CN220931523U - 晶圆传送盒用干燥装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供晶圆传送盒用干燥装置，涉及晶圆生产技术领域，包括底座，所述底座上表面两端分别固定连接有驱动机构和支撑架，所述驱动机构一端设置有预处理机构，所述支撑架上设置有干燥机构，干燥之前，通过第一电机驱动预处理机构至传送盒内部，随后通过第二电机带动第一链轮转动，通过链条带动第二链轮同步转动，从而带动转轴转动，从而带动清理盘和清理板转动，清理盘表面、外周面以及清理板上均设置有吸水毛刷，毛刷在离心力的作用下向外散开，对晶圆传送盒内壁上的水分进行吸收，从而能够大大减少传送盒内部的水分，缩短后续干燥时间，避免传送盒温度过高导致人员下料时烫伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体而言，涉及晶圆传送盒用干燥装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆传送盒用于放置并传送晶圆，晶圆盒需要定期进行清洗，清洗后需要对其进行烘干，使用到干燥装置，如申请号为CN202222583056.7的专利提出的晶圆传送盒用干燥装置，包括用于水平支撑晶圆传送盒的门盖的若干支架，当晶圆传送盒承载于支架时，门盖朝向地面方向，还包括连接外部干燥气源的干燥喷头，干燥喷头伸入晶圆传送盒的本体的中央腔室中，用于向中央腔室中传送压缩干燥气体，该干燥装置有利清洗后的残留水分向门盖方向流淌，有利于排出氮气填充口滤嘴中残留的水和污染物，从而提高干燥效果、洁净效果，加快干燥过程，降低使用时其中装载的晶圆被污染的风险，避免氮气填充口滤嘴堵塞，延长晶圆传送盒的使用寿命，提高了晶圆产品良率。
但是上述技术方案在使用时，未对传送盒内的水分进行预处理，仅通过干燥气体对晶圆传送盒进行干燥，干燥所需时间较久，不仅效率低下，还容易导致传送盒温度过高，增大了下料时被烫伤的风险，因此我们对此做出改进，提出晶圆传送盒用干燥装置。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供晶圆传送盒用干燥装置，可以有效解决现有的干燥装置未对传送盒内的水分进行预处理，仅通过干燥气体对晶圆传送盒进行干燥，干燥所需时间较久，不仅效率低下，还容易导致传送盒温度过高，增大了下料时被烫伤的风险的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
晶圆传送盒用干燥装置，包括底座，所述底座上表面两端分别固定连接有驱动机构和支撑架，所述驱动机构一端设置有预处理机构，所述支撑架上设置有干燥机构。
作为优选，所述驱动机构包括固定板，所述固定板与底座上表面固定连接，所述固定板一侧转动连接有丝杆。
作为优选，所述固定板另一侧固定连接有限位杆，所述固定板一端固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端与丝杆固定连接。
作为优选，所述丝杆和限位杆杆身上活动连接有安装板，所述安装板一侧固定连接有支撑板和第二电机，所述支撑板靠近安装板的一端上表面转动连接有第一链轮。
作为优选，所述第二电机的输出端与第一链轮固定连接，所述支撑板远离安装板的一端设置有第二链轮，所述第二链轮与第一链轮之间通过链条连接。
作为优选，所述预处理机构包括转轴，所述转轴转动连接在支撑板远离安装板的一端，所述转轴顶端和底端均固定连接有清理盘，所述转轴下端固定套设在第二链轮内，所述转轴中部轴身上固定套设有连接套，所述连接套两侧分别固定连接有连接杆，所述连接杆远离连接套的一端固定连接有清理板。
作为优选，所述干燥机构包括气缸，所述气缸固定安装在支撑架顶端，所述气缸的输出端贯穿支撑架且固定连接有固定架，所述固定架上表面两端分别固定连接有导向杆，所述导向杆与支撑架滑动连接，所述固定架底部固定连接有防护罩。
作为优选，所述防护罩一侧固定安装有热风机，所述防护罩内部固定连接有若干风管，每个所述风管上均设置有若干喷头，所述热风机与风管连通。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
