移动，以使夹持杆110向下移动至原位(从图4至图3)。

具体而言，弹性件109优选弹簧，也可以选用弹片或具有弹性的中空硅胶筒和中空橡胶筒等，具体可以根据实际需求进行设定。

实际中，从图3至图4，当硅片被夹持杆110(如齿杆的卡齿)遮挡的区域露出，清洗池中的清洗液和/或超声波会对露出的区域进行充分清洗，清洗完成后，在弹性件109的复位作用下，夹持杆110又回到原始的位置(从图4至图3)，以为下一次的清洗做好准备。

在本实用新型实施例中，如图3和图4所示，各滑动组件102还包括：两个连接杆111，连接杆111沿竖直方向设置；在花篮1的宽度方向上，两个连接杆111相对设置在端板本体101上，一个滑动组件102中的两个矩形框105位于两个连接杆111之间；第一侧的两个滑块104分别通过靠近其的连接杆与第一侧的夹持杆110的两端固定连接，第二侧的两个滑块104分别通过靠近其的连接杆与第二侧的夹持杆110的两端固定连接；各滑块104分别带动靠近其的连接杆111沿竖直方向移动，以带动各夹持杆110沿竖直方向移动。

具体而言，如图3和图4所示，以后端板10为例进行说明，后端板10上的滑动组件102还包括两个连接杆111，两个连接杆111沿上下方向设置，以花篮1宽度方向上的中心面为参考，两个连接杆111位于该中心面的左右两侧，且两个矩形框105位于两个连接杆111之间，左侧的连接杆111位于左侧的矩形框105的左侧，且左侧的滑块104的左端穿过该矩形框105中左边的长边杆1051，与左侧的连接杆111固定连接，左侧的连接杆111与左侧的各夹持杆110的后端固定连接，同样地，右侧的连接杆111位于右侧的矩形框105的右侧，且右侧的滑块104的右端穿过该矩形框105中右边的长边杆1051，与右侧的连接杆111固定连接，右侧的连接杆111与右侧的各夹持杆110的后端固定连接。

对于前端板10，左侧的连接杆111位于左侧的矩形框105的左侧，且左侧的滑块104的左端穿过该矩形框105中左边的长边杆1051，与左侧的连接杆111固定连接，左侧的连接杆111与左侧的各夹持杆110的前端固定连接，同样地，右侧的连接杆111位于右侧的矩形框105的右侧，且右侧的滑块104的右端穿过该矩形框105中右边的长边杆1051，与右侧的连接杆111固定连接，右侧的连接杆111与右侧的各夹持杆110的前端固定连接。

当花篮1放置于偶数号的清洗槽中时，推杆106可推动两个第一移动杆107沿竖直方向(如向上)移动，两个第一移动杆107分别带动对应的滑块104沿竖直方向(如向上)移动，两个滑块104分别带动与其连接的连接杆111沿竖直方向(如向上)移动，两个连接杆111分别带动与其连接的夹持杆110沿竖直方向(如向上)移动，以使硅片被夹持杆110(如齿杆的卡齿)遮挡的区域露出(参考图3至图4)，进行充分清洗。

如图3和图4所示，在竖直方向上，连接杆111的长度大于等于同一侧两个夹持杆110之间的距离，如左侧的两个夹持杆110在上下方向之间的距离，这样设置，可以使滑块104通过同侧的连接杆111与同侧的两个夹持杆110固定连接，例如：对于后端板10，左侧的滑块104通过左侧的连接杆111与左侧的两个夹持杆110的后端固定连接。

如图3和图4所示，为了使连接杆111可以更加稳定地固定于靠近其的长边杆1051上，在竖直方向上，长边杆1051的长度大于等于连接杆111的长度，例如：对于后端板10，左侧的矩形框105中左边的长边杆1051的长度大于等于左侧的连接杆111的长度，并且，该长边杆1051大于左侧的矩形框105中左边的长边杆1051。实际中，由于连接杆111会相对靠近其的长边杆1051在竖直方向上移动，因此，连接杆111与该长边杆1051之间设有间隙，例如，对于后端板10，左侧的连接杆111与左侧的矩形框105中左边的长边杆1051之间设有间隙，对于间隙的大小，可以为1mm、2mm等，本实施例对此可以不做限定，具体可以根据实际需求进行设定。

在本实用新型实施例中，如图3和图4所示，各长边杆1051上分别设有滑槽10511，滑槽10511沿竖直方向设置；在花篮1的宽度方向上，滑块104包括滑块本体1041和设置于滑块本体1041的两端的两个滑条1042；各滑块本体1041分别位于对应的容纳槽内，各滑块本体1041的一端上的滑条1042分别滑动设置于靠近其的滑槽10511内，各滑块本体1041的另一端上的滑条1042分别滑动设置于靠近其的滑槽10511内，且分别与靠近其的连接杆111固定连接，滑块本体1041的另一端为滑块本体1041远离中心面的一端。

