CN217279556U - 一种芯片设计分析装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种芯片设计分析装置。所述芯片设计分析装置包括底座，所述底座的顶部固定安装有龙门架，所述龙门架内设有隔离罩，所述隔离罩的顶部内壁上固定安装有超声扫描显微镜，所述龙门架内设有箱体，所述箱体位于所述隔离罩的下方，所述箱体的顶部固定安装有凹形架，所述凹形架的顶部固定安装有分析台，所述分析台的顶部开设有两个放置槽，所述龙门架的一侧内壁上固定安装有承载板，所述承载板上转动安装有转杆，所述转杆的一端延伸至所述箱体内并与所述箱体活动连接。本实用新型提供的芯片设计分析装置具有能够加快芯片分析检测速度，提高整体工作效率，且操作方便的优点。

Description

一种芯片设计分析装置

技术领域

本实用新型涉及芯片分析技术领域，尤其涉及一种芯片设计分析装置。

背景技术

芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，在芯片的制造过程中，为了对设计出的芯片进行内部分层、裂缝等缺陷的分析检测，一般会采用超声扫描显微镜进行分析检测，超声扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查芯片内部的分层、空洞、裂缝等缺陷，分析检测的效果好，也被广泛运用在半导体领域中的分析检测项目中。

然而，传统的在利用超声扫描显微镜进行分析检测时，大多是对芯片一个一个的进行，在分析完一个芯片后，将其取下，然后放上并固定好下一个芯片进行分析检测，这种分析方式导致整体的工作效率变低，不利于大批量快速的芯片生产工作。

因此，有必要提供一种新的芯片设计分析装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种能够加快芯片分析检测速度，提高整体工作效率，且操作方便的芯片设计分析装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的芯片设计分析装置包括：底座，所述底座的顶部固定安装有龙门架，所述龙门架内设有隔离罩，所述隔离罩的顶部内壁上固定安装有超声扫描显微镜，所述龙门架内设有箱体，所述箱体位于所述隔离罩的下方，所述箱体的顶部固定安装有凹形架，所述凹形架的顶部固定安装有分析台，所述分析台的顶部开设有两个放置槽，所述龙门架的一侧内壁上固定安装有承载板，所述承载板上转动安装有转杆，所述转杆的一端延伸至所述箱体内并与所述箱体活动连接，所述箱体的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有齿牙板，所述转杆上固定套设有位于所述箱体内的半牙齿轮，所述半牙齿轮与所述齿牙板相啮合。

优选的，两个所述放置槽内均设有顶板，所述分析台的底部固定安装有两个气缸，所述气缸位于所述凹形架内，两个所述气缸的输出轴均延伸至对应的所述放置槽内并与对应的所述顶板固定连接，且所述气缸的输出轴与所述分析台活动连接。

优选的，所述龙门架的顶部转动安装有内螺纹管，所述内螺纹管内螺纹安装有螺杆，所述螺杆的底端与所述隔离罩的顶部固定连接。

优选的，所述底座的顶部固定安装有两个滑轨，两个所述滑轨上均滑动安装有滑块，两个滑块的顶部均与所述箱体固定连接。

优选的，所述承载板上转动安装有连轴，所述底座的顶部固定安装有电机一，所述电机一的输出轴与所述连轴的一端固定连接，所述连轴和所述转杆上均固定套设有同步轮一，两个所述同步轮一上套设有同一个同步带一。

优选的，所述龙门架的顶部内壁上固定安装有两个立杆，两个所述立杆上均滑动安装有限位板，两个所述限位板相互靠近的一侧均与所述隔离罩固定连接。

优选的，所述龙门架的底部内壁上固定安装有电机二，所述龙门架的顶部转动安装有连动杆，所述电机二的输出轴与所述连动杆的底端固定连接，所述连动杆和所述内螺纹管上均固定套设有同步轮二，两个所述同步轮二上套设有同一个同步带二。

与相关技术相比较，本实用新型提供的芯片设计分析装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种芯片设计分析装置，通过设置的半牙齿轮以及与其呈啮合关系的两个齿牙板，便可使箱体形成左右的往复运动，从而使两个放置槽的位置可以不断的交替，这样便可在分析检测上一个芯片的同时，将下一个芯片安放好，待上一个芯片分析检测完毕后，直接对下一个芯片进行分析检测即可，这样便极大的缩短了原先所浪费的时间，从而提高了整体的工作效率，且气缸和顶板的设计，也方便人们将芯片从放置槽内取出，使得整个操作简便易上手。

