CN217230920U - 镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种镀膜装置，用于对产品镀膜，产品包括第一边和第二边，包括转盘、转盘驱动件、镀膜组件和距离调整组件，转盘设有挂杆，用于放置产品，转盘驱动件用于驱动转盘转动，镀膜组件用于对产品镀膜，距离调整组件包括第一传动件、椭圆齿轮和啮合机构，第一传动件连接转盘驱动件，椭圆齿轮连接第一传动件和挂杆，椭圆齿轮具有第一圆弧边和第二圆弧边，第一圆弧边的中心与第一边的垂直距离等于第二圆弧边的中心与第二边之间的垂直距离，啮合机构设于转盘并连接挂杆，用于推动挂杆和椭圆齿轮，使椭圆齿轮与第一传动件始终保持啮合，用以使椭圆齿轮在自转时，第一边正对镀膜组件的距离与第二边正对镀膜组件的距离相同，使产品的镀膜厚度均匀。

Description

镀膜装置

技术领域

本申请涉及产品加工领域，尤其涉及一种镀膜装置。

背景技术

在生产过程中通过气相沉积对产品进行镀膜，但是产品在转动过程中，产品的长边和宽边正对靶材的距离不同，导致长边和宽边镀膜的厚度存在差异，产生色差，影响产品质量。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供一种镀膜装置，其能够调整产品的边正对靶材的距离，使产品的镀膜厚度均匀。

本申请的实施例提供一种镀膜装置，用于对产品进行镀膜，所述产品包括第一边和第二边，包括转盘、转盘驱动件、镀膜组件和距离调整组件，所述转盘沿所述转盘的圆周方向设有挂杆，用于堆叠放置所述产品，所述转盘驱动件连接所述转盘，用于驱动所述转盘转动，所述镀膜组件设于所述转盘的侧边，并位于所述转盘的圆周方向，用于对所述产品进行镀膜，所述距离调整组件包括第一传动件、椭圆齿轮和啮合机构，所述第一传动件连接所述转盘驱动件，所述椭圆齿轮连接所述第一传动件和挂杆，所述转盘驱动件驱动所述第一传动件转动，所述第一传动件带动所述椭圆齿轮转动，用以带动所述挂杆上的产品自转，所述椭圆齿轮具有第一圆弧边和第二圆弧边，沿所述产品的堆叠方向观察，所述第一圆弧边的中心与所述第一边的垂直距离等于所述第二圆弧边的中心与所述第二边之间的垂直距离，所述啮合机构设于所述转盘并连接所述挂杆，用于推动所述挂杆和椭圆齿轮，使所述椭圆齿轮与所述第一传动件始终保持啮合，用以使所述椭圆齿轮在自转时，所述第一边正对所述镀膜组件的距离与所述第二边正对所述镀膜组件的距离相同。

本申请的实施例包括的技术效果：通过设置椭圆齿轮，通过啮合机构使椭圆齿轮与第一传动件始终保持啮合，并且第一圆弧边的中点与第一边的垂直距离等于第二圆弧边的中点与第二边的垂直距离，实现挂杆上的产品在转动时，第一边正对镀膜组件的距离与第二边正对镀膜组件的距离相同，使产品的镀膜厚度均匀，提升产品质量。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述第一传动件包括第一齿轮、第二齿轮和传动轴，所述传动轴贯穿所述转盘，所述第一齿轮和第二齿轮连接所述传动轴，所述第一齿轮连接所述转盘驱动件，所述第二齿轮连接所述椭圆齿轮。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述距离调整组件还包括第二传动件，所述第二传动件包括第三齿轮和第四齿轮，所述第三齿轮和第四齿轮同步转动，所述第三齿轮连接所述转盘驱动件，所述第四齿轮连接所述第一齿轮。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述距离调整组件还包括第一保持轮、第二保持轮和保持驱动轮，所述第二传动件还包括第五齿轮，所述第三齿轮、第四齿轮和第五齿轮同步转动，所述第五齿轮连接所述保持驱动轮，所述第一保持轮与所述保持驱动轮同步转动，所述第二保持轮连接所述挂杆，所述第五齿轮驱动所述第一保持轮转动，使所述第一保持轮相对所述第二保持轮作相切转动。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述啮合机构包括第一安装座、第二安装座、连接轴、弹性件和滑动块，所述第一安装座和第二安装座设于所述转盘，所述连接轴连接所述第一安装座和第二安装座，所述滑动块滑动连接所述连接轴，所述挂杆转动连接所述滑动块，所述弹性件套设于所述连接轴，并抵持于所述第一安装座和滑动块，使所述挂杆向第一传动件移动，并使所述椭圆齿轮与所述第一传动件保持啮合。

