CN217231019U - 一种便于调温的多晶合成炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于调温的多晶合成炉，包括炉体和加热炉，所述加热炉竖直位于炉体的内部上方，所述加热炉与炉体连通，所述加热炉的底部设有用于升降加热炉的升降机构，所述加热炉的外部套接有定位环并水平设置，所述加热炉与定位环活动连接，所述定位环的两端均固定连接有固定柱并竖直设置，两个所述固定柱的底部固定连接有同一个底板并水平设置，所述底板的顶部中心位置固定连接有U型固定块并水平设置，所述U型固定块的内部两端活动连接有两个对称设置的夹物块并竖直设置，两个所述夹物块的一侧均与加热炉贴合，两个所述夹物块与加热炉活动连接。本实用新型通过将加热炉进行固定，在升降的过程中，使整体设备更安全。

Description

一种便于调温的多晶合成炉

技术领域

本实用新型涉及化工生产设备技术领域，尤其涉及一种便于调温的多晶合成炉。

背景技术

水平梯度凝固法是广泛被采用的方法，水平梯度凝固法采用三温区合成炉，即合成炉内存在高温区、中温区和低温区，高温区放置镓，低温区放置砷，中温区的主要作用是通过控制中温区的温度抑制石英舟中的硅扩散到多晶中，现有的多晶合成炉都具有一定的调温功能。

目前的便于调温的多晶合成炉在工作的时候，内部的工作炉在升降的过程中没有固定的机构，在升降的过程中不稳固，影响工作，且工作炉不方便更换，在更换的过程中浪费时间，降低工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决升降过程中工作炉不牢固的问题，而提出的一种便于调温的多晶合成炉。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种便于调温的多晶合成炉，包括炉体和加热炉，所述加热炉竖直位于炉体的内部上方，所述加热炉与炉体连通，所述加热炉的底部设有用于升降加热炉的升降机构，所述加热炉的外部套接有定位环并水平设置，所述加热炉与定位环活动连接，所述定位环的两端均固定连接有固定柱并竖直设置，两个所述固定柱的底部固定连接有同一个底板并水平设置，所述底板的顶部中心位置固定连接有U型固定块并水平设置，所述U型固定块的内部两端活动连接有两个对称设置的夹物块并竖直设置，两个所述夹物块的一侧均与加热炉贴合，两个所述夹物块与加热炉活动连接。

进一步的，所述升降机构包括第二升降柱、齿轮一和电机，所述第二升降柱有四个，四个所述第二升降柱竖直固定连接于炉体的内底部并等距分布，四个所述第二升降柱的外侧均套设有第一升降柱并竖直设置，所述第二升降柱与第一升降柱滑动连接，两个靠近的所述第二升降柱之间固定连接有同一个第一定位柱并水平设置，所述第一定位柱有两个，两个所述第一定位柱平行设置。

进一步的，所述底板的底部与四个等距分布的第一升降柱固定连接，所述炉体的内底部固定连接有两个对称分布的套接杆，两个所述套接杆竖直位于四个第二升降柱之间，两个所述套接杆的顶部均转动连接有齿轮二并水平设置，两个所述套接杆的内部均竖直转动连接有丝杆，所述丝杆穿过齿轮二与齿轮二转动连接，两个所述丝杆远离齿轮二的一端均固定连接有第二定位柱并水平设置，所述第二定位柱的两侧分别与两侧的第一升降柱固定连接。

进一步的，两个所述套接杆的一侧固定连接有同一个L型支撑板并水平设置，所述电机水平安装于L型支撑板的顶部一端，所述电机的输出轴连接有连接杆并水平设置，所述连接杆的两端均转动连接于齿轮一并竖直设置，所述齿轮一与齿轮二啮合。

进一步的，所述U型固定块的两端均开设有圆形槽口一，两个圆形槽口一内均水平安装有滚轴，两个所述夹物块的底端侧面均开设有圆形槽口二，圆形槽口一与圆形槽口二连通，两个所述滚轴穿过圆形槽口二与夹物块转动连接。

进一步的，所述U型固定块的内底部两端均开设有槽口一，所述槽口一位于夹物块的下方，两个所述夹物块的底部均固定连接有槽块一并竖直设置，两个所述槽块一分别与两个槽口一滑动连接。

进一步的，两个所述夹物块的一侧均开设有圆形槽口三，圆形槽口三内安装有螺丝并水平设置，所述螺丝与夹物块螺纹连接。

本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型，在使用的过程中，将加热炉安装进定位环内，两个夹物块的一侧形状为圆弧形，与加热炉贴合，可以更好的进行固定，拧紧螺丝，将两个夹物块进行固定，两个夹物块通过螺丝的挤压更好的将加热炉进行固定，由于加热炉在高温环境下工作，时间久了容易造成腐蚀损坏，如果不能方便更换，若发生损坏将造成一定的损失。

