CN217434717U - 截断机取片下料机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及截断机取片下料机构,包括用于承载硅棒的载料平台,载料平台上方具有能沿载料平台移动的安装架,安装架下方设有与负压装置连通用于吸附硅棒的吸盘,安装架上具有驱动吸盘上下移动的升降装置及驱动吸盘旋转朝向的转动装置,本实用新型将吸盘设计在安装架内侧,能够将转动装置与升降装置设置在载料平台的竖向方向上,节约了空间,避免对横向范围的人员造成损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶硅加工设备技术领域,尤其指截断机取片下料机构。
背景技术
单晶硅棒体在输出过程中需要通过切割设备实现截断形成待加工的厚度,需要在截断台面上通过输送装置进行输送,现有结构中采用单侧输出硅棒或硅片需要设计取片机构占用空间较大。
又如:专利公开号为CN202121448803.5的中国实用新型专利,公开了一种截断机取片机构,截断机取片机构设置于物料承载导轨朝向分离端的一端,通过在物料承载导轨的分离端设置吸盘,依靠负压管路实现固定样片,及取片导轨将样片移出物料承载导轨,由于取片导轨一端朝向物料承载导轨的外侧,导致导轨一端单独伸出设备外一定长度,在作业时操作人员不易注意到导轨,使得操作人员容易碰到导轨受伤。
实用新型内容
为了解决硅棒在上料过冲中容易出现高位冲击造成支撑轮或硅棒损伤的技术问题,本实用新型提供一种截断机取片下料机构。
本实用新型的技术方案如下:一种截断机取片下料机构,包括用于承载硅棒的载料平台,所述载料平台上方具有能沿载料平台移动的安装架,所述安装架下方设有与负压装置连通用于吸附硅棒的吸盘,所述安装架上具有驱动吸盘上下移动的升降装置及驱动吸盘旋转朝向的转动装置。
优选的,所述升降装置的伸缩端固定有升降座,所述转动装置固定于升降座内,所述转动装置的旋转端与吸盘组件固定连接。
优选的,所述吸盘组件包括吸盘气缸与吸盘座,吸盘气缸的伸缩端与吸盘固定连接,所述吸盘座设置有以供吸盘伸出的通孔,所述吸盘嵌套于吸盘座的通孔内。
优选的,所述安装架包括一对分设于载料平台两侧的竖向支撑件,一对竖向支撑件之间的顶部固定有横梁,所述横梁下部固定有竖向导杆,所述升降装置固定于横梁上,所述升降座上具有以供导杆穿过的导孔。
优选的,所述吸盘数目具有两个以上,吸盘座上还设置有用于检测距离的传感器。
优选的,所述载料平台侧部固定有导轨,所述安装架上固定有能与导轨相互配合的滑块,所述安装架由行走驱动机构驱动沿载料平台棒料输送方向移动。
优选的,所述载料平台侧部设有平行于导轨的齿条,所述行走驱动机构包括固定于安装架下部的驱动电机,所述驱动电机的输出端固定有与齿条相啮合的齿轮。
优选的,所述载料平台固定有成对设置的传送滑轮,所述传送滑轮斜向设置。
优选的,升降装置为气缸、油缸或电缸。优
选的,所述转动装置为回转气缸或电机。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
(1)本实用新型将吸盘设计在安装架内侧,能够将转动装置与升降装置设置在载料平台的竖向方向上,节约了空间,避免对横向范围的人员造成损伤。
(2)本实用新型设计吸盘辅助截断机进行硅棒的切割及硅片或截断后硅棒的转运,能够提高硅棒切割的稳定性,能提高转运效率,减少人力,改善作业环境,保障硅片或硅棒的安全性。
附图说明
图1为本实用新型实施例整体立体结构示意图;
图2为本实用新型安装架结构示意图;
图3为本实用新型升降座连同吸盘座结构示意图;
图4为本实用新型图3吸盘座翻转180°状态结构示意图;
图5为本实用新型侧视结构示意图;
图中:10-载料平台,101-滑轮,110-导轨,120-齿条,20-安装架,210- 竖向支撑件,211-滑块,220-横梁,230-驱动电机,231-齿轮,30-吸盘,310- 吸盘气缸,320-吸盘座,40-升降装置,410-升降座,411-导套,420-导杆,50 -转动装置。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。
参见图1-3,一种截断机取片下料机构,包括用于承载硅棒的载料平台10,所述载料平台上方具有能沿载料平台移动的安装架20,所述安装架下方设有与负压装置连通用于吸附硅棒的吸盘30,所述安装架上具有驱动吸盘上下移动的升降装置40及驱动吸盘旋转朝向的转动装置50。
本实施例中,所述安装架20包括一对分设于载料平台两侧的竖向支撑件 210,一对竖向支撑件之间的顶部固定有横梁220,采用龙门架形式的安装架能够将转动装置与升降装置设置在载料平台的竖向上,节约了空间,避免安装架连通吸盘在转运的过程中对横向范围的人员造成损伤。
本实施例中,所述升降装置的伸缩端固定有升降座410,所述转动装置 50固定于升降座内,所述转动装置的旋转端与吸盘组件固定连接。
工作时,在硅棒切割前,通过利用升降装置伸缩带动升降座410,连同转动装置及吸盘同步升降,之后吸盘朝向硅棒的端部贴近并进行负压吸附,切割工作时利用吸盘将切割分离的硅棒牢牢吸附,完成切割后利用升降装置伸缩带动升降座410将切割后的硅片抬升,转动装置将吸盘连同硅片转向背离硅棒一侧,利用安装架移动将吸盘连同硅片置入预设存放位置集中收集,若截断机仅进行截断也可以利用吸盘将硅棒推送至输出端实现辅助送料。
该机构通过吸盘吸附硅棒端部辅助截断机进行硅棒的切割,并实现硅片的转运,能够提高硅棒切割过程的稳定性与精度,提高转运效率,减少人力,改善作业环境,保障硅片的安全性。
