CN217324254U - 真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的冷却装置，包括冷却壳体及冷却机构，冷却壳体具有冷却腔室，冷却腔室的两端分别开设有第一进风口、第一出风口；冷却机构包括制冷组件、第一通风管道及第二通风管道，第一通风管道连通第一进风口与制冷组件，且第一通风管道包括用于与柜体内部相连通的连接口；第二通风管道与第一出风口连通，且第二通风管道包括用于与柜体内部相连通的连通口。本实用新型通过设置制冷组件，制冷组件能够提供冷风，且制冷组件能够通过第一通风管道将冷风送至真空镀膜设备内部以及冷却腔室内，冷却腔室内的冷风能够通过第二通风管道进入至真空镀膜设备内部，能够有效的对真空镀膜设备内部进行冷却降温。

Description

真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，特别是涉及一种真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜设备包括真空电阻加热蒸发、电子枪加热蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积、离子束溅射等很多种，主要是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜设备在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作。现有的真空镀膜设备散热较多采用自然冷却，效果较差，导致工作效率低，冷却不及时，很容易导致真空镀膜设备因为温度过高而损坏，影响真空镀膜机的使用寿命。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够有效的对真空镀膜设备内部进行冷却降温，且能保证冷却效果，增长真空镀膜设备的使用寿命的真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统。

一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，包括：

冷却壳体，所述冷却壳体具有冷却腔室，且所述冷却腔室围成一容纳空间以用于容纳真空镀膜设备的柜门；所述冷却腔室的两端分别开设有第一进风口、第一出风口，所述第一进风口及所述第一出风口均与所述冷却腔室相连通；

冷却机构，所述冷却机构包括用于连接于所述真空镀膜设备的柜体上的制冷组件、第一通风管道及第二通风管道，所述第一通风管道连通所述第一进风口与所述制冷组件，且所述第一通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连接口；所述第二通风管道与所述第一出风口连通，且所述第二通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连通口。

在其中一个实施例中，所述第一通风管道包括第二进风口、第二出风口及第三出风口，所述第二进风口与所述制冷组件相连通，所述第二出风口与所述第一进风口相连通，所述第三出风口用于与所述柜体内部相连通。。

在其中一个实施例中，所述第二通风管道包括第三进风口及第四出风口，所述第三进风口与所述第一出风口相连通，所述第四出风口用于与所述柜体内部相连通。

本申请还提供了一种真空镀膜系统，包括：如上述的真空镀膜设备及如上述的冷却装置，所述真空镀膜设备包括所述柜体及所述柜门；

所述冷却装置的所述冷却腔室围绕所述真空镀膜设备的所述柜门。

在其中一个实施例中，所述冷却壳体铰接设置于所述柜体或所述制冷组件上。

在其中一个实施例中，所述冷却壳体可拆卸连接于所述柜体或所述制冷组件上。

在其中一个实施例中，所述制冷组件、所述第一通风管道及所述第二通风管道可拆卸连接于所述柜体上。

在其中一个实施例中，所述冷却腔室的所述第一进风口与所述第一通风管道及所述冷却腔室的所述第一出风口与所述第二通风管道之间均设置有密封件。

在其中一个实施例中，所述真空镀膜设备的所述柜门的数量与所述冷却壳体的数量相对应。

在其中一个实施例中，所述真空镀膜设备的所述柜门包括有两个，两所述柜门相背对设置；所述冷却壳体包括有两个，两所述冷却壳体对称设置，且两所述冷却壳体分别与两所述柜门一一对应设置。

上述方案中，通过设置制冷组件，制冷组件能够提供冷风，且制冷组件通过第一通风管道分别与第一进风口及柜体内部相连通，以将冷风送至真空镀膜设备内部以及冷却腔室内，第一出风口通过第二通风管道与柜体内部相连通，冷却腔室内的冷风可通过第二通风管道进入至真空镀膜设备内部，且冷却腔室绕设于柜门，冷却腔室也可对真空镀膜设备的柜门进行冷却降温，能够有效的对真空镀膜设备内部进行冷却降温，且能保证冷却效果，增长真空镀膜设备的使用寿命。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例所示的真空镀膜设备的冷却装置的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例所示的真空镀膜设备的冷却装置的结构示意图。

