CN217230917U - 载板回传装置及真空镀膜加工系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种载板回传装置及真空镀膜加工系统，包括：回传箱体的内部形成有回传腔室；传送机构设置于回传箱体上并用于实现载板在回传腔室内的传送；以及清洁机构包括吹风组件和排风组件吹风组件和排风组件分别与回传腔室连通，吹风组件用于将回传腔室内堆积的粉尘从排风组件排出。打开吹风组件和排风组件，吹入回传腔室内的气流能够将风尘搅动起来并混合至空气中，随后跟随气流一同从排风组件内排出回传腔室，由此实现对粉尘的自动清洁作业。相较于现有技术而言，本方案不仅保证回传装置对载板进行正常回传，同时还能够实现回传装置的自清洁效果，防止粉尘沾染电池而引起质量问题，且清洁过程无需人力参与，清洁效率高且效果好。

Description

载板回传装置及真空镀膜加工系统

技术领域

本实用新型涉及异质结太阳能电池生产技术领域，特别是涉及一种载板回传装置及真空镀膜加工系统。

背景技术

真空镀膜，是指在高真空的条件下将金属或非金属材料加热至蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种加工方法，在太阳能电池生产中，广泛应用真空镀膜技术如PECVD镀膜和PVD镀膜。在太阳能电池生产中，进行PECVD镀膜和PVD镀膜时常用的真空镀膜设备是直列式真空镀膜设备，直列式真空镀膜设备主要包括上料台、装载腔、工艺反应腔、隔离腔、卸载腔、下料台等。由于太阳能电池需要载板承载，完成镀膜卸载后的载板需要重新回到上料台，采用机台底部设置回传装置将载板送至上料台，实现载板的循环是目前行业内较为普遍的做法。

载板在回传过程中，通常采用滚轮或皮带传输，传输过程中会因以下两个问题导致粉尘在回传腔室内堆积：第一是载板与滚轮或皮带摩擦导致载板本身出现掉粉问题(尤其是石墨/碳纤维载板)；第二是载板表面附着真空腔室内镀膜时产生的粉尘。这些粉尘会沉积在回传腔室内，随着后续载板传送时造成扬尘，进而附着在载板表面，导致后续载板接料后，电池表面产生麻点类的不良。

目前行业内针对回传装置堆积的粉尘缺乏有效的自动清理手段，主要通过人工擦拭、吸尘器吸取粉尘的手动清理方式，然而回传装置通常设置在工艺腔体的下方，操作空间狭小，人员清理作业困难。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种载板回传装置及真空镀膜加工系统，旨在解决现有技术粉尘影响电池质量不良，手动清灰操作困难，费时耗力的问题。

一方面，本申请提供一种载板回传装置，其包括：

回传箱体，所述回传箱体的内部形成有回传腔室；

传送机构，所述传送机构设置于所述回传箱体上并用于实现载板在所述回传腔室内的传送；以及

清洁机构，所述清洁机构包括吹风组件和排风组件，所述吹风组件和所述排风组件分别与所述回传腔室连通，所述吹风组件用于将所述回传腔室内堆积的粉尘从所述排风组件排出。

上述方案的载板回传装置应用装备于真空镀膜加工系统中，用以对完成传送任务的载板由下料工位回传至上料工位，以重复进行载板传送，提高使用效率。当载板行经回传箱体后，使回传腔室内产生粉尘，粉尘堆积在回传腔室内时，通过打开吹风组件和排风组件，吹入回传腔室内的气流能够将风尘搅动起来并混合至空气中，随后跟随气流一同从排风组件内排出回传腔室，由此实现对粉尘的自动清洁作业。相较于现有技术而言，本方案不仅保证回传装置对载板进行正常回传，同时还能够实现回传装置的自清洁效果，防止粉尘沾染电池而引起质量问题，且清洁过程无需人力参与，清洁效率高且效果好。

