CN217384036U - 一种靶材配件检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种靶材配件检测装置，所述靶材配件检测装置包括外观检具和内孔检具，所述外观检具包括开设有检测通孔的检测块；所述内孔检具包括检测台以及设置于检测台上的至少一个检测柱，所述检测柱上开设有检测孔；靶材嵌入检测通孔内进行外观检测，再将套设有检测块的靶材放置于检测台上，靶材的内孔与检测柱匹配对应，靶材的内孔中凸起插入所述检测孔中。本实用新型通过设置外观检具和内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，仅通过将检具与靶材配件相互嵌合，具有检测效率高、检测准确等特点。

Description

一种靶材配件检测装置

技术领域

本实用新型属于靶材检测技术领域，涉及一种靶材配件检测装置。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，镀膜材料作为半导体电子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加，而镀膜材料的主要制备方法为物理气相沉积法，其重要的制备原料为靶材，因此靶材的高效利用是制备高性能薄膜材料的重要影响因素。

在半导体镀膜生产过程中，为了提高镀膜的均匀性，通常会使用一些环件结构来配合靶材一起使用，而环件结构的固定与安装对靶材的后续使用具有重要的影响，需要采用相应的安装配件将其固定；但目前使用的环件安装结构受环件尺寸的影响较大，一旦环件尺寸变化，可能会造成环件与安装结构本体不匹配，进而影响靶材环件的稳定性。

当配件尺寸不正确，则无法将产品正常应用于实际工艺中，产品的孔位尺寸正确与否关系产品的安装问题，原有的检测方法是使用三坐标测量机检测孔位尺寸，三坐标测量是目前广泛应用于机械制造行业和电子工业中的检测和质量控制的方法，采用三坐标测量机检测螺纹孔角度和孔为尺寸。但采用三坐标测量机检测速度较慢，对于数量较多的产品的检测，其工作效率较低。

CN108895963A公开了一种靶材定位装置及三坐标定位设备。一种靶材定位装置包括底座、第一定位组和激光器。底座被配置为固定在工作台上；第一定位组均设置在底座远离工作台的一侧；第一定位组包括两个第一立柱，两个第一立柱具备第一预设距离，两个第一立柱均被配置为抵接在靶材的侧边；靶材的侧面上设置有一个定位槽；激光器被配置为发出激光以照射到第一平面，第一平面与工作台平行且穿过定位槽。

但是，目前三坐标检测技术测量产品时，需要人为建立坐标系，存在检测速度慢和效率低的问题，因此，如何提供一种靶材配件检测装置，满足快速检测的效果，成为目前迫切需要解决的技术问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种靶材配件检测装置，通过设置外观检具和内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，仅通过将检具与靶材配件相互嵌合，具有检测效率高、检测准确等特点。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种靶材配件检测装置，所述靶材配件检测装置包括外观检具和内孔检具，所述外观检具包括开设有检测通孔的检测块。

所述内孔检具包括检测台以及设置于检测台上的至少一个检测柱，所述检测柱上开设有检测孔。

靶材嵌入检测通孔内进行外观检测，再将套设有检测块的靶材放置于检测台上，靶材的内孔与检测柱匹配对应，靶材的内孔中凸起插入所述检测孔中。

本实用新型通过设置外观检具和内孔检具，对靶材配件的外观以及内孔情况进行检测，检测过程中，将靶材配件放置在外观检具内，观察靶材配件的外观匹配情况，进一步地，再将配置有外观检具的靶材配件放置到检测台的检测柱上，观察内孔的与检测柱的嵌套情况，再结合外观检具进行观察，保证靶材配件能够与外观检具和内孔检具嵌合稳定，从而实现快速检测的目的，具有检测效率高和准确度高等特点。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述靶材包括柱状主体，所述柱状主体包括顶盖，所述柱状主体沿中心轴线开设有内孔，所述内孔的内部设置有凸起。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测柱在检测台上线性间隔排布。

本实用新型通过在检测台上线性间隔排布，进一步地检测台上的检测柱直径不同，从而实现不同靶材配件内孔的检测。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测通孔的高度与靶材的高度相同。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测柱的底部设置有弹簧座。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测柱的顶部设置有第一压力传感器。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述弹簧座的底部设置有第二压力传感器。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测孔的底部设置有第三压力传感器。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测台上设置有报警器，所述报警器分别与第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器电性连接，所述第一压力传感器未检测到压力信号，所述第二压力传感器检测到压力信号，或所述第三压力传感器未检测压力信号，所述报警器发出报警。

