CN217435249U - 一种铝基板退膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种铝基板退膜装置,包括装置本体,所述装置本体顶部表面竖直安装有竖板,所述竖板顶部设置有横板,所述横板底端表面竖直安装有螺杆,所述螺杆顶端设置有步进电机。本实用新型中,通过设置斜台、限位板、螺杆、螺纹套和步进电机的配合使用,便于提高对铝基板的退膜效率,使得在操作时,工作人员把处理液倒入到装置本体内部,然后工作人员把铝基板放到斜台上,之后启动步进电机,然后步进电机带动螺杆旋转,之后在螺杆的旋转下,使螺纹套带动斜台向下移动,从而使斜台带动铝基板侵入装置本体内部中,之后可以使铝基板在溶液内部浸泡,使铝基板充分的与溶液接触,加快对膜的溶解,此方式操作简单,大大提高其工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及铝基板生产技术领域,尤其涉及一种铝基板退膜装置。
背景技术
铝基板退膜机主要应用于蚀刻过程中保护膜的移除,常规的铝基板退膜机主要工作原理是喷嘴喷出氢氧化钠溶液,将保护膜溶解移除。
现有的技术存在以下问题:
但采用喷的方式,虽然可以实现,但溶液与铝基板接触不够充分,不能够对铝基板表面的膜溶解彻底,从而影响后期对铝基板的处理。
我们为此,提出了一种铝基板退膜装置解决上述弊端。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种铝基板退膜装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种铝基板退膜装置,包括装置本体,所述装置本体顶部表面竖直安装有竖板,所述竖板顶部设置有横板,所述横板底端表面竖直安装有螺杆,所述螺杆顶端设置有步进电机,所述螺杆表面螺旋连接有螺纹套,所述螺纹套一端通过连接杆设置有斜台,所述斜台表面贯穿开设有滤孔,所述斜台顶部表面边缘处垂直设置有限位板,所述限位板一端设置有过滤框。
优选的,所述斜台顶部一端设置有支撑杆,所述支撑杆一侧设置有分流管,所述分流管底端表面设置有高压喷头,所述装置本体表面安装有管道,所述管道一端与装置本体内部贯通连接,所述管道表面安装有循环泵,所述循环泵一端通过管道与软管连接,所述软管一端与分流管贯通连接。
优选的,所述限位板外侧表面开设有滑槽,所述过滤框一端表面设置有滑块,所述过滤框通过滑块与滑槽滑动连接。
优选的,所述高压喷头设置有多个,且多个高压喷头等距离安装在分流管底端表面。
优选的,所述竖板表面贯穿开设有让位滑道。
优选的,所述装置本体表面下方设置有排液管。
优选的,所述装置本体表面安装有控制面板,所述控制面板一端通过电源线与步进电机和循环泵电性连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是;
(1)、本实用新型,通过设置斜台、限位板、螺杆、螺纹套和步进电机的配合使用,便于提高对铝基板的退膜效率,使得在操作时,工作人员把处理液倒入到装置本体内部,然后工作人员把铝基板放到斜台上,之后启动步进电机,然后步进电机带动螺杆旋转,之后在螺杆的旋转下,使螺纹套带动斜台向下移动,从而使斜台带动铝基板侵入装置本体内部中,之后可以使铝基板在溶液内部浸泡,使铝基板充分的与溶液接触,加快对膜的溶解,此方式操作简单,大大提高其工作效率,其次通过设置循环泵、分流管、高压喷头和过滤框的配合使用,便于在溶解完成后,工作人员通过相同的方法把斜台移出装置本体上方,之后启动循环泵,然后在循环泵的作用下,使装置本体内部的溶液抽入到分流管内部,之后通过高压喷头喷出,然后在溶液的流动下,使铝基板表面的膜杂质随着溶液流入到过滤框内部,过滤框可以对膜杂质进行过滤,此方式操作简单,便于对退膜后的铝基板进行清理,便于对其后续的处理。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型提出的一种铝基板退膜装置的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种铝基板退膜装置斜台示意图;
图3为本实用新型提出的一种铝基板退膜装置滑槽示意图;
图4为本实用新型提出的一种铝基板退膜装置高压喷头示意图。
图例说明:
1、装置本体;2、循环泵;3、管道;4、软管;5、控制面板;6、竖板;7、步进电机;8、螺杆;9、支撑杆;10、斜台;11、螺纹套;12、连接杆;13、滤孔;14、限位板;15、过滤框;16、滑块;17、滑槽;18、分流管;19、高压喷头。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面结合具体实施方式并参照附图,对本实用新型进一步详细说明。应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本实用新型的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
请参照图1-4,一种铝基板退膜装置,包括装置本体1,所述装置本体1顶部表面竖直安装有竖板6,所述竖板6顶部设置有横板,所述横板底端表面竖直安装有螺杆8,所述螺杆8顶端设置有步进电机7,所述螺杆8表面螺旋连接有螺纹套11,所述螺纹套11一端通过连接杆12设置有斜台10,所述斜台10表面贯穿开设有滤孔13,所述斜台10顶部表面边缘处垂直设置有限位板14,所述限位板14一端设置有过滤框15。
本实施方案中:通过设置斜台10、限位板14、螺杆8、螺纹套11和步进电机7的配合使用,便于提高对铝基板的退膜效率,使得在操作时,工作人员把处理液倒入到装置本体1内部,然后工作人员把铝基板放到斜台10上,之后启动步进电机7,然后步进电机7带动螺杆8旋转,之后在螺杆8的旋转下,使螺纹套11带动斜台10向下移动,从而使斜台10带动铝基板侵入装置本体1内部中,之后可以使铝基板在溶液内部浸泡,使铝基板充分的与溶液接触,加快对膜的溶解,此方式操作简单,大大提高其工作效率。
