CN217378025U - 一种红外加热装置及炉管 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种红外加热装置及炉管，其中红外加热装置包括加热管、连接件以及石英套管；其中加热管设置于石英套管内，加热管与石英套管通过连接件连接；通过采用加热管，实现炉管内迅速升温，另外在加热管的外侧套接石英套管形成隔绝，使加热管不会与炉门内的反应气体直接接触，延长加热管的使用寿命。

Description

一种红外加热装置及炉管

技术领域

本实用新型涉及半导体和太阳能电池制造领域，特别是涉及一种红外加热装置及炉管。

背景技术

PECVD技术是一种在低气压环境下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上产生辉光放电，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜的技术。

在传统的PECVD技术中，炉体的升温的速度慢，需要的时间较长，效率较低；另一方面在辉光放电的加热方案中，炉管内不同区域的升温速度不均匀，会影响最终获得的产品质量。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种红外加热装置及炉管。

为了解决上述问题，本实用新型采用如下方案：

一种红外加热装置，包括加热管、连接件以及石英套管；其中加热管设置于石英套管内，加热管与石英套管通过连接件连接。

进一步的，所述石英套管的一端封闭，另一端设置为开口，其中设置为开口的一端用于伸入加热管；加热管的一端通过开口伸入石英套管，另一端留在石英套管外侧。

进一步的，所述加热管为短波加热管。

进一步的，所述连接件包括两个夹具以及连接板，两个夹具之间通过连接板连接；其中一个夹具固定在石英套管上，另一个夹具固定在加热管上。

进一步的，所述夹具为环形夹，包括环形圈和紧固螺栓；环形圈设置有开口，开口部位设置有连接片，开口两边的连接片通过紧固螺栓连接。

进一步的，所述环形圈的开口部位的两片连接片远离环形圈的一端也相互连接，连接片的连接部位用于固定连接板。

进一步的，所述连接板与连接片的连接部位通过螺纹连接，并且连接板与连接片的间距通过螺纹可调节。

进一步的，所述螺钉穿过连接片的连接部位，在连接部位的上下侧均设置有螺母；同样的在连接板的下侧也设置有螺母，通过螺母和螺钉实现对连接板和螺钉之间的紧固。

一种快速加热的炉管，包括上述的红外加热装置，还包括炉管以及炉门；炉门设置于炉管的一端；炉门上设置有若干贯穿炉门的孔洞，孔洞部位用于设置红外加热装置。

进一步的，所述红外加热装置的石英套管封闭的一端穿过炉门上设置的孔洞，伸入到炉管内部的反应腔室内，石英套管开口的一端设置于炉门的外侧；连接件位于炉门的外侧。

本实用新型的有益效果为：

通过在加热管的外侧套接石英套管形成隔绝，使加热管不会与炉门内的反应气体直接接触，延长加热管的使用寿命；

通过设置连接件，并且连接板与连接片的间距通过螺纹可调节，调节加热管在石英套管内的位置，保证加热管的加热效果；

通过炉门上的孔洞设置红外加热装置，使反应腔室内能够迅速升温，缩短加热时间和工艺时间，提高生产效率。

附图说明

图1为本发明实施例一的红外加热装置和炉门的结合示意图；

图2为本发明实施例一的红外加热装置的正视图；

图3为本发明实施例一的红外加热装置的左视图；

图4为本发明实施例一的红外加热装置立体图。

附图标识说明：加热管1、连接件2、夹具3、环形圈4、紧固螺栓5、螺钉6、螺母7、连接板8、石英套管9、炉门10。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一：