本实用新型利用弹簧座对检测柱进行支撑，将靶材配件按压，使靶材配件与外观检具完美嵌合，进一步地根据第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器的受压信号进行报警判断，其中，第一压力传感器若未检测到压力信号，则内孔深度不够，存在内孔缺陷，发生报警；第二压力传感器若检测到压力信号，则内孔深度低于标准深度，发出报警；第三压力传感器若未检测到压力信号，则表示靶材配件的凸起深度不够，未达到标准长度，发出报警。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测台为透明检测台。

本实用新型中将检测台设计成透明检测台，从而根据透明检测台的底部能够观测检测柱与内孔的径向匹配情况，从而保证靶材配件的内孔检测。

示例性地，提供一种上述靶材配件检测装置对靶材配件进行检测的方法，所述方法具体包括以下步骤：

将靶材配件放置入外观检具的检测通孔内，观察靶材配件与检测通孔的匹配情况，若匹配完美则外观检测完成；

将套设有外观检具的靶材配件放置在检测台上，使检测柱与靶材配件的内孔相嵌合，按压靶材配件，使靶材配件与外观检具嵌合，观察报警器的报警情况，若无报警，则靶材配件检测合格；

若第一压力传感器未检测到压力信号，则内孔深度不够，存在内孔缺陷，发生报警；若第二压力传感器检测到压力信号，则内孔深度低于标准深度，发出报警；若第三压力传感器未检测到压力信号，则表示靶材配件的凸起深度不够，未达到标准长度，发出报警。

需要说明的是，本实用新型对报警信号的类型不做具体要求和特殊限定，例如每一个压力传感器发出的报警形式不相同，以语音报警为例，第一压力传感器发出的报警信号的语音内容为内孔深度不够，其他压力传感器分别发出不同报警语音。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过设置外观检具和内孔检具，对靶材配件的外观以及内孔情况进行检测，检测过程中，将靶材配件放置在外观检具内，观察靶材配件的外观匹配情况，进一步地，再将配置有外观检具的靶材配件放置到检测台的检测柱上，观察内孔的与检测柱的嵌套情况，再结合外观检具进行观察，保证靶材配件能够与外观检具和内孔检具嵌合稳定，从而实现快速检测的目的，具有检测效率高和准确度高等特点。

附图说明

图1为本实用新型一个具体实施方式中提供的一种靶材配件检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型一个具体实施方式中提供的检测柱的连接结构示意图。

其中，1-外观检具；2-检测通孔；3-检测柱；4-检测台；5-检测孔；6-柱状主体；7-顶盖；8-内孔；9-凸起；10-弹簧座；11-第一压力传感器；12-第二压力传感器；13-第三压力传感器。

具体实施方式

需要理解的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在一个具体实施方式中，本实用新型提供了一种靶材配件检测装置，如图1所示，所述靶材配件检测装置包括外观检具1和内孔检具，所述外观检具1包括开设有检测通孔2的检测块。

所述内孔检具包括检测台4以及设置于检测台4上的至少一个检测柱3，所述检测柱3上开设有检测孔5。

本实用新型通过设置外观检具1和内孔检具，对靶材配件的外观以及内孔8情况进行检测，检测过程中，将靶材配件放置在外观检具1内，观察靶材配件的外观匹配情况，进一步地，再将配置有外观检具1的靶材配件放置到检测台4的检测柱3上，观察内孔8的与检测柱3的嵌套情况，再结合外观检具1进行观察，保证靶材配件能够与外观检具1和内孔检具嵌合稳定，从而实现快速检测的目的，具有检测效率高和准确度高等特点。

具体地，所述靶材包括柱状主体6，所述柱状主体6包括顶盖7，所述柱状主体6沿中心轴线开设有内孔8，所述内孔8的内部设置有凸起9。

作为本实用新型的一个优选技术方案，所述检测柱3在检测台4上线性间隔排布。本实用新型通过在检测台4上线性间隔排布，进一步地检测台4上的检测柱3直径不同，从而实现不同靶材配件内孔8的检测。