(1)将晶圆传送盒放置在防护罩下方，启动第一电机带动丝杆转动，驱动安装板和支撑板朝着靠近传送盒的方向移动，预处理机构跟随支撑板同步移动，直至延伸至传送盒内部，第二电机用于对预处理机构进行旋转驱动，具体地，启动第二电机带动第一链轮转动，通过链条带动第二链轮同步转动，从而带动转轴转动，从而带动清理盘和清理板转动，清理盘表面、外周面以及清理板上均设置有吸水毛刷，毛刷在离心力的作用下向外散开，对晶圆传送盒内壁上的水分进行吸收，从而能够大大减少传送盒内部的水分，缩短后续干燥时间，避免传送盒温度过高导致人员下料时烫伤。
(2)在对传送盒预处理后，通过驱动机构将预处理机构带离传送盒，随后启动气缸带动防护罩向下移动，将传送盒罩设在内，随后启动热风机，通过风管和干燥喷头将热风送至防护罩内部，对传送盒内部进行干燥。
附图说明
图1为本实用新型的整体立体结构示意图；
图2为本实用新型的侧视结构示意图；
图3为本实用新型的图2中A-A剖面立体结构示意图；
图4为本实用新型的局部结构爆炸图。
图中：1、底座；2、驱动机构；201、固定板；202、第一电机；203、丝杆；204、安装板；205、第二电机；206、限位杆；207、第一链轮；208、链条；209、第二链轮；210、支撑板；3、预处理机构；301、转轴；302、清理盘；303、连接套；304、连接杆；305、清理板；4、支撑架；5、干燥机构；501、气缸；502、防护罩；503、热风机；504、导向杆；505、固定架；506、风管；507、喷头。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，本实用新型实施例提出了晶圆传送盒用干燥装置，包括底座1，底座1上表面两端分别固定连接有驱动机构2和支撑架4，驱动机构2一端设置有预处理机构3，支撑架4上设置有干燥机构5。
如图1、图2、图4所示，本实用新型的另一实施例中，驱动机构2包括固定板201，固定板201与底座1上表面固定连接，固定板201一侧转动连接有丝杆203，固定板201另一侧固定连接有限位杆206，固定板201一端固定连接有第一电机202，第一电机202的输出端与丝杆203固定连接，丝杆203和限位杆206杆身上活动连接有安装板204，安装板204一侧固定连接有支撑板210和第二电机205，支撑板210靠近安装板204的一端上表面转动连接有第一链轮207，第二电机205的输出端与第一链轮207固定连接，支撑板210远离安装板204的一端设置有第二链轮209，第二链轮209与第一链轮207之间通过链条208连接。
在本实施例中，安装板204一端与丝杆203螺纹连接，另一端与限位杆206滑动连接，工作时，将晶圆传送盒放置在防护罩502下方，启动第一电机202带动丝杆203转动，驱动安装板204和支撑板210朝着靠近传送盒的方向移动，预处理机构3跟随支撑板210同步移动，直至延伸至传送盒内部，第二电机205用于对预处理机构3进行旋转驱动，具体地，启动第二电机205带动第一链轮207转动，通过链条208带动第二链轮209同步转动，从而带动预处理机构3转动。
如图1、图3、图4所示，本实用新型的另一实施例中，预处理机构3包括转轴301，转轴301转动连接在支撑板210远离安装板204的一端，转轴301顶端和底端均固定连接有清理盘302，转轴301下端固定套设在第二链轮209内，转轴301中部轴身上固定套设有连接套303，连接套303两侧分别固定连接有连接杆304，连接杆304远离连接套303的一端固定连接有清理板305。
在具体设置时，清理盘302表面、外周面以及清理板305上均设置有吸水毛刷，通过第二链轮209带动转轴301转动，从而带动清理盘302和清理板305转动，毛刷在离心力的作用下向外散开，对晶圆传送盒内壁上的水分进行吸收，从而能够大大减少传送盒内部的水分，缩短后续干燥时间。
如图1-图3所示，本实用新型的另一实施例中，干燥机构5包括气缸501，气缸501固定安装在支撑架4顶端，气缸501的输出端贯穿支撑架4且固定连接有固定架505，固定架505上表面两端分别固定连接有导向杆504，导向杆504与支撑架4滑动连接，固定架505底部固定连接有防护罩502，防护罩502一侧固定安装有热风机503，防护罩502内部固定连接有若干风管506，每个风管506上均设置有若干喷头507，热风机503与风管506连通。
在本实施例中，在对传送盒预处理后，通过驱动机构2将预处理机构3带离传送盒，随后启动气缸501带动防护罩502向下移动，将传送盒罩设在内，随后启动热风机503，通过风管506和干燥喷头507将热风送至防护罩502内部，对传送盒内部进行干燥。
