CN217132122U - 一种还原炉底盘平整度的检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种还原炉底盘平整度的检测装置，属于多晶硅生产领域，包括检测本体(1)，检测本体(1)的顶部为第一滑轨(11)，检测本体(1)的底部设有第二滑轨(12)，检测本体(1)的顶部水平设有检测伸缩杆(2)，检测伸缩杆(2)上设有用于检测检测本体(1)水平状态的水平仪(21)以及用于检测还原炉底盘平整度的红外线测距仪(22)，检测本体(1)的底部还设有用于调节检测本体(1)高度的可调节支腿(4)，检测伸缩杆(2)可以沿着检测本体(1)进行360°旋转，对还原炉底盘正面进行一次性检测，此外，检测伸缩杆(2)可根据不同尺寸的还原炉底盘进行调节，方便测量不同规格的还原炉底盘，省时省力，操作简单。

Description

一种还原炉底盘平整度的检测装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，尤其涉及一种还原炉底盘平整度的检测装置。

背景技术

随着多晶硅行业的兴起，市场对多晶硅产品的需求越来越大，其中还原炉设备是多晶硅生产工艺线的核心设备，设备底盘是多晶硅还原炉体的核心部件，底盘部件制造完成后要求整体平面度0.12mm，内部导流板与上底板间隙控制≤1mm，尺寸精度较高；由于还原炉盘一般尺寸直径较大，可达到3.6m，结构复杂，焊接量大，在制作过程中，如果没有好的措施，焊接后，底盘变形量会很大，后续机加工尺寸精度难以保证，产品很难满足质量要求，且在后期的使用过程中也可能造成底盘的形变，造成还原底盘的水平度及平整度差，底盘水平度或者平整度差则会造成内部硅棒倾斜，影响硅棒生长长度，产量降低，底盘间隙过大，会造成冷却水短路，冷却水流程缩小，冷却效果不佳，质量降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于有效减小或消除由于还原底盘水平度差造成的产品质量问题及其带来的产品产量降低问题，提供了一种还原炉底盘平整度的检测装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

提供一种还原炉底盘平整度的检测装置，包括检测本体，所述检测本体为圆柱体，所述检测本体的顶部为第一滑轨，所述检测本体的底部设有第二滑轨，检测本体的顶部水平设有检测伸缩杆，所述检测伸缩杆的一端滑动连接在所述第一滑轨上，所述检测伸缩杆的另一端沿着检测本体的直径方向向外延伸，所述检测本体的底部连接有支撑伸缩杆，所述支撑伸缩杆的一端与所述第二滑轨滑动连接，所述支撑伸缩杆的一端与所述检测伸缩杆的另一端连接；

所述检测伸缩杆上设有用于检测所述检测本体水平状态的水平仪以及用于检测还原炉底盘平整度的红外线测距仪，所述检测本体的底部还设有用于调节所述检测本体高度的可调节支腿。

作为一优选项，所述水平仪设在所述检测本体的中心处，所述检测伸缩杆为三段拉伸杆。

作为一优选项，所述检测伸缩杆上间隔设置有多个红外线测距仪。

作为一优选项，包括五个红外线测距仪。

作为一优选项，所述检测本体的正中设有中心杆，所述中心杆的底端固定连接在所述检测本体的底部，所述中心杆的顶端与所述检测伸缩杆连接。

作为一优选项，所述可调节支腿上设有调节螺栓。

作为一优选项，所述支撑伸缩杆上设有固定螺栓，所述支撑伸缩杆的两端均通过转轴与所述检测伸缩杆连接。

作为一优选项，所述检测伸缩杆和支撑伸缩杆均为不锈钢的伸缩杆。

作为一优选项，所述水平仪为液体水平仪。

作为一优选项，所述检测装置包括四个可调节支腿。

需要进一步说明的是，上述各选项对应的技术特征在不冲突的情况下可以相互组合或替换构成新的技术方案。

与现有技术相比，本实用新型有益效果是：

(1)本实用新型在检测本体的顶部设第一滑轨，所述检测本体的底部设有第二滑轨，支撑伸缩杆可以沿着第二滑轨进行360°旋转，对检测伸缩杆进行支撑，使得检测伸缩杆始终处于水平面，保证检测的精度，检测伸缩杆可以沿着第一滑轨进行360°旋转检测，对还原炉底盘正面进行一次性检测，能有效减小或消除由于还原底盘水平度差造成的产品质量问题和产品产量降低情况，如果定期对底盘表面进行检测，早发现存在的缺陷，早采取措施，不会让问题遗留会造成更严重的缺陷，让设备始终处于良好的状态，为实现更优的产品提供良好的保障，其次可以达到整面检测的效果，同时检测伸缩杆可根据不同尺寸的还原炉底盘进行调节，方便测量不同规格的还原炉底盘，省时省力，操作简单。