附图标记说明

10、真空镀膜设备的冷却装置；100、真空镀膜设备；110、柜门；120、柜体；200、冷却壳体；210、冷却腔室；211、第一进风口；212、第一出风口；213、容纳槽；300、冷却机构；310、制冷组件；320、第一通风管道；330、第二通风管道；400、密封件。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参阅图1及图2，本发明的一实施例提供了一种真空镀膜设备的冷却装置10，真空镀膜设备100包括柜体120及柜门110。真空镀膜设备的冷却装置10包括冷却壳体200及冷却机构300，冷却壳体200用于围成一容纳空间以用于容纳真空镀膜设备100的柜门110。冷却机构300用于与真空镀膜设备100内部相连接，且与冷却壳体200相连通，用于向冷却壳体200内部及真空镀膜设备100内部提供冷风，以对真空镀膜设备100进行冷却降温。

请参阅图1及图2，冷却壳体200具有冷却腔室210。冷却腔室210围成一容纳空间以用于容纳真空镀膜设备100的柜门110。冷却腔室210的两端分别开设有第一进风口211、第一出风口212，第一进风口211及第一出风口212均与冷却腔室210相连通。冷却机构300包括用于连接于真空镀膜设备100的柜体120上的制冷组件310、第一通风管道320及第二通风管道330。第一通风管道320连通第一进风口211与制冷组件310，且第一通风管道320包括用于与柜体120内部相连通的连接口；第二通风管道330与第一出风口212连通，且第二通风管道330包括用于与柜体120内部相连通的连通口。制冷组件310采用空调。

在本实施例中，冷却壳体200的结构为凹槽型结构，冷却腔室210的结构与冷却壳体200的结构相同，也为凹槽型结构。凹槽型结构包括间隔设置的第一侧壁、第二侧壁及具有可容纳柜门110的容纳槽213。

具体地，第一进风口211及第一出风口212分别设置于冷却腔室210的两端。更具体地，第一进风口211设置于第一侧壁的端部，第一出风口212设置于第二侧壁的端部。第一进风口211与第一出风口212平行设置。

需要理解的是：冷却腔室210将柜门110包设于凹槽型结构的容纳槽213内。具体地，冷却腔室210与柜门110可以贴合设置，冷却腔室210与柜门110也可以存在间距，间距的大小可根据使用需求设定，本申请对此不做限定。

在其他的实施例中，冷却壳体200的结构可以是其他形状。例如，长方形或正方形。第一进风口211及第一出风口212分别设置于冷却腔室210相对设置的两端。

请参阅图1及图2，根据本申请的一些实施例，可选地，第一通风管道320包括第二进风口、第二出风口及第三出风口，第二进风口与制冷组件310相连通，第二出风口与第一进风口211相连通，第三出风口用于与柜体120内部相连通。第二通风管道330包括第三进风口及第四出风口，第三进风口与第一出风口212相连通，第四出风口用于与柜体120内部相连通。在本实施例中，第一通风管道320与第二通风管道330分别设置于真空镀膜设备100的柜体120相背对设置的两侧。

本申请还提供了一种真空镀膜系统，包括：如上述的真空镀膜设备100及如上述的冷却装置10。真空镀膜设备100包括柜体120及柜门110；冷却装置10的冷却腔室210围绕真空镀膜设备100的柜门110。

请参阅图1及图2，根据本申请的一些实施例，可选地，冷却壳体200铰接设置于柜体120或制冷组件310上。通过将冷却壳体200铰接设置，可使得冷却壳体200可转动设置，当需要打开真空镀膜设备100的柜门110时，仅可转动冷却壳体200即可，且简单快捷。

在一个实施例中，冷却壳体200铰接设置于柜体120上。在另一个实施例中，冷却壳体200铰接设置于制冷组件310上。需要说明的是：冷却壳体200铰接设置于柜体120上或冷却壳体200铰接设置于制冷组件310上所采用的铰接方式可采用现有技术，并不是本申请的发明点，本申请对此不做限定。