该晶圆传送盒用干燥装置的工作原理：
使用时，将晶圆传送盒放置在防护罩502下方，启动第一电机202带动丝杆203转动，驱动安装板204和支撑板210朝着靠近传送盒的方向移动，预处理机构3跟随支撑板210同步移动，直至延伸至传送盒内部，启动第二电机205带动第一链轮207转动，通过链条208带动第二链轮209同步转动，第二链轮209带动转轴301转动，从而带动清理盘302和清理板305转动，毛刷在离心力的作用下向外散开，对晶圆传送盒内壁上的水分进行吸收，从而能够大大减少传送盒内部的水分，缩短后续干燥时间，在对传送盒预处理后，通过驱动机构2将预处理机构3带离传送盒，随后启动气缸501带动防护罩502向下移动，将传送盒罩设在内，随后启动热风机503，通过风管506和干燥喷头507将热风送至防护罩502内部，对传送盒内部进行干燥。
显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所做的举例，而并非是对本实用新型实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本实用新型的技术方案所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。
Claims (6)
1.晶圆传送盒用干燥装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面两端分别固定连接有驱动机构(2)和支撑架(4)，所述驱动机构(2)一端设置有预处理机构(3)，所述支撑架(4)上设置有干燥机构(5)，所述干燥机构(5)包括气缸(501)，所述气缸(501)固定安装在支撑架(4)顶端，所述气缸(501)的输出端贯穿支撑架(4)且固定连接有固定架(505)，所述固定架(505)上表面两端分别固定连接有导向杆(504)，所述导向杆(504)与支撑架(4)滑动连接，所述固定架(505)底部固定连接有防护罩(502)，所述防护罩(502)一侧固定安装有热风机(503)，所述防护罩(502)内部固定连接有若干风管(506)，每个所述风管(506)上均设置有若干喷头(507)，所述热风机(503)与风管(506)连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)与底座(1)上表面固定连接，所述固定板(201)一侧转动连接有丝杆(203)。
3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述固定板(201)另一侧固定连接有限位杆(206)，所述固定板(201)一端固定连接有第一电机(202)，所述第一电机(202)的输出端与丝杆(203)固定连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述丝杆(203)和限位杆(206)杆身上活动连接有安装板(204)，所述安装板(204)一侧固定连接有支撑板(210)和第二电机(205)，所述支撑板(210)靠近安装板(204)的一端上表面转动连接有第一链轮(207)。
5.根据权利要求4所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述第二电机(205)的输出端与第一链轮(207)固定连接，所述支撑板(210)远离安装板(204)的一端设置有第二链轮(209)，所述第二链轮(209)与第一链轮(207)之间通过链条(208)连接。
6.根据权利要求5所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述预处理机构(3)包括转轴(301)，所述转轴(301)转动连接在支撑板(210)远离安装板(204)的一端，所述转轴(301)顶端和底端均固定连接有清理盘(302)，所述转轴(301)下端固定套设在第二链轮(209)内，所述转轴(301)中部轴身上固定套设有连接套(303)，所述连接套(303)两侧分别固定连接有连接杆(304)，所述连接杆(304)远离连接套(303)的一端固定连接有清理板(305)。
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