下面对本申请的技术方案作进一步的说明：

在其中一个实施例中，所述吹风组件包括鼓风机和吹风管，所述回传箱体开设有进风口，所述吹风管的第一端与所述鼓风机连通，所述吹风管的第二端与所述进风口对接连通。

在其中一个实施例中，所述吹风组件还包括调压阀，所述调压阀连接于所述吹风管中。

在其中一个实施例中，所述吹风组件还包括吹气嘴，所述吹气嘴连接于所述吹风管的一端并伸入所述回传腔室内；其中，所述吹气嘴呈喇叭状结构。

在其中一个实施例中，所述吹风组件设置为至少两个，至少两个所述吹风组件分别设置于所述回传箱体的相对两侧。

在其中一个实施例中，所述排风组件包括排风管和抽风机，所述回传箱体开设有排风口，所述排风管的第一端与所述抽风机连通，所述排风管的第二端与所述排风口对接连通。

在其中一个实施例中，所述载板回传装置还包括第一传感器和第二传感器，所述回传腔室具有相对设置的进入端和送出端，所述第一传感器设置于所述进入端处，所述第二传感器设置于所述送出端处，所述第一传感器和所述第二传感器与所述传送机构信号连接。

在其中一个实施例中，所述载板回传装置还包括第三传感器，所述第三传感器设置于所述回传腔室内并处于所述第一传感器和所述第二传感器之间。

在其中一个实施例中，所述传送机构包括动力源、传动件和多个传送滚轮，所述动力源与任意一个所述传送滚轮驱动连接，多个所述传送滚轮转动设置于所述回传箱体上并沿着所述回传腔室的进入端向送出端并排间隔布置，所述传动件套装于多个所述传送滚轮的外部。

另一方面，本申请还提供一种真空镀膜加工系统，其包括如上所述的载板回传装置。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例所述的载板回传装置的结构示意图；

图2为图1的另一视角的结构示意图。

附图标记说明：

100、载板回传装置；10、回传箱体；11、回传腔室；20、传送机构；21、传送滚轮；30、吹风组件；31、吹风管；32、调压阀；33、吹气嘴；40、排风组件；41、排风管；50、第一传感器；60、第二传感器；70、第三传感器。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

本申请实施例提供一种真空镀膜加工系统，其用于对太阳能电池进行镀膜加工，以将金属或非金属材料以薄膜的形式涂镀到电池表面，如常用的镀膜加工技术有PECVD镀膜、PVD镀膜等。

通常，真空镀膜加工系统包括其包括上料台、装载腔、工艺反应腔、隔离腔、卸载腔、下料台等，此外，还包括载板回传装置100。上料台用于将电池放置于载板上，载板携带电池依次经过各个加工工位后到达下料台，电池被取走后，载板再通过载板回传装置100返回至上料台，以便对下一块载板继续进行承载和传送。

如图1和图2所示，为本申请一实施例展示的一种载板回传装置100，其包括：回传箱体10、传送机构20以及清洁机构。回传箱体10用以装载固定传送机构20和清洁机构，并提供回传载板的工作空间。传送机构20用于对载板从下料台向上料台方向回传。清洁机构用于清除堆积在回传箱体10内部的粉尘。

具体到本实施例中，所述回传箱体10的内部形成有回传腔室11；所述传送机构20设置于所述回传箱体10上并用于实现载板在所述回传腔室11内的传送；所述清洁机构包括吹风组件30和排风组件40，所述吹风组件30和所述排风组件40分别与所述回传腔室11连通，所述吹风组件30用于将所述回传腔室11 内堆积的粉尘从所述排风组件40排出。

综上，实施本实施例技术方案将具有如下有益效果：上述方案的载板回传装置100应用装备于真空镀膜加工系统中，用以对完成传送任务的载板由下料工位回传至上料工位，以重复进行载板传送，提高使用效率。当载板行经回传箱体10后，使回传腔室11内产生粉尘，粉尘堆积在回传腔室11内时，通过打开吹风组件30和排风组件40，吹入回传腔室11内的气流能够将风尘搅动起来并混合至空气中，随后跟随气流一同从排风组件40内排出回传腔室11，由此实现对粉尘的自动清洁作业。相较于现有技术而言，本方案不仅保证回传装置对载板进行正常回传，同时还能够实现回传装置的自清洁效果，防止粉尘沾染电池而引起质量问题，且清洁过程无需人力参与，清洁效率高且效果好。