具体而言，如图4所示，以后端板10右侧的矩形框105为例进行说明，该矩形框105的两个长边杆1051上分别设有滑槽10511，滑槽10511沿上下方向设置。在左右方向上，右侧的滑块104的包括滑块本体1041和设置于滑块本体1041的左右两端的两个滑条1042，左边的滑条1042与该滑块本体1041的左端固定连接，且位于右侧的矩形框105中左边的长边杆1051上的滑槽10511内，并可在该滑槽10511内沿上下方向移动，同样地，右边的滑条1042与该滑块本体1041的右端固定连接，且位于右侧的矩形框105中右边的长边杆1051上的滑槽10511内，并可在该滑槽10511内沿上下方向移动，另外，该滑条1042还与右侧的连接杆111固定连接。对于后端板10左侧的矩形框105，左侧的滑块104中右边的滑条1042与其滑块本体1041的右端固定连接，且位于左侧的矩形框105中右边的长边杆1051上的滑槽10511内，并可在该滑槽10511内沿上下方向移动，同样地，左边的滑条1042与该滑块本体1041的左端固定连接，且位于左侧的矩形框105中左边的长边杆1051上的滑槽10511内，并可在该滑槽10511内沿上下方向移动，另外，该滑条1042还与左侧的连接杆111固定连接。总之，滑块104是通过滑条1042与滑槽10511的滑动配合实现滑块104的上下移动。

需要说明的是，在竖直方向上，一个滑块104中的滑条1042的长度可以大于其中滑块本体1041的长度，如图4所示，这样，可以增大滑块104与靠近其的连接杆111的接触面积，两者之间的连接更加稳定，当然，一个滑块104中的滑条1042的长度也可以小于等于其中滑块本体1041的长度，具体可以根据实际需求进行设定，本实施例对此可以不做限定。

如图3和图4所示，各滑块104的滑块本体1041位于对应的矩形框105内，各第一移动杆107的顶端分别穿设相对的第一短边杆，并与对应的滑块本体1041的底端固定连接；各第二移动杆108的底端分别与对应的滑块本体1041的顶端固定连接；各弹性件109的底端分别抵接于对应的滑块本体1041的顶端，在推杆106朝向滑块104移动的情况下，各弹性件109被滑块本体1041压缩，各第二移动杆108穿出对应的穿设孔，在推动推杆106移动的力撤去的情况下，各弹性件109复位，以推动对应的滑块本体104带动对应的第一移动杆107复位，进而带动推杆106复位，以使夹持杆110移动至原位(从图4至图3)。

另外，如图3和图4所示，一个滑动组件102中的两个矩形框105的底部的两个短边杆1052通过中间杆112连接，中间杆112与矩形框105为一体成型结构，这样，可以提高矩形框105的结构稳定性，从而提高滑块104移动的稳定性及花篮1的使用寿命。

如图1至图4所示，端板本体101为矩形，其上开设有开口，开口从端板本体101的上端的中部区域向下延伸，类似于“凹字型”，这样设置可以节省成本，减轻花篮1的重量，便于拿取。

本实用新型实施例提供的花篮至少具有以下优势：

在本实用新型实施例中，花篮1包括相对的两个端板10和设置于两个端板10之间的至少一组夹持组件11，一组夹持组件11包括相对的两个用于夹持硅片2的夹持杆110；各端板10均包括端板本体101和设置于端板本体101上的滑动组件102，滑动组件102与夹持杆110的端部连接；各滑动组件102可沿竖直方向移动，以带动各夹持杆110沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆110(如齿杆的卡齿)遮挡的区域可以露出，以进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。

本实用新型实施例还提供了一种硅片清洗设备，包括上述的花篮1和多个可容纳花篮1的清洗槽；部分清洗槽内设有推块，在花篮1放置于设有推块的清洗槽中的情况下，推块可推动花篮1的两个滑动组件102沿竖直方向移动，以带动花篮1的各夹持杆110沿竖直方向移动。

在实际中，硅片清洗设备具体可以包括多个清洗槽，例如包括10个清洗槽，10个清洗槽依次编号为1号、2号、3号……10号，其中，各个清洗槽中盛放相同或不同的清洗液，总之，10个清洗槽中的清洗液是按照清洗顺序的需要对应放置的。当硅片插入花篮1后，花篮1按照清洗顺序依次被放置于对应的清洗槽，通过清洗槽中清洗液和/或超声波对硅片进行清洗。多个清洗槽的部分清洗槽内设有推块，例如：偶数号(2号、4号……10号)的清洗槽中设有推块，当花篮1放置于偶数号的清洗槽中时，花篮1的两个滑动组件102可沿竖直方向移动，以带动各夹持杆110沿竖直方向移动，使硅片被夹持杆110(如齿杆的卡齿)遮挡的区域露出。需要说明的是，对于哪些清洗槽中设有推块，可以根据实际需求进行设定，不局限于偶数号清洗槽，下文以偶数号清洗槽中设置推块为例进行说明。

