CN217423867U - 一种单晶硅片烘干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅片烘干装置，包括机体，所述机体的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿延伸至机体的内部固定连接有转轴，所述机体的内部转动连接有转杆，所述转杆和转轴之间设置有传动机构，所述转杆的外部套设有两个转盘，其中一个所述转盘与转杆为固定连接，另外一个所述转盘的表面上安装有锁紧螺栓。本实用新型中，在进行对单晶硅片清洗后烘干时，利用鼓风机工作进行吹风，通过喷嘴可对单晶硅片的表面进行烘干，相比与采用加热管进行烘干时，避免在对烘干后的单晶硅片拿取时对操作人员造成烫伤，安全性得到了保障，实用性更强。

Description

一种单晶硅片烘干装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片烘干技术领域，尤其涉及一种单晶硅片烘干装置。

背景技术

单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

现有的单晶硅片烘干装置中，主要通过加热管散热的高温进行对单晶硅片进行烘干处理，在进行取出时，由于此时的温度较高，很容易对操作人员造成烫伤，导致该装置的实用性较差，为了解决这一难题，因此提出一种单晶硅片烘干装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶硅片烘干装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种单晶硅片烘干装置，包括机体，所述机体的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿延伸至机体的内部固定连接有转轴，所述机体的内部转动连接有转杆，所述转杆和转轴之间设置有传动机构，所述转杆的外部套设有两个转盘，其中一个所述转盘与转杆为固定连接，另外一个所述转盘的表面上安装有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的一端与转杆相抵紧，两个所述转盘的表面一侧均匀固定安装有多组安装块，多组所述安装块的表面上均开设有卡槽，所述机体的内部设置有烘干机构，所述机体的表面上对称安装有两个铰链，两个所述铰链的表面上转动连接有机门，所述机门的表面上固定连接有把手。

进一步的，所述烘干机构包括鼓风机，所述鼓风机固定连接在机体的顶部，所述鼓风机的出风口固定连接有导管，所述导管的一端贯穿延伸至机体的内部，所述导管的表面一侧固定连接有多个喷嘴，能够快速的将单晶硅片表面上的水分进行烘干，加快了烘干的效率，实用性更强。

进一步的，所述传动机构包括主动轮，所述主动轮套设固定连接在转轴的表面上，所述转杆的外表面上套设固定连接有从动轮，所述从动轮与主动轮共同套设有皮带，结构简单，便于两者进行相互传动使用。

进一步的，所述机体的侧壁上安装有两个固定板，两个所述固定板的表面上固定连接有卡套，所述导管卡接在卡套的内部，能够便于进行牢牢的卡紧固定，提高使用时的稳定性。

进一步的，所述机体的外表面上设置有控制面板，所述控制面板的表面上设置有控制器，所述控制器分别与鼓风机和电机为电性连接，能够便于进行简单的控制，操作的过程中更加的灵活。

进一步的，所述机体的底部四周固定连接有四个支撑腿，四个所述支撑腿的底部固定连接有支撑板，能够便于平稳的进行放置，保证使用时的稳定性。

进一步的，所述固定板与机体的侧壁通过锁紧螺钉进行连接。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型通过设置的烘干机构，在进行对单晶硅片清洗后烘干时，利用鼓风机工作进行吹风，通过喷嘴可对单晶硅片的表面进行烘干，相比与采用加热管进行烘干时，避免在对烘干后的单晶硅片拿取时对操作人员造成烫伤，安全性得到了保障，实用性更强。

2、本实用新型通过设置的电机，主动轮、皮带、从动轮、转盘和转杆，在对单晶硅片清洗后进行烘干时，在电机的驱动下带动主动轮转动，主动轮通过皮带带动从动轮上的转杆进行转动，使得转盘上的单晶硅片进行不断的旋转，可加快单晶硅片表面水分的甩干，进而提高单晶硅片烘干时的工作效率，操作的过程更加的便捷，实用性更强。

附图说明

图1为本实用新型的一种单晶硅片烘干装置的主剖图；

图2为本实用新型的一种单晶硅片烘干装置的主视图；

图3为本实用新型的一种单晶硅片烘干装置的转盘俯视图；

图4为本实用新型的一种单晶硅片烘干装置的固定板和卡套的立体图。

图例说明：

1、支撑腿；2、固定板；3、烘干机构；301、导管；302、喷嘴；303、鼓风机；4、卡套；5、从动轮；6、皮带；7、电机；8、主动轮；9、锁紧螺栓；10、机体；11、转杆； 12、转盘；13、安装块；14、卡槽；15、支撑板；16、控制器；17、控制面板；18、铰链；19、把手；20、机门。