如图1-4所示，一种红外加热装置，包括加热管、连接件以及石英套管；其中加热管设置于石英套管内，加热管与石英套管通过连接件连接。

所述加热管为短波加热管，短波加热管的一端伸入石英套管，另一端从石英套管内伸出。石英套管的一端封闭，另一端设置为开口，其中设置为开口的一端用于伸入加热管。

所述连接件包括两个夹具以及连接板，两个夹具之间通过连接板连接；其中一个夹具固定在石英套管上，另一个夹具固定在加热管上。夹具为环形夹，包括环形圈和紧固螺栓；环形圈设置有开口，开口部位设置有连接片，开口两边的连接片通过紧固螺栓连接，实现对环形圈的收紧。环形圈的开口部位的两片连接片远离环形圈的一端也相互连接，连接片的连接部位用于固定连接板，在本例中连接板将两个环形圈的连接片部位相连接，实现两个夹具的连接，进而实现加热管相对石英套管的位置的固定。连接板与连接片的连接部位通过螺钉和螺母连接，其中螺钉穿过连接片的连接部位，在连接部位的上下侧均设置有螺母，通过两侧的螺母实现螺钉和连接部位的紧固；同样的在连接板的下侧也设置有螺母，通过螺母和螺钉实现对连接板和螺钉之间的紧固。其中在螺钉上设置三个螺母，两个螺母位于连接板和连接片的连接部位之间，另一个螺母位于连接部位的远离连接板的一侧；通过三个螺母分别对连接板和连接片的连接部位进行固定，实现连接片和连接板的间距可调节，进而调节两个夹具的相对位置，保证加热管能够位于石英套管的中间部位。

一种快速加热的炉管，包括上述的红外加热装置，还包括炉管以及炉门；炉门设置于炉管的一端，用于封闭炉管；炉门上设置有若干贯穿炉门的孔洞，孔洞部位用于设置红外加热装置，使得红外加热装置能够伸入炉管内部的反应腔室。在本例中炉门上设置有关于炉门的直径相互对称的两个孔洞。红外加热装置在穿过炉门的时候，连接件位于炉门的外侧。

在实施的过程中，需要将石英套管封闭的一端穿过炉门上设置的孔洞，伸入到炉管内部的反应腔室内，石英套管开口的一端设置于炉门的外侧；通过炉门上的孔洞设置红外加热装置，使反应腔室内能够迅速升温，缩短加热时间和工艺时间，提高生产效率；通过在加热管的外侧套接石英套管形成隔绝，使加热管不会与炉门内的反应气体直接接触，延长加热管的使用寿命。

以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本实用新型内容和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims (9)

1.一种红外加热装置，其特征在于，包括加热管、连接件以及石英套管；其中

加热管设置于石英套管内，加热管与石英套管通过连接件连接，所述连接件包括两个夹具以及连接板，两个夹具之间通过连接板连接；其中一个夹具固定在石英套管上，另一个夹具固定在加热管上。

2.根据权利要求1所述的一种红外加热装置，其特征在于，所述石英套管的一端封闭，另一端设置为开口，其中设置为开口的一端用于伸入加热管；加热管的一端通过开口伸入石英套管，另一端留在石英套管外侧。

3.根据权利要求1所述的一种红外加热装置，其特征在于，所述加热管为短波加热管。

4.根据权利要求1所述的一种红外加热装置，其特征在于，所述夹具为环形夹，包括环形圈和紧固螺栓；环形圈设置有开口，开口部位设置有连接片，开口两边的连接片通过紧固螺栓连接。

5.根据权利要求4所述的一种红外加热装置，其特征在于，所述环形圈的开口部位的两片连接片远离环形圈的一端也相互连接，连接片的连接部位用于固定连接板。

6.根据权利要求5所述的一种红外加热装置，其特征在于，所述连接板与连接片的连接部位通过螺钉连接，并且连接板与连接片的间距通过螺纹可调节。

7.根据权利要求6所述的一种红外加热装置，其特征在于，所述螺钉穿过连接片的连接部位，在连接部位的上下侧均设置有螺母；同样的在连接板的下侧也设置有螺母，通过螺母和螺钉实现对连接板和螺钉之间的紧固。

8.一种快速加热的炉管，其特征在于，包括权利要求1-7中任意一项所述的红外加热装置，还包括炉管以及炉门；炉门设置于炉管的一端；炉门上设置有若干贯穿炉门的孔洞，孔洞部位用于设置红外加热装置。

9.根据权利要求8所述的一种快速加热的炉管，其特征在于，所述红外加热装置的石英套管封闭的一端穿过炉门上设置的孔洞，伸入到炉管内部的反应腔室内，石英套管开口的一端设置于炉门的外侧；连接件位于炉门的外侧。

Images