CN217153796U - 一种贮存高纯四氟化锗的容器 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于化工设备技术领域，具体公开一种贮存高纯四氟化锗的容器，包括容器本体，所述容器本体顶部设置容器口，与容器口对应的设置容器盖，所述容器盖上设置有一个单向球阀和一个三通球阀，所述三通球阀所连接的气管延伸至容器本体底部，所述单向球阀所连接的气管长度为三通球阀所连接气管的五分之一，所述容器本体、容器盖的材料为哈氏合金或蒙乃尔合金，所述单向球阀、三通球阀及其连接的气管为耐腐蚀材料，本实用新型贮存四氟化锗的容器，是针对四氟化锗特殊性质进行的科学、合理设计而成的，可安全、有效的贮存四氟化锗，对安全生产、制备、贮存、使用高纯四氟化锗具有重要意义。

Description

一种贮存高纯四氟化锗的容器

技术领域

本实用新型属于化工设备技术领域，具体涉及一种贮存高纯四氟化锗的容器。

背景技术

四氟化锗（GeF₄），其化学性质十分特殊：常温常压下为无色气体，在空气中暴露会出现白色烟雾，当其接触空气时，会与空气中的水蒸气发生反应而发烟。完全干燥的四氟化锗气体，不会侵蚀玻璃，但能腐蚀金属汞和润滑油。四氟化锗气体对人体眼睛、皮肤、上呼吸道粘膜及肺部都有刺激作用，对人体呼吸系统有着很强的破坏性。高纯四氟化锗虽然其化学性质特殊但其Ge72同位素可作为生产10nm级以下DRAM存贮芯片的刻蚀及性能优化的化学试剂，以及Ge76作为高能物理同位素的示踪原子，在暗物质探索领域有着重要的应用。

电子级四氟化锗作为一种化学试剂主要运用于芯片制造过程中的性能优化，因四氟化锗的特殊性能，对其进行贮存时要求极为苛刻，一般钢瓶不耐腐蚀不能使用，及长期存储，且一般钢瓶的设计不便于四氟化锗使用过程中和相应的设备进行连接，目前国内外对四氟化锗贮存工艺尚未见到报导，且未来四氟化锗市场十分巨大，对贮存的容器的需求量也会大大增加，需要设计一种高效、安全的容器对四氟化锗进行安全贮存。

发明内容

一种贮存高纯四氟化锗的容器，包括容器本体，所述容器本体顶部设置容器口，与容器口对应的设置容器盖，所述容器盖上设置有一个单向球阀和一个三通球阀，所述三通球阀所连接的气管延伸到靠近容器底的位置，所述单向球阀所连接的气管长度为三通球阀所连接气管的五分之一，所述容器本体、容器盖的材料为镜面抛光处理后的哈氏合金或蒙乃尔合金，所述单向球阀、三通球阀及其连接的气管为耐腐蚀材料。

所述单通阀上设置排气口，所述三通球阀上设置换气口和抽气口。

所述容器口与容器盖之间垫四氟垫片，采用数个螺栓紧固连接。

所述容器本体顶部还设置有容器保护罩，所述容器保护罩与容器本体之间采用卡扣连接，所述卡扣对称设置于接近容器口的两侧。

所述容器本体的底部呈内凸形，且设置有容器托，所述容器拖上设置有搬运口。

容器本体的厚度为4-5mm。

本实用新型贮存四氟化锗的容器，是针对四氟化锗特殊性质进行的科学、合理设计而成的，可安全、有效的贮存四氟化锗，一方面容器选用材料为哈氏合金或蒙乃尔合金且对合金内外表面进行镜面抛光处理，保证了四氟化锗的纯度，另一方面单通阀和三通阀的设计更加便于四氟化锗的充装和使用，最后外壳和底座的设计便于运输和保护阀门，对安全生产、制备、贮存、使用高纯四氟化锗具有重要意义。