请参阅图1及图2，根据本申请的一些实施例，可选地，在一个实施例中，冷却壳体200可拆卸连接于柜体120上。在另一个实施例中，冷却壳体200可拆卸连接于制冷组件310上，可便于冷却壳体200的拆装，同时也便于冷却壳体200的维修及维护。示例性地，冷却壳体200通过螺钉安装于柜体120上，在需要拆卸时，仅需松动螺钉即可完成冷却壳体200的拆卸。

请参阅图1及图2，根据本申请的一些实施例，可选地，制冷组件310、第一通风管道320及第二通风管道330可拆卸连接于柜体120上，可便于制冷组件310、第一通风管道320及第二通风管道330的拆装，同时也便于制冷组件310、第一通风管道320及第二通风管道330的维修及维护。制冷组件310、第一通风管道320及第二通风管道330可拆卸连接于柜体120上的连接方式可参考上述冷却壳体200可拆卸连接于柜体120上的连接方式。

请参阅图1及图2，根据本申请的一些实施例，可选地，冷却腔室210的第一进风口211与第一通风管道320及冷却腔室210的第一出风口212与第二通风管道330之间均设置有密封件400。具体地，冷却腔室210的第一进风口211与第一通风管道320的第二出风口之间设置有密封件400。冷却腔室210的第一出风口212与第二通风管道330的第三进风口之间设置有密封件400在本实施例中，密封件400采用密封圈。

第一通风管道320的第二进风口与制冷组件310之间设置有密封件400。第一通风管道320的第三出风口与柜体120之间设置有密封件400。第二通风管道330的第四出风口与柜体120之间设置有密封件400。

通过设置密封件400，可有效防止冷风泄露，进一步地提高制冷效果，防止资源浪费。

请参阅图1及图2，根据本申请的一些实施例，可选地，真空镀膜设备100的柜门110的数量与冷却壳体200的数量相对应。在本实施例中，真空镀膜设备100的柜门110包括有两个，两柜门110相背对设置。冷却壳体200包括有两个，两冷却壳体200对称设置，且两冷却壳体200分别与两柜门110一一对应设置。相应地，第一通风管道320及第二通风管道330的数量也为两个。

在其他的实施例中，真空镀膜设备100的柜门110、冷却壳体200均包括若干。示例性地，若干柜门110、若干冷却壳体200均间隔设置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，包括：

冷却壳体，所述冷却壳体具有冷却腔室，且所述冷却腔室围成一容纳空间以用于容纳真空镀膜设备的柜门；所述冷却腔室的两端分别开设有第一进风口、第一出风口，所述第一进风口及所述第一出风口均与所述冷却腔室相连通；

冷却机构，所述冷却机构包括用于连接于所述真空镀膜设备的柜体上的制冷组件、第一通风管道及第二通风管道，所述第一通风管道连通所述第一进风口与所述制冷组件，且所述第一通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连接口；所述第二通风管道与所述第一出风口连通，且所述第二通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连通口。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述第一通风管道包括第二进风口、第二出风口及第三出风口，所述第二进风口与所述制冷组件相连通，所述第二出风口与所述第一进风口相连通，所述第三出风口用于与所述柜体内部相连通。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述第二通风管道包括第三进风口及第四出风口，所述第三进风口与所述第一出风口相连通，所述第四出风口用于与所述柜体内部相连通。

4.一种真空镀膜系统，其特征在于，包括：如权利要求1所述的真空镀膜设备及如权利要求1-3任一所述的冷却装置，所述真空镀膜设备包括所述柜体及所述柜门；

所述冷却装置的所述冷却腔室围绕所述真空镀膜设备的所述柜门。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述冷却壳体铰接设置于所述柜体或所述制冷组件上。

6.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述冷却壳体可拆卸连接于所述柜体或所述制冷组件上。

7.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述制冷组件、所述第一通风管道及所述第二通风管道可拆卸连接于所述柜体上。

8.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述冷却腔室的所述第一进风口与所述第一通风管道及所述冷却腔室的所述第一出风口与所述第二通风管道之间均设置有密封件。

9.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述真空镀膜设备的所述柜门的数量与所述冷却壳体的数量相对应。

10.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述真空镀膜设备的所述柜门包括有两个，两所述柜门相背对设置；所述冷却壳体包括有两个，两所述冷却壳体对称设置，且两所述冷却壳体分别与两所述柜门一一对应设置。

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