可选地，在本申请的一些实施例中，还包括支撑盘和滚动机构，所述支撑盘与所述转盘相对设置，所述滚动机构设于所述支撑盘，所述挂杆连接所述支撑盘，并连接所述滚动机构。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述滚动机构包括安装块和转动设于所述安装块内的滚珠，所述挂杆设有支撑板，所述支撑板设于所述滚珠，并在所述挂杆转动时，在所述滚珠上转动。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述椭圆齿轮包括长直径和短直径，所述长直径的长度等于所述第一边的长度，所述短直径的长度等于所述第二边的长度。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述镀膜组件包括靶材，所述位于所述转盘的圆周方向。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述转盘驱动件包括齿盘和电机，所述电机连接所述齿盘，所述电机驱动所述转盘和齿盘转动，所述齿盘连接所述第一传动件。

附图说明

图1示意了一实施例中镀膜装置的结构示意图。

图2示意了一实施例中另一视角的镀膜装置的结构示意图。

图3示意了一实施例中又一视角的镀膜装置的结构示意图。

图4示意了图1中IV框中的放大结构示意图。

图5示意了一实施例中镀膜装置底部的结构示意图。

图6示意了图1中VI框中的放大结构示意图。

图7示意了一实施例中的距离调整组件的结构示意图。

主要元件符号说明

镀膜装置 100

转盘组件 10

转盘 11

挂杆 111

支撑板 111a

转盘驱动件 12

电机 121

齿盘 122

支撑盘 13

滚动机构 14

安装块 141

滚珠 142

镀膜组件 20

靶材 21

距离调整组件 30

第一传动件 31

第一齿轮 311

第二齿轮 312

传动轴 313

椭圆齿轮 32

第一圆弧边 321

第二圆弧边 322

啮合机构 33

第一安装座 331

第二安装座 332

连接轴 333

弹性件 334

滑动块 335

第二传动件 34

第三齿轮 341

第四齿轮 342

第五齿轮 343

第一保持轮 35

第二保持轮 36

保持驱动轮 37

产品 200

第一边 201

第二边 202

如下具体实施例将结合上述附图进一步说明本申请。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明的是，当组件被称为“装设于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本申请的实施例提供一种镀膜装置，用于对产品进行镀膜，产品包括第一边和第二边，包括转盘、转盘驱动件、镀膜组件和距离调整组件，转盘沿转盘的圆周方向设有挂杆，用于堆叠放置产品，转盘驱动件连接转盘，用于驱动转盘转动，镀膜组件设于转盘的侧边，并位于转盘的圆周方向，用于对产品进行镀膜，距离调整组件包括第一传动件、椭圆齿轮和啮合机构，第一传动件连接转盘驱动件，椭圆齿轮连接第一传动件和挂杆，转盘驱动件驱动第一传动件转动，第一传动件带动椭圆齿轮转动，用以带动挂杆上的产品自转，椭圆齿轮具有第一圆弧边和第二圆弧边，沿产品的堆叠方向观察，第一圆弧边的中心与第一边的垂直距离等于第二圆弧边的中心与第二边之间的垂直距离，啮合机构设于转盘并连接挂杆，用于推动挂杆和椭圆齿轮，使椭圆齿轮与第一传动件始终保持啮合，用以使椭圆齿轮在自转时，第一边正对镀膜组件的距离与第二边正对镀膜组件的距离相同。

