CN217376211U - 防跑偏的双工位检测高速移载平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了防跑偏的双工位检测高速移载平台，包括工作平台、载物平台、移载机构和压紧气缸，移载机构与工作平台连接，载物平台均与移载机构连接，移载机构适于带动载物平台向X轴和Y轴方向移动，压紧气缸设于载物平台的两侧，载物平台设有载面，压紧气缸的活动端可与载面相抵。本实用新型设置了压紧气缸，通过驱动压紧气缸的活动端与工件表面接触，将工件固定于载面上，在移动下容易造成工件相对载面位置滑动，避免了载物基座带动工件高速移动时，工件相对载面滑动、跑偏，影响检测效果和检测效率。

Description

防跑偏的双工位检测高速移载平台

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种防跑偏的双工位检测高速移载平台。

背景技术

在半导体制造业中，对于制造后的工件需要进行质量检测，检测方法包括人工检测和自动化设备检测，现有的自动化检测设备中负责移动的移载平台配设高速精密的传动单元，工件放置在检测平台上高速移动检测的过程中，容易由于工件表面光滑而与检测平台的载面发生相对滑动，导致影响检测效果和检测效率；除此之外，移载平台通常设置单个检测工位，检测效率较低。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种防跑偏的双工位检测高速移载平台，其可解决现有单工位的移载平台移动工件时，工件表面光滑容易与检测平台的载面发生相对滑动，影响检测效果以及检测效率较低的问题。

本实用新型的目的采用如下技术方案实现：

防跑偏的双工位检测高速移载平台，包括工作平台、载物平台、移载机构和压紧气缸，所述移载机构与所述工作平台连接，所述载物平台与所述移载机构连接，所述移载机构适于带动所述载物平台向X轴和Y轴方向移动，所述压紧气缸设于所述载物平台的两侧，所述载物平台设有载面，所述压紧气缸的活动端可与载面相抵。

进一步地，所述移载机构包括X轴传动组件和Y轴传动组件，所述X轴传动组件与所述工作平台连接；所述载物平台包括承托板和载物基座，所述载面连接于所述载物基座的中部，所述承托板与所述X轴传动组件滑动连接，所述Y轴传动组件设于所述承托板上，所述载物基座通过Y轴传动组件与所述承托板滑动连接。

进一步地，所述X轴传动组件包括第一导轨和直线电机，所述第一导轨与直线电机均固定于所述工作平台上，所述载物平台还包括第一滑块，所述承托板的底部连接所述第一滑块，所述第一滑块与所述第一导轨滑动连接，所述承托板连接所述直线电机。

进一步地，所述Y轴传动组件包括第二导轨、丝杆和第一伺服电机，所述第二导轨设于所述承托板上，第二导轨与第一导轨相互垂直，所述载物基座的底部连接有第二滑块，第二滑块与第二导轨滑动连接，所述第一伺服电机与所述丝杆连接，所述丝杆与所述载物基座固定。

进一步地，所述丝杆包括螺杆以及与螺杆连接的螺母，所述螺母与连接件的一端固定，所述连接件的另一端与所述载物基座固定。

进一步地，所述防跑偏的双工位检测高速移载平台还包括第二伺服电机，所述第二伺服电机与所述压紧气缸电气连接，所述载物平台的两侧开设有容纳槽，所述容纳槽适于安装所述压紧气缸。

进一步地，所述工作平台底端设有多个限位传感器，所述承托板连接有感应件，所述感应件适于与所述限位传感器接触并使限位传感器生成信号，所述限位传感器与控制系统通讯连接。

进一步地，所述载物平台至少设有两个。

进一步地，所述工作平台采用大理石材质制成。

进一步地，所述载物基座的载面为碳纤板。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型设置了压紧气缸，通过驱动压紧气缸的活动端与工件表面接触，将工件固定于载面上，在移动下容易造成工件相对载面位置滑动，避免了载物基座带动工件高速移动时，工件相对载面滑动、跑偏，影响检测效果和检测效率；