实际应用中，当花篮1处于1、3、5、7、9号清洗槽中时，花篮1的滑动组件102中的滑块104不被顶起，花篮1的各夹持杆110处于原始位置；当花篮1处于2、4、6、8、10号清洗槽中时，花篮1的滑动组件102中的滑块104被推块顶升，花篮1的各夹持杆110自动调整位置，硅片被夹持杆110(如齿杆的卡齿)遮挡的区域重新露出，进行充分清洗。这样，花篮1夹持杆110的位置可以根据清洗槽的不同而自动调整位置，以使整张硅片都能够充分受到清洗液和/或超声波的作用，避免硅片上产生脏污残留(也可称为“花篮1印”)，从而提高整张硅片的清洗效果。

以1号和2号清洗槽为例进行说明，图1所示的花篮1先放置于1号清洗槽中，此时，硅片被夹持杆110遮挡的4个位置没有被充分清洗，当把花篮1放置于2号清洗槽中时，花篮1的两个滑动组件102的滑块104向上移动，如图2所示，以带动各夹持杆110向上移动，使硅片被夹持杆110(如齿杆的卡齿)遮挡的区域露出，从而可进行充分清洗。

在本实用新型实施例中，清洗槽中设有用于承载花篮1的承托架；在竖直方向上，一个清洗槽中的推块高于其中的承托架。

实际中，各清洗槽中均设有承托架，当花篮1完全沉入清洗槽中时，承托架可以承载花篮1，使花篮1中的硅片完成清洗。对于偶数号的清洗槽，其中设置的推块高于承托架。以2号清洗槽为例，当花篮1放入该清洗槽中，且未接触到承托架时，推块可以顶起花篮1的推杆106，使推杆106带动滑块104向上移动，进而带动夹持杆110向上移动，使硅片被夹持杆110遮挡的区域露出。

在本实用新型实施例中，清洗槽中在与每个滑动组件102相对的设置设有推块。

具体而言，由于花篮1包括两个滑动组件102，为了使推块可以同时顶起两个滑动组件102中的推杆106，以使中心面两侧的夹持杆110可以在滑块104的带动下均衡地移动，本实施例在设有推块的清洗槽中可以设有两组推块，一组推块与一个滑动组件102相对设置，另一组推块与另一个滑动组件102相对设置。一组推块包括至少一个推块，若一组推块包括多个(即为2个或2个以上)的推块时，多个推块可以沿花篮的宽度方向间隔设置。

本实用新型实施例提供的硅片清洗设备具有以下优点：

在本实用新型实施例中，硅片清洗设备包括上述花篮和可容纳花篮的清洗槽；清洗槽内设有推块，在花篮放置于设有推块的清洗槽中的情况下，推块可推动花篮的两个滑动组件沿竖直方向移动，以带动花篮的各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆(如齿杆的卡齿)遮挡的区域可以露出，进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。

需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

尽管已描述了本实用新型实施例的可选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括可选实施例以及落入本实用新型实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另一个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本实用新型所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的原理及实现方式，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种花篮，其特征在于，所述花篮(1)包括相对的两个端板(10)和设置于所述端板(10)之间的至少一组夹持组件(11)，一组所述夹持组件(11)包括相对的两个用于夹持硅片(2)的夹持杆(110)；

各所述端板(10)均包括端板本体(101)和设置于所述端板本体(101)上的滑动组件(102)，所述滑动组件(102)与所述夹持杆(110)的端部连接；

各所述滑动组件(102)可沿竖直方向移动，以带动各所述夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。

2.根据权利要求1所述的花篮，其特征在于，各所述滑动组件(102)包括：滑道(103)和两个相对的滑块(104)；

各所述滑道(103)固定设置于对应的所述端板本体(101)上，在所述花篮(1)的宽度方向上，每个所述滑道(103)具有相对的两个容纳槽，每个所述容纳槽对应滑动设置一个所述滑块(104)；

两个所述端板本体(101)上第一侧的所述滑块(104)分别与所述第一侧的夹持杆(110)的两端固定连接，第二侧的所述滑块(104)分别与所述第二侧的夹持杆(110)的两端固定连接，所述第一侧和所述第二侧为所述花篮(1)在其宽度方向上的中心面的两侧；