2.本实用新型，在需要更换加热炉的时候，将螺丝拧松，取出加热炉跟换即可，操作简单方便，且炉体内部空间有限，若结构复杂，则不便操作，在夹物块的内部设有滚轴，方便配合夹紧工作，增加工作效率，两个固定柱对定位环起到固定作用。

3.本实用新型，在底板的底部设有升降机构，可以对加热炉进行升降，方便后续的取件工作，通过电机带动连接杆转动，连接杆带动两个齿轮一转动，齿轮一与齿轮二啮合，两个齿轮一分别带动两个齿轮二转动，两个齿轮二与丝杆螺纹连接，两个齿轮二转动带动两个丝杆上升，两个丝杆带动第二定位柱上升，同时带动四个第一升降柱上升，从而带动底板进行上升，通过整体的配合，更好的将加热炉进行上升，整体操作简单方便，且实用性高，通过将加热炉进行固定，在升降的过程中，使整体设备更安全。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种便于调温的多晶合成炉的内部结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种便于调温的多晶合成炉的主视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种便于调温的多晶合成炉的后视结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种便于调温的多晶合成炉的剖面结构示意图；

图5为本实用新型提出的一种便于调温的多晶合成炉的A部放大图。

图中：1、炉体；2、加热炉；3、定位环；4、固定柱；5、底板；6、第一升降柱；7、第二升降柱；8、连接杆；9、第一定位柱；10、L型支撑板；11、电机；12、螺丝；13、U型固定块；14、齿轮一；15、丝杆；16、齿轮二；17、套接杆；18、夹物块；19、滚轴；20、槽口一；21、槽块一；22、第二定位柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

参照图1-5，一种便于调温的多晶合成炉，包括炉体1和加热炉2，加热炉2竖直位于炉体1的内部上方，加热炉2与炉体1连通，加热炉2的底部设有用于升降加热炉2的升降机构，加热炉2的外部套接有定位环3并水平设置，加热炉2与定位环3活动连接，定位环3的两端均固定连接有固定柱4并竖直设置，两个固定柱4的底部固定连接有同一个底板5并水平设置，底板5的顶部中心位置固定连接有U型固定块13并水平设置，U型固定块13的内部两端活动连接有两个对称设置的夹物块18并竖直设置，两个夹物块18的一侧均与加热炉2贴合，两个夹物块18与加热炉2活动连接。

本实用新型，升降机构包括第二升降柱7、齿轮一14和电机11，第二升降柱7有四个，四个第二升降柱7竖直固定连接于炉体1的内底部并等距分布，四个第二升降柱7的外侧均套设有第一升降柱6并竖直设置，第二升降柱7与第一升降柱6滑动连接，两个靠近的第二升降柱7之间固定连接有同一个第一定位柱9并水平设置，第一定位柱9有两个，两个第一定位柱9平行设置。

本实用新型，底板5的底部与四个等距分布的第一升降柱6固定连接，炉体1的内底部固定连接有两个对称分布的套接杆17，两个套接杆17竖直位于四个第二升降柱7之间，两个套接杆17的顶部均转动连接有齿轮二16并水平设置，两个套接杆17的内部均竖直转动连接有丝杆15，丝杆15穿过齿轮二16与齿轮二16转动连接，两个丝杆15远离齿轮二16的一端均固定连接有第二定位柱22并水平设置，第二定位柱22的两侧分别与两侧的第一升降柱6固定连接。

本实用新型，两个套接杆17的一侧固定连接有同一个L型支撑板10并水平设置，电机11水平安装于L型支撑板10的顶部一端，电机11的输出轴连接有连接杆8并水平设置，连接杆8的两端均转动连接于齿轮一14并竖直设置，齿轮一14与齿轮二16啮合。

本实用新型，U型固定块13的两端均开设有圆形槽口一，两个圆形槽口一内均水平安装有滚轴19，两个夹物块18的底端侧面均开设有圆形槽口二，圆形槽口一与圆形槽口二连通，两个滚轴19穿过圆形槽口二与夹物块18转动连接。

本实用新型，U型固定块13的内底部两端均开设有槽口一20，槽口一20位于夹物块18的下方，两个夹物块18的底部均固定连接有槽块一21并竖直设置，两个槽块一21分别与两个槽口一20滑动连接。