附图说明

附图1为本实用新型贮存高纯四氟化锗的容器剖视图；

其中1、容器保护罩；2、容器盖；3、容器口；4、三通球阀；4-1、换气口；4-2、抽气口；5、单向球阀；5-1、排气口；6、卡扣；7、容器底；8、容器托；9、容器本体。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步的说明。

如图1所示，一种贮存高纯四氟化锗的容器，包括容器本体9，容器本体顶部设置容器口3，与容器口3对应的设置容器盖2，容器盖2上设置有一个单向球阀5和一个三通球阀4，三通球阀4所连接的气管延伸到靠近容器底7的位置，单向球阀5所连接的气管长度为三通球阀4所连接气管的五分之一，容器本体9、容器盖2的材料为哈氏合金或蒙乃尔合金，单向球阀、三通球阀及其连接的气管为耐腐蚀材料，采用耐腐蚀的阀头，可以为Swagelok SS-436XS4-RD 单向球阀及三通球阀，容器口3与容器盖2之间垫四氟垫片，采用数个螺栓紧固连接，容器本体顶部还设置有容器保护罩1，容器保护罩1与容器本体之间采用卡扣连接，卡扣6对称设置于接近容器口的两侧，容器本体的底部及容器底7呈内凸形，且设置有容器托8，容器拖8上设置有搬运口。

具体的，容器高度为800mm-1200mm,容器直径为600mm-800mm,容器本体厚度为4-5mm，三通球阀通气口通向容器底座，单向阀通气口长度约为三通球阀接口的五分至一。换气口4-1用于通入氦气用以清洗四氟化锗容器，抽气口4-2用于抽真空。排气口5-1作为氦气洗瓶时的排气口及四氟化锗充气口。

具体实施时，将排气口5-1通过管道接到喷淋塔中，尾气通过喷淋塔中吸收液进行吸收。同时将换气口4-1接通氦气，抽气口4-2接通真空泵。接好后将单向球阀打开，同时将三通球阀打至换气口4-1通入氦气洗涤瓶内部约10min-20min；之后将单向球阀关闭，同时将排气口5-1换接四氟化锗气体管口并将单向球阀打开。后将三通球阀打至抽气口4-2抽真空约5min-10min后关闭三通球阀。之后打开四氟化锗气体管道，四氟化锗气体会沿排气口5-1进入瓶内，当瓶内充满四氟化锗气体时再将单向球阀关闭。最后将容器保护罩扣上容器，并将容器保护罩卡扣扣紧充装完毕。

Claims (6)

1.一种贮存高纯四氟化锗的容器，其特征在于，包括容器本体，所述容器本体顶部设置容器口，与容器口对应的设置容器盖，所述容器盖上设置有一个单向球阀和一个三通球阀，所述三通球阀所连接的气管延伸到靠近容器底的位置，所述单向球阀所连接的气管长度为三通球阀所连接气管的五分之一，所述容器本体、容器盖的材料为镜面抛光处理后的哈氏合金或蒙乃尔合金，所述单向球阀、三通球阀及其连接的气管为耐腐蚀材料。

2.根据权利要求1所述的一种贮存高纯四氟化锗的容器，其特征在于，所述单向球阀上设置排气口，所述三通球阀上设置换气口和抽气口。

3.根据权利要求1所述的一种贮存高纯四氟化锗的容器，其特征在于，所述容器口与容器盖之间垫四氟垫片，采用数个螺栓紧固连接。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种贮存高纯四氟化锗的容器，其特征在于，所述容器本体顶部还设置有容器保护罩，所述容器保护罩与容器本体之间采用卡扣连接，所述卡扣对称设置于接近容器口的两侧。

5.根据权利要求4所述的一种贮存高纯四氟化锗的容器，其特征在于，所述容器本体的底部呈内凸形，且设置有容器托，所述容器拖上设置有搬运口。

6.根据权利要求5所述的一种贮存高纯四氟化锗的容器，其特征在于，容器本体的厚度为4-5mm。

Images