(2)本实用新型设置了两个载物平台形成双工位同时检测，双工位的设计在不改变检测效果的情况下，加快检测速率，提高产能。

附图说明

图1为本实用新型的整体示意图；

图2为图1中A处的放大示意图；

图3为图1中B处的放大示意图。

图中：1、工作平台；2、载物平台；3、移载机构；4、压紧气缸；5、载面；21、承托板；22、载物基座；23、第一滑块；31、X轴传动组件；32、Y轴传动组件；311、第一导轨；312、直线电机；321、第二导轨；322、丝杆；323、第一伺服电机；24、第二滑块；6、容纳槽；7、第二伺服电机；8、限位传感器；9、感应件；10、连接件；11、镂空部。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以用许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参阅图1-3，本实施例提供一种防跑偏的双工位检测高速移载平台，包括工作平台1、载物平台2、移载机构3和压紧气缸4，移载机构3与工作平台1连接，载物平台2与移载机构3连接，移载机构3适于带动载物平台2向X轴和Y轴方向移动，压紧气缸4设于载物平台2的两侧，载物平台2设有载面5，压紧气缸4的活动端可与载面5相抵。工件表面光滑，当工件放置在载物平台2上，通过移载机构3带动起X轴向或Y轴向移动时，高速移动容易造成工件相对载面5位置滑动，压紧气缸4的活动端相对压紧气缸4向载面5滑动，并与工件表面接触，将工件固定于载面5上，避免了工件在移动时相对载面5位置滑动跑偏，使检测区的检测装置不能对准工件，检测区装置无法正常检测到完整的工件；载物平台2至少设有两个，优选地，为兼顾成本和效率，在本实施中设置两个载物平台2形成双工位，双工位的设计在不改变检测效果的情况下，加快检测速率，提高产能。

进一步地，移载机构3包括X轴传动组件31和Y轴传动组件32，X轴传动组件31与工作平台1连接，载物平台2包括承托板21和载物基座22，承托板21与X轴传动组件31滑动连接，Y轴传动组件32设于承托板21上，载物基座22通过Y轴传动组件32与承托板21滑动连接，载面5连接于载物基座22的中部，工件放置于载面5上，载物基座22的四周包围工件，初步限制工件的位置。X轴传动组件31用于带动承托板21滑动，承托板21整体进行移动，从而带动载物基座22上的工件X轴方向移动，Y轴传动组件32用于带动载物基座22滑动，载物基座22相对承托板21Y轴方向移动。

具体地，X轴传动组件31包括第一导轨311和直线电机312，第一导轨311与直线电机312均固定于工作平台1上，第一导轨311的方向与直线电机312的方向相互平行，使滑动方向一致；载物平台2还包括第一滑块23，承托板21的底部连接第一滑块23，第一滑块23与第一导轨311滑动连接，承托板21连接直线电机312，采用直线电机312可直接带动承托板21做直线运动，直线电机312带动承托板21移动时，使第一滑块23沿第一导轨311滑动，第一导轨311成对设置，增强X轴方向滑动的顺畅，提高效率。

具体地，Y轴传动组件32包括第二导轨321、丝杆322和第一伺服电机323，第二导轨321设于承托板21上，第二导轨321与第一导轨311相互垂直，载物基座22的底部连接有第二滑块24，第二滑块24与第二导轨321滑动连接，第一伺服电机323与丝杆322连接，丝杆322与载物基座22固定。优选地，丝杆322包括螺杆以及与螺杆连接的螺母，第一伺服电机323带动螺杆旋转，使螺母相对螺杆上下移动；螺母与连接件10的一端固定，连接件10的另一端与载物基座22固定，螺母上下移动时带动载物基座22Y轴方向移动，第二滑块24沿第二导轨321上下移动，第二导轨321成对设置，增强Y轴方向滑动的顺畅，提高效率。需要说明的是，承托板21开设有镂空部11，镂空部11位于两侧的第二导轨321之间，载面5可以镂空部11重叠，当上述防跑偏的双工位检测高速移载平台应用于需要配合光束探测时，光源发射的光束可直接透射至承托板21穿过载物基座22上的工件，进行检测，避免光束首先穿透承托板21材料，能量受到衰减，对于接收装置对工件透射成像的效果造成影响；需要注意的是，由于检测装置有可能规格上无法完全覆盖载物基座22上的工件，移载机构3带动工件移动使得检测装置可对正工件的不同位置，使工件任意范围内位置点的检测均可完成。