通过设置椭圆齿轮，通过啮合机构使椭圆齿轮与第一传动件始终保持啮合，并且第一圆弧边的中点与第一边的垂直距离等于第二圆弧边的中点与第二边的垂直距离，实现挂杆上的产品在转动时，第一边正对镀膜组件的距离与第二边正对镀膜组件的距离相同，使产品的镀膜厚度均匀，提升产品质量。

下面结合附图，对本申请的一些实施例作详细说明。

请参阅图1和图2，镀膜装置100用于对产品200进行镀膜。可选的，镀膜装置100通过物理气相沉积对产品200进行镀膜。产品200包括第一边201和第二边202，其中第一边201的长度大于第二边202的长度。镀膜装置100包括转盘组件10、镀膜组件20和距离调整组件30。转盘组件10用于放置产品200，并带动产品200转动，镀膜组件20设于转盘组件10的一侧，并位于转盘组件10的圆周方向，用于对产品200进行镀膜，距离调整组件30连接转盘组件10，用于调整产品200的第一边201正对镀膜组件20的距离和第二边202正对镀膜组件20的距离，使第一边201正对镀膜组件20的距离等于第二边202正对镀膜组件20的距离，进而使镀膜组件20对产品200的第一边201和第二边202进行均匀镀膜，提升产品200质量。可选的，产品200包括矩形或其他非圆形结构，镀膜装置100对产品200的周侧的边进行镀膜。

请一并参阅图3，转盘组件10包括转盘11和转盘驱动件12，转盘驱动件12连接转盘11，用于驱动转盘11转动。转盘11设有挂杆111，挂杆111用于堆叠放置产品200。可选的，挂杆111设置为多个，多个挂杆111沿转盘11的圆周方向设置。可选的，转盘驱动件12包括电机121和齿盘122，电机121连接转盘11，并驱动转盘11转动。电机121还连接齿盘122，齿盘122连接距离调整组件30，通过电机121驱动齿盘122转动。

请参阅图1和图4，在一实施例中，转盘组件10还包括支撑盘13和滚动机构14，支撑盘13与转盘11相对设置，滚动机构14设于支撑盘13，挂杆111连接支撑盘13，并连接滚动机构14，通过滚动机构14减小挂杆111在转动时的摩擦力，便于挂杆111转动。

可选的，滚动机构14包括安装块141和转动设于安装块内的滚珠142，挂杆111设有支撑板111a，挂杆111连接支撑盘13，并使支撑板111a与滚珠142接触连接。在挂杆转动时，支撑板111a在滚珠142上转动，可减小挂杆111在转动时的摩擦力。

在一实施例中，镀膜组件20包括炉腔体(图未示3)和靶材21，靶材21固定于炉腔体内。转盘组件10和距离调整组件30均设于炉腔体内。靶材21设于转盘11的侧边，并位于转盘11的圆周方向。可选的，炉腔体内为高电离和高温环境，其中温度至少为180°，通过靶材21对第一边201和第二边202进行气相沉积。

距离调整组件30包括第一传动件31、椭圆齿轮32和啮合机构33。第一传动件31连接齿盘122。椭圆齿轮32连接第一传动件31和挂杆111，转盘驱动件12驱动第一传动件31转动，第一传动件31带动椭圆齿轮32转动，进而带动挂杆111上的产品200自转。啮合机构33设于转盘11并连接挂杆111，用于推动挂杆111和椭圆齿轮32，使椭圆齿轮32与第一传动件31始终保持啮合，用以使椭圆齿轮32在自转时，第一边201正对靶材21的距离等于第二边202正对靶材21的距离。

在一实施例中，第一传动件31贯穿转盘11。第一传动件31包括第一齿轮311、第二齿轮312和传动轴313。传动轴313贯穿转盘11，第一齿轮311和第二齿轮312连接传动轴313两端。第一齿轮311与齿盘122啮合，第二齿轮312与椭圆齿轮32啮合。