在本实用新型的一个实施例中,所述吸盘组件包括与转动装置转动端固定连接的吸盘气缸310及吸盘座320,吸盘气缸伸缩端与吸盘30固定连接,吸盘座320上具有通孔,所述吸盘30嵌套于吸盘座320的通孔内,吸盘气缸固定于转动装置50的旋转端,通过吸盘气缸310的伸缩能够带动吸盘实现推进及回退,以利于更精确地控制吸盘与硅棒的间距,避免硅棒与吸盘直接接触发生损伤。
本实施例中,所述升降装置40为升降气缸,所述转动装置50为回转气缸。
实际设计中,升降气缸、吸盘气缸也可以替换为油缸、直线电机等直线驱动结构,所述的回转气缸可以选用伺服电机或齿条驱动齿轮的方式设计,本实施例中,所述的转动装置至少旋转角度能达到180°以上。
在本实用新型的一个实施例中,所述吸盘数目具有两个以上,图示中为4 个,吸盘沿吸盘座沿圆周方向均匀设置,通过设置多个物料固定吸盘,将固定硅片所需的吸力由单个吸盘分散至多个吸盘上,方便对样片进行均匀受力,避免单个吸盘的中心负压吸力过大造成硅片碎裂、或出现单个吸盘失效造成无法对样片进行固定,或者在需要承载不同尺寸及重量的样片时方便进行吸力及物料固定吸盘固定位置的适配。
吸盘座上还设置有用于检测距离的传感器,传感器可以设计在相邻吸盘之间,以避免与吸盘位置产生干涉,通过吸盘均匀的阵列布局能够保证在吸附过程中对吸盘座320与硅棒端部的控制,传感器可以选用市售的红外式或激光式。
在本实用新型的一个实施例中,为了更好地控制升降座410上下移动的稳定性,所述横梁下部固定有竖向导杆420,所述升降装置固定于横梁220上,所述升降座410上具有以供导杆穿过的导孔,导孔处设置有导套411。
在本实用新型的一个实施例中,所述载料平台侧部固定有导轨110,所述安装架20上固定有能与导轨110相互配合的滑块211,所述安装架由行走驱动机构驱动沿载料平台棒料输送方向移动。
本实施例中,所述载料平台侧部设有平行于导轨110的齿条120,所述行走驱动机构包括固定于安装架20下部的驱动电机230,所述驱动电机的输出端固定有与齿条120相啮合的齿轮231。
当驱动电机工作时,驱动齿轮231与齿条120啮合从而带动安装架沿平行设置的齿条及导轨移动,一般地,所述的导轨与齿条与地面平行,移动架的移动能够满足吸盘快速进行长距离位移,以利于对硅棒的靠近和硅片的收集。
所述的驱动电机230设置于安装架20的下方能够进一步缩小空间占用。
为了实现硅棒在载料平台的移动,在本实用新型上述实施例中,所述载料平台固定有成对设置的传送滑轮101,所述传送滑轮101斜向设置以利于托载硅棒也利于硅棒的移动。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种截断机取片下料机构,其特征在于,包括用于承载硅棒的载料平台,所述载料平台上方具有能沿载料平台移动的安装架,所述安装架下方设有与负压装置连通用于吸附硅棒的吸盘,所述安装架上具有驱动吸盘上下移动的升降装置及驱动吸盘旋转朝向的转动装置。
2.根据权利要求1所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述升降装置的伸缩端固定有升降座,所述转动装置固定于升降座内,所述转动装置的旋转端与吸盘组件固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述吸盘组件包括吸盘气缸与吸盘座,吸盘气缸的伸缩端与吸盘固定连接,所述吸盘座设置有以供吸盘伸出的通孔,所述吸盘嵌套于吸盘座的通孔内。
4.根据权利要求2所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述安装架包括一对分设于载料平台两侧的竖向支撑件,一对竖向支撑件之间的顶部固定有横梁,所述横梁下部固定有竖向导杆,所述升降装置固定于横梁上,所述升降座上具有以供导杆穿过的导孔。
5.根据权利要求2、3或4所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述吸盘数目具有两个以上,吸盘座上还设置有用于检测距离的传感器。
6.根据权利要求1~4任一所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述载料平台侧部固定有导轨,所述安装架上固定有能与导轨相互配合的滑块,所述安装架由行走驱动机构驱动沿载料平台棒料输送方向移动。
7.根据权利要求6所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述载料平台侧部设有平行于导轨的齿条,所述行走驱动机构包括固定于安装架下部的驱动电机,所述驱动电机的输出端固定有与齿条相啮合的齿轮。
8.根据权利要求2所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述载料平台固定有成对设置用于托载硅棒的传送滑轮,所述传送滑轮斜向设置。
9.根据权利要求2所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,升降装置为气缸、油缸或电缸。
10.根据权利要求2所述的一种截断机取片下料机构,其特征在于,所述转动装置为回转气缸或电机。
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CN202220356378.5U Active CN217434717U (zh) | 2022-02-22 | 2022-02-22 | 截断机取片下料机构 |
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- 2022-02-22 CN CN202220356378.5U patent/CN217434717U/zh active Active
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