本实施例中，防跑偏的双工位检测高速移载平台还包括第二伺服电机7，第二伺服电机7安装于在载物基座22，第二伺服电机7与压紧气缸4电气连接，载物平台2的两侧开设有容纳槽6，容纳槽6适于安装压紧气缸4，压紧气缸4安装于容纳槽6后，压紧气缸4不会过于凸出于载物平台2的两侧，避免压紧气缸4阻挡工件放在载面5上。具体地，第二伺服电机7通过驱动气源等装置产生气体输入至压紧气缸4，驱动压紧气缸4的活动端上下活动，压紧气缸4的活动端将工件压在载面5上，以固定其位置，防止工件跑偏。

优选地，工作平台1底端设有多个限位传感器8，承托板21连接有感应件9，感应件9适于与限位传感器8接触并使限位传感器8生成信号，多个限位传感器8与控制系统通讯连接。当载物基座22沿X轴方向移动时，不同的限位传感器8可与感应条产生感应，使限位传感器8接收生成感应信号，控制系统可根据发出信号的限位传感器8得出载物基座22的移动位置并限制载物基座22移动的极限位置，从而控制载物基座22的移动行程，如启动或停止，又或是当感应条与其中一个限位传感器8感应后，控制系统控制Y轴传动电机启动使载物基座22向Y轴方向移动等，具体数值根据实际参数设置决定。

优选地，工作平台1采用大理石材质制成。大理石的平面度稳定，材质稳定、不易变形，作为工作平面以承载移载机构3，可确保移载机构3运行精密运动。

优选地，载物基座22的载面5为碳纤板。碳纤板的密度小，对于需要采用X射线光成像的检测的工件来说，碳纤板对其成像的干涉较小，使得出成像图像的效果更好。

以上仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，包括工作平台(1)、载物平台(2)、移载机构(3)和压紧气缸(4)，所述移载机构(3)与所述工作平台(1)连接，所述载物平台(2)与所述移载机构(3)连接，所述移载机构(3)适于带动所述载物平台(2)向X轴和Y轴方向移动，所述压紧气缸(4)设于所述载物平台(2)的两侧，所述载物平台(2)设有载面(5)，所述压紧气缸(4)的活动端可与载面(5)相抵。

2.根据权利要求1所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述移载机构(3)包括X轴传动组件(31)和Y轴传动组件(32)，所述X轴传动组件(31)与所述工作平台(1)连接；所述载物平台(2)包括承托板(21)和载物基座(22)，所述载面(5)连接于所述载物基座(22)的中部，所述承托板(21)与所述X轴传动组件(31)滑动连接，所述Y轴传动组件(32)设于所述承托板(21)上，所述载物基座(22)通过Y轴传动组件(32)与所述承托板(21)滑动连接。

3.根据权利要求2所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述X轴传动组件(31)包括第一导轨(311)和直线电机(312)，所述第一导轨(311)与直线电机(312)均固定于所述工作平台(1)上，所述载物平台(2)还包括第一滑块(23)，所述承托板(21)的底部连接所述第一滑块(23)，所述第一滑块(23)与所述第一导轨(311)滑动连接，所述承托板(21)连接所述直线电机(312)。

4.根据权利要求3所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述Y轴传动组件(32)包括第二导轨(321)、丝杆(322)和第一伺服电机(323)，所述第二导轨(321)设于所述承托板(21)上，第二导轨(321)与第一导轨(311)相互垂直，所述载物基座(22)的底部连接有第二滑块(24)，第二滑块(24)与第二导轨(321)滑动连接，所述第一伺服电机(323)与所述丝杆(322)连接，所述丝杆(322)与所述载物基座(22)固定。

5.跟据权利要求4所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述丝杆(322)包括螺杆以及与螺杆连接的螺母，所述螺母与连接件(10)的一端固定，所述连接件(10)的另一端与所述载物基座(22)固定。

6.根据权利要求1所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，还包括第二伺服电机(7)，所述第二伺服电机(7)与所述压紧气缸(4)电气连接，所述载物平台(2)的两侧开设有容纳槽(6)，所述容纳槽(6)适于安装所述压紧气缸(4)。

7.根据权利要求2所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述工作平台(1)底端设有多个限位传感器(8)，所述承托板(21)连接有感应件(9)，所述感应件(9)适于与所述限位传感器(8)接触并使限位传感器(8)生成信号，所述限位传感器(8)与控制系统通讯连接。

8.根据权利要求4所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述载物平台(2)至少设有两个。

9.根据权利要求1所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述工作平台(1)采用大理石材质制成。

10.根据权利要求2所述防跑偏的双工位检测高速移载平台，其特征在于，所述载物基座(22)的载面(5)为碳纤板。

Images