本实施例中，回传箱体10设计为方形箱体结构，高度较小而成扁平状，以便放置于工艺反应腔的下方的狭窄空间内。

请继续参阅图1和图2，在一些实施例中，所述吹风组件30包括鼓风机和吹风管31，所述回传箱体10开设有进风口，所述吹风管31的第一端与所述鼓风机连通，所述吹风管31的第二端与所述进风口对接连通。清洁工作时，鼓风机通过吹风管31向回传腔室11内吹入气流，气流便可将堆积在回传腔室11的壁面和角落处的粉尘吹起，以便粉尘从排风组件40排走。

进一步地，回传箱体10还连接有高频振动器，例如可以是振动电机。高频振动器可驱动回传箱体10产生高频小幅度的振动，从而打破堆积粉尘的静态状态，从而确保粉尘更容易被气流搅动吹起，避免粉尘残留。

进一步地，所述吹风组件30还包括调压阀32，所述调压阀32连接于所述吹风管31中。设置调压阀32，可以灵活调节吹入回传腔室11内的气流压力，以便根据粉尘堆积情况来应对各种工况条件，提高粉尘清洁效能。例如，调压阀32的可调范围为0～1MPa。

更进一步地，所述吹风组件30还包括吹气嘴33，所述吹气嘴33连接于所述吹风管31的一端并伸入所述回传腔室11内；其中，所述吹气嘴33呈喇叭状结构。如此能够增加吹扫的角度和面积，使单位时间内将更多的粉尘吹起以便排走，提高清洁效率。

或者，其它实施例中吹气嘴33也可以是在平面上开设阵列排布的多个气孔，多个气孔同时喷射出气流，同样能够达到提高吹扫面积，强化清灰效能的目的。其中，气孔可以是但不限于圆形、条形、方形等其中的任意一种。

此外，在上述任一实施例的基础上，所述吹风组件30设置为至少两个，至少两个所述吹风组件30分别设置于所述回传箱体10的相对两侧。同时布置至少两个吹风组件30，可以加强单位时间内对粉尘的吹动作用，且由于吹风组件 30是分布在回传箱体10的相对两侧的，喷射出来的气流束会形成相互对冲而产生气流扰动效果，可以更好的将栖附在回传腔室11的侧壁上的粉尘吹起并排走。

在一些实施例中，所述排风组件40包括排风管41和抽风机，所述回传箱体10开设有排风口，所述排风管41的第一端与所述抽风机连通，所述排风管 41的第二端与所述排风口对接连通。工作时，抽风机通过排风管41进行抽风，可以使回传腔室11内形成负压环境，从而将吹起的粉尘连同空气一起抽排出，以将回传腔室11内的粉尘清洁干净。

需要说明的是，考虑到成本问题，回传箱体10在密封性上未作特殊处理，而通入氦气、氢气等惰性气体后，若存在泄漏则容易造成周边人员窒息的风险，因此本方案中优选采用CDA(压缩干燥空气)作为吹扫气体。

请继续参阅图1，在一些实施例中，所述载板回传装置100还包括第一传感器50和第二传感器60，所述回传腔室11具有相对设置的进入端和送出端，所述第一传感器50设置于所述进入端处，所述第二传感器60设置于所述送出端处，所述第一传感器50和所述第二传感器60与所述传送机构20信号连接。

当回传装置传送载板时，启用该系统会导致载板表面附着扬尘，后续载板承载电池并进行工艺会造成电池表面麻点不良。因此本方案中设计了互锁，当回传装置内第一传感器50和第二传感器60被触发(即检测到回传箱体10内有载板时)的状态下，该自清洁功能无法启用。但当停机或者进行设备保养时，回传箱体10内在无载板的状态下，可以启用该功能，实现回传箱体10的自清洁，免去保养过程中人工清洁回传装置的步骤。