各所述滑块(104)可在对应的所述容纳槽内沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。

3.根据权利要求2所述的花篮，其特征在于，所述滑道(103)包括：两个矩形框(105)；

一个所述矩形框(105)包括两个相对的长边杆(1051)和连接两个所述长边杆(1051)的两个短边杆(1052)，以围成一个所述容纳槽，所述长边杆(1051)沿所述竖直方向设置；

在所述花篮(1)的宽度方向上，各所述滑块(104)的两端分别滑动设置于靠近其的所述长边杆(1051)上，且所述第一侧的两个所述滑块(104) 远离所述中心面的一端分别与所述第一侧的夹持杆(110)的两端固定连接，所述第二侧的两个所述滑块(104)远离所述中心面的一端分别与所述第二侧的夹持杆(110)的两端固定连接。

4.根据权利要求3所述的花篮，其特征在于，各所述滑动组件(102)还包括：推杆(106)和两个第一移动杆(107)，所述第一移动杆(107)沿所述竖直方向设置；

所述推杆(106)位于所述矩形框(105)的底部，一个所述第一移动杆(107)对应一个所述滑块(104)，各所述第一移动杆(107)的底端分别与所述推杆(106)固定连接，各所述第一移动杆(107)的顶端分别穿设相对的第一短边杆，并与对应的所述滑块(104)的底端固定连接，所述第一短边杆为所述滑块(104)底部的短边杆(1052)；

所述推杆(106)可推动两个所述第一移动杆(107)分别带动对应的滑块(104)沿所述竖直方向移动。

5.根据权利要求4所述的花篮，其特征在于，各所述滑动组件(102)还包括：两个第二移动杆(108)和两个弹性件(109)，所述第二移动杆(108)沿所述竖直方向设置；

一个所述第二移动杆(108)对应一个所述滑块(104)，在所述竖直方向上，各所述第二移动杆(108)的底端分别与对应的所述滑块(104)的顶端固定连接，各所述第二移动杆(108)的顶端分别位于相对的第二短边杆上设有的穿设孔内，所述第二短边杆为所述滑块(104)顶部的短边杆(1052)；

两个所述弹性件(109)分别套设于两个所述第二移动杆(108)上，各所述弹性件(109)的一端分别抵接于对应的所述滑块(104)的顶端，另一端分别抵接于相对的所述第二短边杆的内壁；

在所述推杆(106)朝向所述滑块(104)移动的情况下，各所述弹性件(109)被压缩，各所述第二移动杆(108)穿出对应的所述穿设孔，在推动所述推杆(106)移动的力撤去的情况下，各所述弹性件(109)复位，以推动对应的所述滑块(104)复位。

6.根据权利要求3所述的花篮，其特征在于，各所述滑动组件(102)还包括：两个连接杆(111)，所述连接杆(111)沿所述竖直方向设置；

在所述花篮(1)的宽度方向上，两个所述连接杆(111)相对设置在所述端板本体(101)上，一个所述滑动组件(102)中的两个所述矩形框(105)位于两个所述连接杆(111)之间；

所述第一侧的两个所述滑块(104)分别通过靠近其的所述连接杆(111)与所述第一侧的夹持杆(110)的两端固定连接，所述第二侧的两个所述滑块(104)分别通过靠近其的所述连接杆(111)与所述第二侧的夹持杆(110)的两端固定连接；

各所述滑块(104)分别带动所述连接杆(111)沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。

7.根据权利要求6所述的花篮，其特征在于，各所述长边杆(1051)上分别设有滑槽(10511)，所述滑槽(10511)沿所述竖直方向设置；

在所述花篮(1)的宽度方向上，所述滑块(104)包括滑块本体(1041)和设置于所述滑块本体(1041)的两端的两个滑条(1042)；

各所述滑块本体(1041)分别位于对应的所述容纳槽内，各所述滑块本体(1041)的一端上的滑条(1042)分别滑动设置于靠近其的所述滑槽(10511)内，各所述滑块本体(1041)的另一端上的滑条(1042)分别滑动设置于靠近其的所述滑槽(10511)内，且分别与靠近其的所述连接杆(111)固定连接。

8.一种硅片清洗设备，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的花篮(1)和多个可容纳所述花篮(1)的清洗槽；

部分所述清洗槽内设有推块，在所述花篮(1)放置于设有所述推块的所述清洗槽中的情况下，所述推块可推动所述花篮(1)的两个滑动组件(102)沿竖直方向移动，以带动所述花篮(1)的各夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。

9.根据权利要求8所述的硅片清洗设备，其特征在于，所述清洗槽中设有用于承载所述花篮(1)的承托架；

在所述竖直方向上，一个所述清洗槽中的所述推块高于其中的所述承托架。

10.根据权利要求8所述的硅片清洗设备，其特征在于，所述清洗槽中在与每个所述滑动组件(102)相对的位置设有所述推块。

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