(2)本实用新型在所述检测伸缩杆上设有用于检测所述检测本体水平状态的水平仪，水平仪保证在检测前检测装置的测量准确性。

(3)所述检测本体的底部还设有用于调节所述检测本体高度的可调节支腿，对检测装置的水平度进行调整，保证测量的准确性。

(4)检测本体的正中设有中心杆，将检测伸缩杆固定在装置中心位置，且可按照中心杆为中心进行旋转。

附图说明

图1为本实用新型一种还原炉底盘平整度的检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种还原炉底盘平整度的检测装置的俯视图；

图3为本实用新型带有中心杆的检测装置的结构示意图；

图4为本实用新型带有调节螺栓的检测装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，属于“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实用新型主要通过在检测本体的顶部设第一滑轨11，在检测本体的底部设有第二滑轨12，支撑伸缩杆3可以沿着第二滑轨12进行360°旋转，对检测伸缩杆2进行支撑，使得检测伸缩杆2始终处于水平面，保证检测的精度，检测伸缩杆2可以沿着第一滑轨11进行360°旋转检测，可以达到整面检测的效果，同时检测伸缩杆2可根据不同尺寸的还原炉底盘进行调节，方便测量不同规格的还原炉底盘，省时省力，操作简单。

实施例1

在一示例性实施例中，提供一种还原炉底盘平整度的检测装置，如图1、2所示，包括检测本体1，所述检测本体1为圆柱体，所述检测本体1的顶部为第一滑轨11，所述检测本体1的底部设有第二滑轨12，检测本体1的顶部水平设有检测伸缩杆2，所述检测伸缩杆2的一端滑动连接在所述第一滑轨11上，所述检测伸缩杆2的另一端沿着检测本体1的直径方向向外延伸，所述检测本体1的底部连接有支撑伸缩杆3，所述支撑伸缩杆3的一端与所述第二滑轨12滑动连接，所述支撑伸缩杆3的一端与所述检测伸缩杆2的另一端连接。

所述检测伸缩杆2上设有用于检测所述检测本体1水平状态的水平仪21以及用于检测还原炉底盘平整度的红外线测距仪22，所述检测本体1的底部还设有用于调节所述检测本体1高度的可调节支腿4。

具体地，该装置在使用时，先将所述检测装置的检测本体1放置于还原炉底盘中心位置，转动所述检测伸缩杆2，通过顶部的第一滑轨11及底部的第二滑轨12，使顶部水平仪21转动，观察水平仪21水平情况，若水平仪21不水平，则调节可调节支腿4调节检测本体1的高度，使顶部水平仪21达到水平状态，保证检测的准确性。具体地，所述第一滑轨11、第二滑轨12均为滚轴设计，固定在所述检测本体1上，第一滑轨11、第二滑轨12的滚轴之间通过连接件5竖直连接，连接件5的上端与所述检测伸缩杆2连接，连接件5的下端与所述支撑伸缩杆3连接，连接件5在上下滑轨上运动时，相应的伸缩杆随着转动。

调节好检测本体1的水平状况后，拉动检测伸缩杆2，达到所检测还原炉底盘需检测位置，旋转检测伸缩杆2，带动红外线测距仪22旋转，对还原炉底盘进行旋转检测，并对检测位置的距离进行记录，旋转360°后，对所有数据进行对比分析，数值较大时，说明还原炉底盘有为凹陷变形，导致红外线测距仪22的检测距离变大，数值较小时为凸起变形。红外线测距仪22的检测数据自动记录数据，连接电脑导出数据后形成检测平面平整度图形。

本实用新型能有效减小或消除由于还原底盘水平度差造成的产品质量问题和产品产量降低情况，如果定期对底盘表面进行检测，早发现存在的缺陷，早采取措施，不会让问题遗留会造成更严重的缺陷，让设备始终处于良好的状态，为实现更优的产品提供良好的保障，其次可以达到整面检测的效果，同时检测伸缩杆2可根据不同尺寸的还原炉底盘进行调节，方便测量不同规格的还原炉底盘，省时省力，操作简单。

实施例2

基于实施例1，提供一种还原炉底盘平整度的检测装置，所述水平仪21设在所述检测本体1的中心处，所述检测伸缩杆2为三段拉伸杆。设计为三段活动装置，工作时将三段进行拉伸，待所述红外测距仪22达到所测位置即可。

