CN217306447U - 晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备 - Google Patents

Abstract

晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备，属于半导体技术领域。包括筛选器筒体以及多层筛盘，多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔，且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。本实用新型可解决通过人工肉眼和显微镜来区分混料的问题，能够快速区分不同规格尺寸的晶粒，操作简便，减少生产成本，同时还具有芯片晶粒清洗功能。本实用新型可将晶粒的筛选和清洗相结合，省时省力，提高了工作效率。

Description

晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备

技术领域

本实用新型涉及晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备，属于半导体技术领域。

背景技术

现半导体行业中，芯片晶粒产出后，在生产作业过程中，时常发生不同规格尺寸产品混料的现象。目前，对于混料现象，需要通过人工肉眼或者显微镜将混料产品按照不同粒径区分出来并去除不合格的晶粒，这种操作效率很低，极大的占用了生产成本，浪费了人力资源。

另外，芯片晶粒产出操作过程对晶粒造成脏污需要清洗，目前的清洗器由于结构不匹配容易导致清洗效果不良。

实用新型

为了解决芯片晶粒生产过程中产生混料后导致员工难以区分的问题，本实用新型提供一种操作简便、工作效率高的晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备。

本实用新型的技术方案如下：

本实用新型第一个目的是：

晶粒筛选器，其特征是，包括筛选器筒体以及多层筛盘，多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔，且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。

所述筛选器筒体的内壁设有若干组均匀且竖向布置的滑轨，所述筛盘设有与对应滑轨匹配的滑块；所述滑轨的入口端均位于筛选器筒体内壁顶端，滑轨的末端位于筛选器筒体内壁对应筛盘处。

所述筛盘具有网状的侧挡板，每个筛盘的滑块可对称布置于相应侧挡板外侧壁，该侧挡板与对应筛盘的网眼孔径相同。

采用上述方案，筛选器筒体内壁的滑轨向下延伸长度，根据筛盘所在高度匹配设置，不同的筛盘对应不同的滑轨，最上层筛盘所对应的滑轨长度最短，最下层筛盘所对应的滑轨长度最长。安装时，先将最下层的筛盘通过对应的滑轨安装至筛选器筒体内腔底部，之后由下向上逐一安装筛盘。上述方案通过筛盘结构将不同规格尺寸的晶粒分开，筛盘的大小及个数可根据实际需要来调整。

本实用新型的第二个目的是：

晶粒筛选清洗机构，其特征是，包括上述晶粒筛选器以及用于盛放清洗液的容器，所述晶粒筛选器置于所述容器内。

所述筛选器筒体的外侧壁设有对称布置的吊耳，所述容器内侧壁设有与吊耳匹配的滑槽；通过吊耳与滑槽匹配，将筛选器筒体安装于所述容器内。

所述筛选器筒体上下敞口，底部延伸有台阶，用于搁置最下层筛盘。所述容器的内腔底部设有多根支撑柱，用于支撑筛选器筒体底部台阶。

采用上述方案，在容器内倒入清洗液，便于晶粒筛分工作、清洗工作同时完成。吊耳可便于将整个筛选器从容器中取出；容器内壁设置与吊耳匹配的滑槽，便于筛选器筒体置入或离开容器，也可对筛选器筒体进行限位，防止其发生周向旋转；支撑柱和台阶的配合，使最下层筛盘与容器底部保持距离，便于筛分和清洗。

本实用新型的第三个目的是：

晶粒筛选清洗设备，其特征是，包括上述晶粒筛选清洗机构以及旋转机构，通过旋转机构使晶粒筛选清洗机构发生摇摆，便于晶粒的筛选和清洗。所述旋转机构包括：

底座，用于支撑所述晶粒筛选清洗机构；所述底座设有夹持结构，用于固定晶粒筛选清洗机构的容器；

基座，用于支撑整个旋转机构；

支架，设有两根，并相对布置，用于支撑底座；所述底座通过转轴与两根支架转动连接；

驱动电机，安装于支架，驱动连接所述转轴，继而驱动整个底座旋转，以使晶粒筛选清洗机构摇摆。

采用上述方案，通过驱动电机驱动转轴旋转，使与转轴固接的底座发生旋转，底座通过夹持结构固定容器，容器随之发生摇摆，一方面可使筛选器内晶粒筛分效果更佳，另一方面便于筛选器内晶粒与清洗液充分接触，全方位接触而提高清洗效果。

本实用新型可解决通过人工肉眼和显微镜来区分混料的问题，能够快速区分不同规格尺寸的晶粒，操作简便，减少生产成本，同时还具有芯片晶粒清洗功能。本实用新型可将晶粒的筛选和清洗相结合，省时省力，提高了工作效率。

附图说明

图1为实施例1中晶粒筛选器的结构示意图；

图2为实施例2中晶粒筛选器的结构示意图；

图3为实施例2中筛盘的结构示意图；

图4为实施例3中筛选器筒体的结构示意图；

图5为实施例3中容器的俯视图；

图6为实施例3中容器的侧视图；

图7为实施例4中晶粒筛选清洗设备的结构示意图；

图中：筛选器筒体1、筛盘2、滑轨3、侧挡板4、滑块5、容器6、吊耳7、滑槽8、台阶9、支撑柱10、底座11、支架12、驱动电机13、基座14、转轴15、凹槽16、夹板17、支撑柱18、弹簧19、固定槽20。

具体实施方式

实施例1

晶粒筛选器，包括筛选器筒体1以及多层筛盘2，多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔，且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。