具体地，所述检测通孔2的高度与靶材的高度相同。

具体地，所述检测柱3的底部设置有弹簧座10。

具体地，所述检测柱3的顶部设置有第一压力传感器11。

具体地，所述弹簧座10的底部设置有第二压力传感器12。

具体地，所述检测孔5的底部设置有第三压力传感器13。

具体地，所述检测台4上设置有报警器，所述报警器分别与第一压力传感器11、第二压力传感器12和第三压力传感器13电性连接，所述第一压力传感器11未检测到压力信号，所述第二压力传感器12检测到压力信号，或所述第三压力传感器13未检测压力信号，所述报警器发出报警。

本实用新型利用弹簧座10对检测柱3进行支撑，将靶材配件按压，使靶材配件与外观检具1完美嵌合，进一步地根据第一压力传感器11、第二压力传感器12和第三压力传感器13的受压信号进行报警判断，其中，第一压力传感器11若未检测到压力信号，则内孔8深度不够，存在内孔8缺陷，发生报警；第二压力传感器12若检测到压力信号，则内孔8深度低于标准深度，发出报警；第三压力传感器13若未检测到压力信号，则表示靶材配件的凸起9深度不够，未达到标准长度，发出报警。

具体地，所述检测台4为透明检测台4。本实用新型中将检测台4设计成透明检测台4，从而根据透明检测台4的底部能够观测检测柱3与内孔8的径向匹配情况，从而保证靶材配件的内孔8检测。

示例性地，提供一种上述靶材配件检测装置对靶材配件进行检测的方法，所述方法具体包括以下步骤：

将靶材配件放置入外观检具1的检测通孔2内，观察靶材配件与检测通孔2的匹配情况，若匹配完美则外观检测完成；

将套设有外观检具1的靶材配件放置在检测台4上，使检测柱3与靶材配件的内孔8相嵌合，按压靶材配件，使靶材配件与外观检具1嵌合，观察报警器的报警情况，若无报警，则靶材配件检测合格；

若第一压力传感器11未检测到压力信号，则内孔8深度不够，存在内孔8缺陷，发生报警；若第二压力传感器12检测到压力信号，则内孔8深度低于标准深度，发出报警；若第三压力传感器13未检测到压力信号，则表示靶材配件的凸起9深度不够，未达到标准长度，发出报警。

可选地，本实用新型对报警信号的类型不做具体要求和特殊限定，例如每一个压力传感器发出的报警形式不相同，以语音报警为例，第一压力传感器11发出的报警信号的语音内容为内孔8深度不够，其他压力传感器发出不同语音报警。

通过一个具体实施方式，本实用新型通过设置外观检具1和内孔检具，对靶材配件的外观以及内孔8情况进行检测，检测过程中，将靶材配件放置在外观检具1内，观察靶材配件的外观匹配情况，进一步地，再将配置有外观检具1的靶材配件放置到检测台4的检测柱3上，观察内孔8的与检测柱3的嵌套情况，再结合外观检具1进行观察，保证靶材配件能够与外观检具1和内孔检具嵌合稳定，从而实现快速检测的目的，具有检测效率高和准确度高等特点。

申请人声明，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种靶材配件检测装置，其特征在于，所述靶材配件检测装置包括外观检具和内孔检具，所述外观检具包括开设有检测通孔的检测块；

所述内孔检具包括检测台以及设置于检测台上的至少一个检测柱，所述检测柱上开设有检测孔；

靶材嵌入检测通孔内进行外观检测，再将套设有检测块的靶材放置于检测台上，靶材的内孔与检测柱匹配对应，靶材的内孔中凸起插入所述检测孔中。

2.根据权利要求1所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述靶材包括柱状主体，所述柱状主体包括顶盖，所述柱状主体沿中心轴线开设有内孔，所述内孔的内部设置有凸起。

3.根据权利要求1所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述检测柱在检测台上线性间隔排布。

4.根据权利要求1所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述检测通孔的高度与靶材的高度相同。

5.根据权利要求1所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述检测柱的底部设置有弹簧座。

6.根据权利要求5所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述检测柱的顶部设置有第一压力传感器。

7.根据权利要求6所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述弹簧座的底部设置有第二压力传感器。

8.根据权利要求7所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述检测孔的底部设置有第三压力传感器。

9.根据权利要求8所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述检测台上设置有报警器，所述报警器分别与第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器电性连接，所述第一压力传感器未检测到压力信号，所述第二压力传感器检测到压力信号，或所述第三压力传感器未检测压力信号，所述报警器发出报警。

10.根据权利要求1所述的靶材配件检测装置，其特征在于，所述检测台为透明检测台。

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