本实用新型，两个夹物块18的一侧均开设有圆形槽口三，圆形槽口三内安装有螺丝12并水平设置，螺丝12与夹物块18螺纹连接。

工作原理：在使用的过程中，将加热炉2安装进定位环3内，两个夹物块18的一侧形状为圆弧形，与加热炉2贴合，可以更好的进行固定，拧紧螺丝12，将两个夹物块18进行固定，两个夹物块18通过螺丝12的挤压更好的将加热炉2进行固定，由于加热炉2在高温环境下工作，时间久了容易造成腐蚀损坏，如果不能方便更换，若发生损坏将造成一定的损失，在需要更换加热炉2的时候，将螺丝12拧松，取出加热炉2跟换即可，操作简单方便，且炉体1内部空间有限，若结构复杂，则不便操作，在夹物块18的内部设有滚轴19，方便配合夹紧工作，增加工作效率，两个固定柱4对定位环3起到固定作用，在底板5的底部设有升降机构，可以对加热炉2进行升降，方便后续的取件工作，通过电机11带动连接杆8转动，连接杆8带动两个齿轮一14转动，齿轮一14与齿轮二16啮合，两个齿轮一14分别带动两个齿轮二16转动，两个齿轮二16与丝杆15螺纹连接，两个齿轮二16转动带动两个丝杆15上升，两个丝杆15带动第二定位柱22上升，同时带动四个第一升降柱6上升，从而带动底板5进行上升，通过整体的配合，更好的将加热炉2进行上升，整体操作简单方便，且实用性高，通过将加热炉2进行固定，在升降的过程中，使整体设备更安全。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种便于调温的多晶合成炉，包括炉体(1)和加热炉(2)，其特征在于，所述加热炉(2)竖直位于炉体(1)的内部上方，所述加热炉(2)与炉体(1)连通，所述加热炉(2)的底部设有用于升降加热炉(2)的升降机构，所述加热炉(2)的外部套接有定位环(3)并水平设置，所述加热炉(2)与定位环(3)活动连接，所述定位环(3)的两端均固定连接有固定柱(4)并竖直设置，两个所述固定柱(4)的底部固定连接有同一个底板(5)并水平设置，所述底板(5)的顶部中心位置固定连接有U型固定块(13)并水平设置，所述U型固定块(13)的内部两端活动连接有两个对称设置的夹物块(18)并竖直设置，两个所述夹物块(18)的一侧均与加热炉(2)贴合，两个所述夹物块(18)与加热炉(2)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种便于调温的多晶合成炉，其特征在于，所述升降机构包括第二升降柱(7)、齿轮一(14)和电机(11)，所述第二升降柱(7)有四个，四个所述第二升降柱(7)竖直固定连接于炉体(1)的内底部并等距分布，四个所述第二升降柱(7)的外侧均套设有第一升降柱(6)并竖直设置，所述第二升降柱(7)与第一升降柱(6)滑动连接，两个靠近的所述第二升降柱(7)之间固定连接有同一个第一定位柱(9)并水平设置，所述第一定位柱(9)有两个，两个所述第一定位柱(9)平行设置。

3.根据权利要求2所述的一种便于调温的多晶合成炉，其特征在于，所述底板(5)的底部与四个等距分布的第一升降柱(6)固定连接，所述炉体(1)的内底部固定连接有两个对称分布的套接杆(17)，两个所述套接杆(17)竖直位于四个第二升降柱(7)之间，两个所述套接杆(17)的顶部均转动连接有齿轮二(16)并水平设置，两个所述套接杆(17)的内部均竖直转动连接有丝杆(15)，所述丝杆(15)穿过齿轮二(16)与齿轮二(16)转动连接，两个所述丝杆(15)远离齿轮二(16)的一端均固定连接有第二定位柱(22)并水平设置，所述第二定位柱(22)的两侧分别与两侧的第一升降柱(6)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种便于调温的多晶合成炉，其特征在于，两个所述套接杆(17)的一侧固定连接有同一个L型支撑板(10)并水平设置，所述电机(11)水平安装于L型支撑板(10)的顶部一端，所述电机(11)的输出轴连接有连接杆(8)并水平设置，所述连接杆(8)的两端均转动连接于齿轮一(14)并竖直设置，所述齿轮一(14)与齿轮二(16)啮合。

5.根据权利要求1所述的一种便于调温的多晶合成炉，其特征在于，所述U型固定块(13)的两端均开设有圆形槽口一，两个圆形槽口一内均水平安装有滚轴(19)，两个所述夹物块(18)的底端侧面均开设有圆形槽口二，圆形槽口一与圆形槽口二连通，两个所述滚轴(19)穿过圆形槽口二与夹物块(18)转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种便于调温的多晶合成炉，其特征在于，所述U型固定块(13)的内底部两端均开设有槽口一(20)，所述槽口一(20)位于夹物块(18)的下方，两个所述夹物块(18)的底部均固定连接有槽块一(21)并竖直设置，两个所述槽块一(21)分别与两个槽口一(20)滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种便于调温的多晶合成炉，其特征在于，两个所述夹物块(18)的一侧均开设有圆形槽口三，圆形槽口三内安装有螺丝(12)并水平设置，所述螺丝(12)与夹物块(18)螺纹连接。

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