请参阅图1和图5，在一实施例中，距离调整组件30还包括第二传动件34，第二传动件34包括第三齿轮341和第四齿轮342，第三齿轮341和第四齿轮342同步转动设置。第三齿轮341和第四齿轮342设于转盘11背离椭圆齿轮32的一侧，其中，第三齿轮341与齿盘122啮合，第四齿轮342与第一齿轮311啮合。通过第三齿轮341将转动力传递至第四齿轮342，并从第四齿轮342传递至第一齿轮311，进而使第二齿轮312带动椭圆齿轮32转动。

在一实施例中，距离调整组件30还包括第一保持轮35、第二保持轮36和保持驱动轮37。第一保持轮35和保持驱动轮37设于转盘11的相对两侧，其中保持驱动轮37设于背离椭圆齿轮32的一侧，第一保持轮35和保持驱动轮37同步转动设置。第二保持轮36设于挂杆111，并位于椭圆齿轮32的上方。第二传动件34还包括第五齿轮343，第五齿轮343、第三齿轮341和第四齿轮342同步转动设置。第五齿轮343啮合保持驱动轮37，齿盘122驱动第三齿轮341转动时，带动第五齿轮343转动，第五齿轮343带动保持驱动轮37转动，进而带动第一保持轮35转动，齿盘122驱动第三齿轮341转动时，同时还带动第四齿轮342转动，第四齿轮342带动第一齿轮311和第二齿轮312转动，进而带动椭圆齿轮32和第二保持轮36转动，使第一保持轮35相对第二保持轮36作相切转动，使第一边201转动到正对靶材21的位置时，保持第一边201正对靶材21的距离，以及使第二边202转动到正对靶材21的位置时，保持第二边202正对靶材21的距离。可以理解的是，第一保持轮35和第二保持轮36可以仅在镀膜装置100调试时使用。

椭圆齿轮32具有第一圆弧边321和第二圆弧边322，第一圆弧边321的长度大于第二圆弧边322，第一圆弧边321对应第一边201，第二圆弧边322对应第二边202。沿竖直方向观察，第一圆弧边321与第一边201之间的距离等于第二圆弧边322与第二边202之间的距离，即第一圆弧边321的中点与第一边201的垂直距离等于第二圆弧边322的中点与第二边202的垂直距离。可选的，椭圆齿轮32包括长直径和短直径，长直径的长度等于第一边201的长度，短直径的长度等于第二边202的长度，即第一圆弧边321与第一边201之间的距离大致为0，第二圆弧边322与第二边202之间的距离大致为0。

请参阅图6和图7，啮合机构33包括第一安装座331、第二安装座332、连接轴333、弹性件334和滑动块335。第一安装座331和第二安装座332相对设于转盘11上，连接轴333连接第一安装座331和第二安装座332，滑动块335设于连接轴333，并沿连接轴333的长度方向滑动设置。挂杆111转动连接于滑动块335。弹性件334套设于连接轴333上，并抵持于第一安装座331和滑动块335，通过弹性件334的弹力使挂杆111向第一传动件31移动，并使椭圆齿轮32与第二齿轮312始终保持啮合，进而在椭圆齿轮32转动时，使第一边201正对靶材21的距离与第二边202正对靶材21的距离相同。

可以理解的是，每一挂杆111对应设有一距离调整组件30，实现对多个产品200进行镀膜。

上述镀膜装置100在使用时，首先将产品200放置于挂杆111上，并且第一圆弧边321的中点与第一边201的垂直距离等于第二圆弧边322的中点与第二边202的垂直距离，然后转盘驱动件12驱动转盘11公转，并驱动齿盘122转动，通过弹性件334的弹力使挂杆111向第一传动件31移动，并使椭圆齿轮32与第二齿轮312始终保持啮合，通过第三齿轮341将转动力传递至第四齿轮342，并从第四齿轮342传递至第一齿轮311，进而使第二齿轮312带动椭圆齿轮32转动，实现椭圆齿轮32的第一圆弧边321和第二圆弧边322转动到靶材21位置时，第一边201正对靶材21的距离与第二边202正对靶材21的距离相同。