附图说明

图1为本实用新型提供的芯片设计分析装置的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为图1所示的A部放大示意图；

图3为图1所示的承载板的俯视结构示意图；

图4为图1所示的两个滑轨的俯视结构示意图。

图中标号：1、底座；2、龙门架；3、隔离罩；4、超声扫描显微镜；5、箱体；6、凹形架；7、分析台；8、放置槽；9、承载板；10、转杆；11、齿牙板；12、半牙齿轮；13、顶板；14、气缸；15、内螺纹管；16、螺杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型提供的芯片设计分析装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的A部放大示意图；图3为图1所示的承载板的俯视结构示意图；图4为图1所示的两个滑轨的俯视结构示意图。芯片设计分析装置包括：底座1，所述底座1的顶部固定安装有龙门架2，所述龙门架2内设有隔离罩3，所述隔离罩3的顶部内壁上固定安装有超声扫描显微镜4，超声扫描显微镜4为现阶段最成熟的超声扫描设备，所述龙门架2内设有箱体5，所述箱体5位于所述隔离罩3的下方，所述箱体5的顶部固定安装有凹形架6，所述凹形架6的顶部固定安装有分析台7，分析台7的长度足够长，从而无论其往左还是往右移动后，隔离罩3在下降后，都能与其形成完全贴合，以保证隔离效果，所述分析台7的顶部开设有两个放置槽8，所述龙门架2的一侧内壁上固定安装有承载板9，所述承载板9上转动安装有转杆10，所述转杆10的一端延伸至所述箱体5内并与所述箱体5活动连接，在箱体5的一侧开设有活动口，转杆10贯穿该活动口并与该活动口的内壁活动连接，且活动口的长度足够长，使得箱体5的水平活动不会受阻，所述箱体5的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有齿牙板11，所述转杆10上固定套设有位于所述箱体5内的半牙齿轮12，所述半牙齿轮12与所述齿牙板11相啮合。

两个所述放置槽8内均设有顶板13，顶板13略小于放置槽8的内径，从而能够为芯片提供可靠的放置平台，所述分析台7的底部固定安装有两个气缸14，所述气缸14位于所述凹形架6内，两个所述气缸14的输出轴均延伸至对应的所述放置槽8内并与对应的所述顶板13固定连接，且所述气缸14的输出轴与所述分析台7活动连接，在分析台7的底部滑动安装有四个支杆，相对应的两个所述支杆的顶端均延伸至对应的放置槽8内并与对应的顶板13固定，从而能够对气缸14的输出轴形成限制，防止输出轴发生转动。

所述龙门架2的顶部转动安装有内螺纹管15，所述内螺纹管15内螺纹安装有螺杆16，所述螺杆16的底端与所述隔离罩3的顶部固定连接。

所述底座1的顶部固定安装有两个滑轨，两个所述滑轨上均滑动安装有滑块，两个滑块的顶部均与所述箱体5固定连接，两个滑轨的设置，使得箱体5的水平滑动更加稳定。

所述承载板9上转动安装有连轴，所述底座1的顶部固定安装有电机一，所述电机一的输出轴与所述连轴的一端固定连接，所述连轴和所述转杆10上均固定套设有同步轮一，两个所述同步轮一上套设有同一个同步带一。

所述龙门架2的顶部内壁上固定安装有两个立杆，两个所述立杆上均滑动安装有限位板，两个所述限位板相互靠近的一侧均与所述隔离罩3固定连接，限位板可以间接的对螺杆16形成限制，使其只能进行线性升降运动，并且，在立杆的底端固定有挡块，既能防止限位板与立杆脱离，又能防止螺杆16与内螺纹管15脱离，提高使用状态中的稳定形势。

所述龙门架2的底部内壁上固定安装有电机二，所述龙门架2的顶部转动安装有连动杆，所述电机二的输出轴与所述连动杆的底端固定连接，所述连动杆和所述内螺纹管15上均固定套设有同步轮二，两个所述同步轮二上套设有同一个同步带二。