具体的,所述斜台10顶部一端设置有支撑杆9,所述支撑杆9一侧设置有分流管18,所述分流管18底端表面设置有高压喷头19,所述装置本体1表面安装有管道3,所述管道3一端与装置本体1内部贯通连接,所述管道3表面安装有循环泵2,所述循环泵2一端通过管道3与软管4连接,所述软管4一端与分流管18贯通连接,所述高压喷头19设置有多个,且多个高压喷头19等距离安装在分流管18底端表面。
本实施方案中:通过设置循环泵2、分流管18、高压喷头19和过滤框15的配合使用,便于在溶解完成后,工作人员通过相同的方法把斜台10移出装置本体1上方,之后启动循环泵2,然后在循环泵2的作用下,使装置本体1内部的溶液抽入到分流管18内部,之后通过高压喷头19喷出,然后在溶液的流动下,使铝基板表面的膜杂质随着溶液流入到过滤框15内部,过滤框15可以对膜杂质进行过滤,此方式操作简单,便于对退膜后的铝基板进行清理,便于对其后续的处理。
具体的,所述限位板14外侧表面开设有滑槽17,所述过滤框15一端表面设置有滑块16,所述过滤框15通过滑块16与滑槽17滑动连接。
本实施方案中:通过设置滑槽17和滑块16的配合使用,便于对过滤框15的安装和拆卸,从而方便对过滤框15内部过滤的膜杂进行清理。
具体的,所述竖板6表面贯穿开设有让位滑道。
本实施方案中:通过设置让位滑道,便于对软管4的让位。
具体的,所述装置本体1表面下方设置有排液管,所述装置本体1表面安装有控制面板5,所述控制面板5一端通过电源线与步进电机7和循环泵2电性连接。
本实施方案中:通过设置控制面板1,便于对装置本体1内部的用电元件进行控制,控制面板1控制电路通过本领域的技术人员简单的编程即可实现,属于本领域的公知常识,仅对其进行使用,不进行改造,故不再详细描述控制方式和电路连接。
工作原理:通过设置斜台10、限位板14、螺杆8、螺纹套11和步进电机7的配合使用,便于提高对铝基板的退膜效率,使得在操作时,工作人员把处理液倒入到装置本体1内部,然后工作人员把铝基板放到斜台10上,之后启动步进电机7,然后步进电机7带动螺杆8旋转,之后在螺杆8的旋转下,使螺纹套11带动斜台10向下移动,从而使斜台10带动铝基板侵入装置本体1内部中,之后可以使铝基板在溶液内部浸泡,使铝基板充分的与溶液接触,加快对膜的溶解,此方式操作简单,大大提高其工作效率,其次通过设置循环泵2、分流管18、高压喷头19和过滤框15的配合使用,便于在溶解完成后,工作人员通过相同的方法把斜台10移出装置本体1上方,之后启动循环泵2,然后在循环泵2的作用下,使装置本体1内部的溶液抽入到分流管18内部,之后通过高压喷头19喷出,然后在溶液的流动下,使铝基板表面的膜杂质随着溶液流入到过滤框15内部,过滤框15可以对膜杂质进行过滤,此方式操作简单,便于对退膜后的铝基板进行清理,便于对其后续的处理。
应当理解的是,本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理,而不构成对本实用新型的限制。因此,在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外,本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。
Claims (7)
1.一种铝基板退膜装置,包括装置本体(1),其特征在于,所述装置本体(1)顶部表面竖直安装有竖板(6),所述竖板(6)顶部设置有横板,所述横板底端表面竖直安装有螺杆(8),所述螺杆(8)顶端设置有步进电机(7),所述螺杆(8)表面螺旋连接有螺纹套(11),所述螺纹套(11)一端通过连接杆(12)设置有斜台(10),所述斜台(10)表面贯穿开设有滤孔(13),所述斜台(10)顶部表面边缘处垂直设置有限位板(14),所述限位板(14)一端设置有过滤框(15)。
2.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜装置,其特征在于,所述斜台(10)顶部一端设置有支撑杆(9),所述支撑杆(9)一侧设置有分流管(18),所述分流管(18)底端表面设置有高压喷头(19),所述装置本体(1)表面安装有管道(3),所述管道(3)一端与装置本体(1)内部贯通连接,所述管道(3)表面安装有循环泵(2),所述循环泵(2)一端通过管道(3)与软管(4)连接,所述软管(4)一端与分流管(18)贯通连接。
3.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜装置,其特征在于,所述限位板(14)外侧表面开设有滑槽(17),所述过滤框(15)一端表面设置有滑块(16),所述过滤框(15)通过滑块(16)与滑槽(17)滑动连接。
4.根据权利要求2所述的一种铝基板退膜装置,其特征在于,所述高压喷头(19)设置有多个,且多个高压喷头(19)等距离安装在分流管(18)底端表面。
5.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜装置,其特征在于,所述竖板(6)表面贯穿开设有让位滑道。
6.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜装置,其特征在于,所述装置本体(1)表面下方设置有排液管。
7.根据权利要求1所述的一种铝基板退膜装置,其特征在于,所述装置本体(1)表面安装有控制面板(5),所述控制面板(5)一端通过电源线与步进电机(7)和循环泵(2)电性连接。
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