上述镀膜装置100通过设置椭圆齿轮32，通过啮合机构33使椭圆齿轮32与第一传动件31始终保持啮合，并且第一圆弧边321的中点与第一边201的垂直距离等于第二圆弧边322的中点与第二边202的垂直距离，实现挂杆111上的产品在转动时，第一边201正对靶材21的距离与第二边202正对靶材21的距离相同，使产品200的镀膜厚度均匀，提升产品质量。

本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本申请，而并非用作为对本申请的限定，只要在本申请的实质精神范围内，对以上实施例所作的适当改变和变化都落在本申请公开的范围内。

Claims (10)

1.一种镀膜装置，用于对产品进行镀膜，所述产品包括第一边和第二边，包括：

转盘，沿所述转盘的圆周方向设有挂杆，用于堆叠放置所述产品；

转盘驱动件，连接所述转盘，用于驱动所述转盘转动；

镀膜组件，设于所述转盘的侧边，并位于所述转盘的圆周方向，用于对所述产品进行镀膜；

其特征在于，所述镀膜装置还包括：距离调整组件，所述距离调整组件包括：

第一传动件，连接所述转盘驱动件；

椭圆齿轮，连接所述第一传动件和挂杆，所述转盘驱动件驱动所述第一传动件转动，所述第一传动件带动所述椭圆齿轮转动，用以带动所述挂杆上的产品自转，所述椭圆齿轮具有第一圆弧边和第二圆弧边，沿所述产品的堆叠方向观察，所述第一圆弧边的中心与所述第一边的垂直距离等于所述第二圆弧边的中心与所述第二边之间的垂直距离；

啮合机构，设于所述转盘并连接所述挂杆，用于推动所述挂杆和椭圆齿轮，使所述椭圆齿轮与所述第一传动件始终保持啮合，用以使所述椭圆齿轮在自转时，所述第一边正对所述镀膜组件的距离与所述第二边正对所述镀膜组件的距离相同。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一传动件包括第一齿轮、第二齿轮和传动轴，所述传动轴贯穿所述转盘，所述第一齿轮和第二齿轮连接所述传动轴，所述第一齿轮连接所述转盘驱动件，所述第二齿轮连接所述椭圆齿轮。

3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述距离调整组件还包括第二传动件，所述第二传动件包括第三齿轮和第四齿轮，所述第三齿轮和第四齿轮同步转动，所述第三齿轮连接所述转盘驱动件，所述第四齿轮连接所述第一齿轮。

4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述距离调整组件还包括第一保持轮、第二保持轮和保持驱动轮，所述第二传动件还包括第五齿轮，所述第三齿轮、第四齿轮和第五齿轮同步转动，所述第五齿轮连接所述保持驱动轮，所述第一保持轮与所述保持驱动轮同步转动，所述第二保持轮连接所述挂杆，所述第五齿轮驱动所述第一保持轮转动，使所述第一保持轮相对所述第二保持轮作相切转动。

5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述啮合机构包括第一安装座、第二安装座、连接轴、弹性件和滑动块，所述第一安装座和第二安装座设于所述转盘，所述连接轴连接所述第一安装座和第二安装座，所述滑动块滑动连接所述连接轴，所述挂杆转动连接所述滑动块，所述弹性件套设于所述连接轴，并抵持于所述第一安装座和滑动块，使所述挂杆向第一传动件移动，并使所述椭圆齿轮与所述第一传动件保持啮合。

6.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，还包括支撑盘和滚动机构，所述支撑盘与所述转盘相对设置，所述滚动机构设于所述支撑盘，所述挂杆连接所述支撑盘，并连接所述滚动机构。

7.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，所述滚动机构包括安装块和转动设于所述安装块内的滚珠，所述挂杆设有支撑板，所述支撑板设于所述滚珠，并在所述挂杆转动时，在所述滚珠上转动。

8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述椭圆齿轮包括长直径和短直径，所述长直径的长度等于所述第一边的长度，所述短直径的长度等于所述第二边的长度。

9.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜组件包括靶材，所述位于所述转盘的圆周方向。

10.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述转盘驱动件包括齿盘和电机，所述电机连接所述齿盘，所述电机驱动所述转盘和齿盘转动，所述齿盘连接所述第一传动件。

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