此外，在上述任一实施例的基础上，所述载板回传装置100还包括第三传感器70，所述第三传感器70设置于所述回传腔室11内并处于所述第一传感器50和所述第二传感器60之间。第三传感器70可检测回传腔室11的中部是否停留有载板，从而提高检测可靠性。

可选地，上述的第一传感器50、第二传感器60、第三传感器70可以是但不限于对射传感器、激光传感器、红外传感器等其中的任意一种，具体根据实际需要进行选择即可。

在一些实施例中，所述传送机构20包括动力源、传动件和多个传送滚轮21，所述动力源与任意一个所述传送滚轮21驱动连接，多个所述传送滚轮21转动设置于所述回传箱体10上并沿着所述回传腔室11的进入端向送出端并排间隔布置，所述传动件套装于多个所述传送滚轮21的外部。

例如，本实施例中动力源采用电机，与电机相连的一个传送滚轮21设为主动轮，其余传送滚轮21均为从动轮，传动件可以是皮带、链条等。多个传送滚轮21分为两排，并相对的分别安装在回传箱体10的水平相对两侧，载板放置于传送滚轮21的上方。如此一来，电机驱动主动轮旋转，在传动件的传动下，其余的从动轮也会同步转动，在摩擦力的作用下，载板便会一个接着一个的平移到各个传送滚轮21上，实现载板回传。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

Claims (10)

1.一种载板回传装置，其特征在于，包括：

回传箱体，所述回传箱体的内部形成有回传腔室；

传送机构，所述传送机构设置于所述回传箱体上并用于实现载板在所述回传腔室内的传送；以及

清洁机构，所述清洁机构包括吹风组件和排风组件，所述吹风组件和所述排风组件分别与所述回传腔室连通，所述吹风组件用于将所述回传腔室内堆积的粉尘从所述排风组件排出。

2.根据权利要求1所述的载板回传装置，其特征在于，所述吹风组件包括鼓风机和吹风管，所述回传箱体开设有进风口，所述吹风管的第一端与所述鼓风机连通，所述吹风管的第二端与所述进风口对接连通。

3.根据权利要求2所述的载板回传装置，其特征在于，所述吹风组件还包括调压阀，所述调压阀连接于所述吹风管中。

4.根据权利要求2所述的载板回传装置，其特征在于，所述吹风组件还包括吹气嘴，所述吹气嘴连接于所述吹风管的一端并伸入所述回传腔室内；其中，所述吹气嘴呈喇叭状结构。

5.根据权利要求1至4任一项所述的载板回传装置，其特征在于，所述吹风组件设置为至少两个，至少两个所述吹风组件分别设置于所述回传箱体的相对两侧。

6.根据权利要求1所述的载板回传装置，其特征在于，所述排风组件包括排风管和抽风机，所述回传箱体开设有排风口，所述排风管的第一端与所述抽风机连通，所述排风管的第二端与所述排风口对接连通。

7.根据权利要求1所述的载板回传装置，其特征在于，所述载板回传装置还包括第一传感器和第二传感器，所述回传腔室具有相对设置的进入端和送出端，所述第一传感器设置于所述进入端处，所述第二传感器设置于所述送出端处，所述第一传感器和所述第二传感器与所述传送机构信号连接。

8.根据权利要求7所述的载板回传装置，其特征在于，所述载板回传装置还包括第三传感器，所述第三传感器设置于所述回传腔室内并处于所述第一传感器和所述第二传感器之间。

9.根据权利要求7所述的载板回传装置，其特征在于，所述传送机构包括动力源、传动件和多个传送滚轮，所述动力源与任意一个所述传送滚轮驱动连接，多个所述传送滚轮转动设置于所述回传箱体上并沿着所述回传腔室的进入端向送出端并排间隔布置，所述传动件套装于多个所述传送滚轮的外部。

10.一种真空镀膜加工系统，其特征在于，包括如上述权利要求1至9任一项所述的载板回传装置。

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