本实用新型提供的芯片设计分析装置的工作原理如下：

在本装置中，龙门架2的一侧设有电子显示器，该电子显示器与超声扫描显微镜4配合使用，属于现阶段最成熟的配套分析设备，在此不做过多赘述；

在对芯片进行分析检测时，先将一个芯片放置在与超声扫描显微镜4对应的放置槽8内，随后正向启动电机二，利用其输出轴便可带动连动杆转动，然后通过同步轮二和同步带二之间的传动，便能带动内螺纹管15转动，这样便可使螺杆16带着隔离罩3下降，直至隔离罩3下降至与分析台7接触后，关闭电机二，然后便可利用超声扫描显微镜4进行分析检测工作，在分析检测的同时，便可将下一个芯片放在另一个放置槽8内，当上一个芯片分析完毕后，反向启动电机二，将隔离罩3往上带回原位，随即启动电机一的输出轴转动半圈，电机一的输出轴便会带动连轴转动，然后利用同步轮一和同步带一之间的传动，便能带动半牙齿轮12转动半圈，这时，半牙齿轮12便会与下方的齿牙板11啮合，便能带动箱体5水平移动一段距离，最终，原先不处于隔离罩3正下方的放置槽8便移动至原先处于隔离罩3正下方的放置槽8的位置，随后再次正向启动电机二，将隔离罩3往下带至与分析台7接触，便可进行下一个分析检测工作，同时，启动对应的气缸14的输出轴伸出，利用顶板13将上一个分析完毕的芯片顶出，然后将其取下并再放上第三块芯片，随后启动气缸14的输出轴缩回，将其带入放置槽8，之后，当第二个芯片分析完时，便可再次反向启动电机二，将隔离罩3往上带回，然后再次启动电机一的输出轴转动半圈，半牙齿轮12便会与上方的齿牙板11啮合，从而将两个放置槽8的位置再次交替，便可按照相同的方式继续进行分析检测，以此往复，直至全部完成即可。

与相关技术相比较，本实用新型提供的芯片设计分析装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种芯片设计分析装置，通过设置的半牙齿轮12以及与其呈啮合关系的两个齿牙板11，便可使箱体5形成左右的往复运动，从而使两个放置槽8的位置可以不断的交替，这样便可在分析检测上一个芯片的同时，将下一个芯片安放好，待上一个芯片分析检测完毕后，直接对下一个芯片进行分析检测即可，这样便极大的缩短了原先所浪费的时间，从而提高了整体的工作效率，且气缸14和顶板13的设计，也方便人们将芯片从放置槽8内取出，使得整个操作简便易上手。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种芯片设计分析装置，包括底座，其特征在于，所述底座的顶部固定安装有龙门架，所述龙门架内设有隔离罩，所述隔离罩的顶部内壁上固定安装有超声扫描显微镜，所述龙门架内设有箱体，所述箱体位于所述隔离罩的下方，所述箱体的顶部固定安装有凹形架，所述凹形架的顶部固定安装有分析台，所述分析台的顶部开设有两个放置槽，所述龙门架的一侧内壁上固定安装有承载板，所述承载板上转动安装有转杆，所述转杆的一端延伸至所述箱体内并与所述箱体活动连接，所述箱体的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有齿牙板，所述转杆上固定套设有位于所述箱体内的半牙齿轮，所述半牙齿轮与所述齿牙板相啮合。

2.根据权利要求1所述的芯片设计分析装置，其特征在于，两个所述放置槽内均设有顶板，所述分析台的底部固定安装有两个气缸，所述气缸位于所述凹形架内，两个所述气缸的输出轴均延伸至对应的所述放置槽内并与对应的所述顶板固定连接，且所述气缸的输出轴与所述分析台活动连接。

3.根据权利要求1所述的芯片设计分析装置，其特征在于，所述龙门架的顶部转动安装有内螺纹管，所述内螺纹管内螺纹安装有螺杆，所述螺杆的底端与所述隔离罩的顶部固定连接。

4.根据权利要求1所述的芯片设计分析装置，其特征在于，所述底座的顶部固定安装有两个滑轨，两个所述滑轨上均滑动安装有滑块，两个滑块的顶部均与所述箱体固定连接。

5.根据权利要求1所述的芯片设计分析装置，其特征在于，所述承载板上转动安装有连轴，所述底座的顶部固定安装有电机一，所述电机一的输出轴与所述连轴的一端固定连接，所述连轴和所述转杆上均固定套设有同步轮一，两个所述同步轮一上套设有同一个同步带一。

6.根据权利要求1所述的芯片设计分析装置，其特征在于，所述龙门架的顶部内壁上固定安装有两个立杆，两个所述立杆上均滑动安装有限位板，两个所述限位板相互靠近的一侧均与所述隔离罩固定连接。

7.根据权利要求3所述的芯片设计分析装置，其特征在于，所述龙门架的底部内壁上固定安装有电机二，所述龙门架的顶部转动安装有连动杆，所述电机二的输出轴与所述连动杆的底端固定连接，所述连动杆和所述内螺纹管上均固定套设有同步轮二，两个所述同步轮二上套设有同一个同步带二。

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