如图1所示，本实施例通过筛盘结构将不同规格尺寸的晶粒分开，筛盘的大小及个数可根据实际需要来调整，本实施例中筛盘数量为3个。

实施例2

晶粒筛选器，如图2-3所示，在实施例1基础上，筛选器筒体的内壁设有若干组均匀且竖向布置的滑轨3，滑轨的入口端均位于筛选器筒体内壁顶端，滑轨的末端位于筛选器筒体内壁对应筛盘处。筛盘具有网状的侧挡板4，每个筛盘的滑块5可对称布置于相应侧挡板外侧壁，该侧挡板与对应筛盘的网眼孔径相同。

安装时，先将最下层的筛盘通过对应的滑轨安装至筛选器筒体内腔底部，之后由下向上逐一安装筛盘。

实施例3

晶粒筛选清洗机构，如图4-6所示，在实施例1或2基础上，将晶粒筛选器置于装有清洗液的容器6内。具体的：

筛选器筒体的外侧壁设有对称布置的吊耳7，容器内侧壁设有与吊耳匹配的滑槽8；筛选器筒体上下敞口，底部延伸有台阶9，用于搁置最下层筛盘。容器的内腔底部设有多根支撑柱10，用于支撑筛选器筒体底部台阶，使最下层筛盘与容器底部保持距离。通过吊耳与滑槽匹配，将筛选器筒体安装于容器内。

在容器内倒入清洗液，便于晶粒筛分工作、清洗工作同时完成，可根据需要在容器上设置进、出水口。

实施例4

晶粒筛选清洗设备，如图7所示，在实施例3基础上，通过旋转机构使晶粒筛选清洗机构发生摇摆，便于晶粒的筛选和清洗。

旋转机构包括底座11、两根相对布置的支架12、安装于支架的驱动电机13、基座14。将两个支架固接于基座，底座通过转轴15与两根支架转动连接；底座设有夹持结构，用于固定晶粒筛选清洗机构的容器。

其中，底座设有用于放置容器的凹槽16。夹持结构包括一对夹板17，每块夹板后侧设有支撑柱18，底座凹槽侧壁设有安装孔，支撑柱置于对应安装孔内，夹板与安装孔端面之间设置弹簧19，弹簧套设于支撑柱上。

使两块夹板17背向运动，支撑柱在对应安装孔内后移，同时克服弹簧19作用力，将容器6置于底座凹槽16内，两块夹板在弹簧力作用下相向运动（支撑柱在对应安装孔内前移）直至共同夹持在容器的固定槽内。驱动电机13驱动转轴15，继而驱动整个底座旋转、摇摆，以使晶粒筛选清洗机构摇摆，使晶粒筛分彻底、全方位清洗。

实施例5

晶粒筛选清洗设备使用时，筛孔大小可根据生产需要来调整，并且筛盘数量也可随意调整。本实施例在筛选器筒体内加入三个不同规格的筛盘，第一层筛盘孔大小为90mil，第二层为80mil，第三层为70mil。在容器（石英缸）内倒入适量异丙醇，将筛选器放入石英缸内。

先将92mil、82mil、72mil三种不同规格晶粒的混料倒入第一层，驱动电机使晶粒筛选清洗机构摇摆，82mil、72mil晶粒会进入第二层；摇摆一段时间后可将第一层筛盘取下，继续摇摆，第二层72mil晶粒会进入第三层，这样将三种不同规格晶粒区分并分别停留在一二三层，同时晶粒也得到了清洗。

Claims (8)

1.晶粒筛选清洗设备，其特征是，包括晶粒筛选清洗机构以及旋转机构，通过旋转机构使晶粒筛选清洗机构发生摇摆，便于晶粒的筛选和清洗；

所述晶粒筛选清洗机构包括晶粒筛选器以及用于盛放清洗液的容器，所述晶粒筛选器置于所述容器内；

所述晶粒筛选器包括筛选器筒体以及多层筛盘，多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔，且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。

2.根据权利要求1所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述旋转机构包括：

底座，用于支撑所述晶粒筛选清洗机构；

基座，用于支撑整个旋转机构；

支架，设有两根，并相对布置，用于支撑底座；所述底座通过转轴与两根支架转动连接；

驱动电机，安装于支架，驱动连接所述转轴，继而驱动整个底座旋转，以使晶粒筛选清洗机构摇摆。

3.根据权利要求2所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述底座设有夹持结构，用于固定晶粒筛选清洗机构的容器。

4.根据权利要求1所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述筛选器筒体的内壁设有若干组均匀且竖向布置的滑轨，所述筛盘设有与对应滑轨匹配的滑块；

所述滑轨的入口端均位于筛选器筒体内壁顶端，滑轨的末端位于筛选器筒体内壁对应筛盘处。

5.根据权利要求4所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述筛盘具有网状的侧挡板，该侧挡板与对应筛盘的网眼孔径相同。

6.根据权利要求4所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述筛选器筒体上下敞口，底部延伸有台阶，用于搁置最下层筛盘。

7.根据权利要求6所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述筛选器筒体的外侧壁设有对称布置的吊耳，所述容器内侧壁设有与吊耳匹配的滑槽；通过吊耳与滑槽匹配，将筛选器筒体安装于所述容器内。

8.根据权利要求7所述的晶粒筛选清洗设备，其特征是，所述容器的内腔底部设有多根支撑柱，用于支撑筛选器筒体底部。

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