进一步地，所述检测伸缩杆2上间隔设置有多个红外线测距仪22。具体地，红外线测距仪22的数量可根据检测面直径的大小以及检测要求进行设定。

在一示例中，如图3所示，包括五个红外线测距仪22，达到整面检测的效果，同时检测伸缩杆2可根据不同尺寸的还原炉底盘进行调节，方便测量不同规格的还原炉底盘。

进一步地，如图3所示，所述检测本体1的正中设有中心杆13，所述中心杆13的底端固定连接在所述检测本体1的底部，所述中心杆13的顶端与所述检测伸缩杆2连接。将检测伸缩杆2固定在装置中心位置，且可按照中心杆13为中心进行旋转，保证检测的精度。

进一步地，所述可调节支腿4上设有调节螺栓41。通过调节螺栓41调节可调节支腿4的高度，使得检测本体1保持水平。

进一步地，所述支撑伸缩杆3上设有固定螺栓31，所述支撑伸缩杆3的两端均通过转轴32与所述检测伸缩杆2连接。所述转轴32为轴承设计，转轴32外侧与装置体固定，内侧轴心与伸缩杆连接，同时中心位置上方为水平仪，其作用为固定伸缩杆，同时固定旋转中心位置。支撑伸缩杆3跟随所述检测伸缩杆2进行拉伸，待所述检测伸缩杆2达到工作位置后，拧紧所述支撑伸缩杆3上的固定螺栓31，达到支撑所述检测伸缩杆2不上下摆动，使得所述红外线测距仪11不晃动的效果。

进一步地，所述检测伸缩杆2和支撑伸缩杆3均为不锈钢的伸缩杆，所述第一滑轨11、第二滑轨、可调节支腿4、转轴32、中心杆13等均为不锈钢材质，装置本身重量不受所述支撑伸缩杆3、检测伸缩杆2和红外线测距仪22的影响。

进一步地，所述水平仪21为液体水平仪。

进一步地，所述检测装置包括四个可调节支腿4，可从四个面调整检测本体1的高度。具体地，使用四个可调节支腿4更容易调节整体中心的水平，可进行多个方向偏转的调节，四个可调节支腿4可以支撑检测本体1相对稳定。在其他实例中，可调节支腿4的数量可为其他，如可根据检测本体1的形状或者考虑其他结构的设计进行调整。

以上具体实施方式是对本实用新型的详细说明，不能认定本实用新型的具体实施方式只局限于这些说明，对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演和替代，都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种还原炉底盘平整度的检测装置，包括检测本体(1)，其特征在于，所述检测本体(1)为圆柱体，所述检测本体(1)的顶部为第一滑轨(11)，所述检测本体(1)的底部设有第二滑轨(12)，检测本体(1)的顶部水平设有检测伸缩杆(2)，所述检测伸缩杆(2)的一端滑动连接在所述第一滑轨(11)上，所述检测伸缩杆(2)的另一端沿着检测本体(1)的直径方向向外延伸，所述检测本体(1)的底部连接有支撑伸缩杆(3)，所述支撑伸缩杆(3)的一端与所述第二滑轨(12)滑动连接，所述支撑伸缩杆(3)的一端与所述检测伸缩杆(2)的另一端连接；

所述检测伸缩杆(2)上设有用于检测所述检测本体(1)水平状态的水平仪(21)以及用于检测还原炉底盘平整度的红外线测距仪(22)，所述检测本体(1)的底部还设有用于调节所述检测本体(1)高度的可调节支腿(4)。

2.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述水平仪(21)设在所述检测本体(1)的中心处，所述检测伸缩杆(2)为三段拉伸杆。

3.根据权利要求2所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述检测伸缩杆(2)上间隔设置有多个红外线测距仪(22)。

4.根据权利要求3所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，包括五个红外线测距仪(22)。

5.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述检测本体(1)的正中设有中心杆(13)，所述中心杆(13)的底端固定连接在所述检测本体(1)的底部，所述中心杆(13)的顶端与所述检测伸缩杆(2)连接。

6.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述可调节支腿(4)上设有调节螺栓(41)。

7.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述支撑伸缩杆(3)上设有固定螺栓(31)，所述支撑伸缩杆(3)的两端均通过转轴(32)与所述检测伸缩杆(2)连接。

8.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述检测伸缩杆(2)和支撑伸缩杆(3)均为不锈钢的伸缩杆。

9.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述水平仪(21)为液体水平仪。

10.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘平整度的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括四个可调节支腿(4)。

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