具体实施方式

参考图1-4，一种单晶硅片烘干装置，包括机体10，机体10的顶部固定连接有电机7，电机7的输出端贯穿延伸至机体10的内部固定连接有转轴，机体10的内部转动连接有转杆11，转杆11和转轴之间设置有传动机构，转杆11的外部套设有两个转盘12，其中一个转盘12与转杆11为固定连接，另外一个转盘12的表面上安装有锁紧螺栓9，所述锁紧螺栓9的一端与转杆11相抵紧，两个转盘12的表面一侧均匀固定安装有多组安装块13，多组安装块13的表面上均开设有卡槽14，机体10的内部设置有烘干机构3，机体10的表面上对称安装有两个铰链18，两个铰链18的表面上转动连接有机门20，机门20的表面上固定连接有把手19，机体10的侧壁上安装有两个固定板2，两个固定板2 的表面上固定连接有卡套4，导管301卡接在卡套4的内部，机体10的外表面上设置有控制面板17，控制面板17的表面上设置有控制器16，控制器16分别与鼓风机303和电机7为电性连接，机体10的底部四周固定连接有四个支撑腿1，四个支撑腿1的底部固定连接有支撑板15，固定板2与机体10的侧壁通过锁紧螺钉进行连接。

参考图1，烘干机构3包括鼓风机303，鼓风机303固定连接在机体10的顶部，鼓风机303的出风口固定连接有导管301，导管301的一端贯穿延伸至机体10的内部，导管301的表面一侧固定连接有多个喷嘴302，传动机构包括主动轮8，主动轮8套设固定连接在转轴的表面上，转杆11的外表面上套设固定连接有从动轮5，从动轮5与主动轮 8共同套设有皮带6。

本实用新型在使用时，在对单晶硅片进行烘干时，将清洗后的单晶硅片安装在安装块 13的卡槽14内部，同时上方转盘12上的安装块13内部的卡槽14进行卡紧，将转盘12上的锁紧螺栓9进行锁紧固定，保证在转动时更加的稳定，打开电机7，电机7的驱动下带动主动轮8转动，主动轮8通过皮带6带动从动轮5上的转杆11进行转动，使得转盘12上的单晶硅片进行不断的旋转，用力的甩掉单晶硅片表面上的水分，鼓风机303开始进行工作，产生的分经过导管301上的喷嘴302释放出来，起到快速烘干的效果，操作的过程中更加的便捷，实用性更强。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种单晶硅片烘干装置，包括机体(10)，其特征在于：所述机体(10)的顶部固定连接有电机(7)，所述电机(7)的输出端贯穿延伸至机体(10)的内部固定连接有转轴，所述机体(10)的内部转动连接有转杆(11)，所述转杆(11)和转轴之间设置有传动机构，所述转杆(11)的外部套设有两个转盘(12)，其中一个所述转盘(12)与转杆(11)为固定连接，另外一个所述转盘(12)的表面上安装有锁紧螺栓(9)，所述锁紧螺栓(9)的一端与转杆(11)相抵紧，两个所述转盘(12)的表面一侧均匀固定安装有多组安装块(13)，多组所述安装块(13)的表面上均开设有卡槽(14)，所述机体(10)的内部设置有烘干机构(3)，所述机体(10)的表面上对称安装有两个铰链(18)，两个所述铰链(18)的表面上转动连接有机门(20)，所述机门(20)的表面上固定连接有把手(19)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于：所述烘干机构(3)包括鼓风机(303)，所述鼓风机(303)固定连接在机体(10)的顶部，所述鼓风机(303)的出风口固定连接有导管(301)，所述导管(301)的一端贯穿延伸至机体(10)的内部，所述导管(301)的表面一侧固定连接有多个喷嘴(302)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于：所述传动机构包括主动轮(8)，所述主动轮(8)套设固定连接在转轴的表面上，所述转杆(11)的外表面上套设固定连接有从动轮(5)，所述从动轮(5)与主动轮(8)共同套设有皮带(6)。

4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于：所述机体(10)的侧壁上安装有两个固定板(2)，两个所述固定板(2)的表面上固定连接有卡套(4)，所述导管(301)卡接在卡套(4)的内部。

5.根据权利要求2所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于：所述机体(10)的外表面上设置有控制面板(17)，所述控制面板(17)的表面上设置有控制器(16)，所述控制器(16)分别与鼓风机(303)和电机(7)为电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于：所述机体(10)的底部四周固定连接有四个支撑腿(1)，四个所述支撑腿(1)的底部固定连接有支撑板(15)。

7.根据权利要求4所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于：所述固定板(2)与机体(10)的侧壁通过锁紧螺钉进行连接。

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