CN217102747U - 一种靶材生产用吊装装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及靶材生产的领域，尤其是涉及一种靶材生产用吊装装置，其包括架体、设置在架体下方的行走机构以及用于连接保护板的吊装组件，所述吊装组件和架体之间设置有用于控制吊装组件升降的升降组件；所述升降组件包括转动安装在架体上的收卷盘以及绕设在收卷盘上的吊绳，所述吊绳远离收卷盘的一端与吊装组件连接。本申请通过吊装组件将保护板吊起，然后通过行走机构对保护板进行移动，从而完成将保护板由存放台移动至用于拼接靶材片的工作台处的过程，操作较为方便，同时保护板受损坏的可能性较低。

Description

一种靶材生产用吊装装置

技术领域

本发明涉及靶材生产的领域，尤其是涉及一种靶材生产用吊装装置。

背景技术

物理气相沉积(PVD)是一种薄膜制备技术,可在真空条件下将靶材的表面物理汽化为气态原子、分子或部分电离为离子，然后通过低压气体(或等离子体)将具有特定功能的膜沉积在基板的表面上，从而能够形成具有各种功能的膜层；在制备不同功能的膜层时，需要用到不同材质的靶材。

拼接靶材是常用的一种靶材，能够增大靶材的整体尺寸，拼接靶材由背板以及按照顺序排列的多个靶材片组成，靶材片通过焊接的方式固定在背板上。在拼接靶材的生产过程中，为使得靶材片焊接在背板上时的排列更加整齐，通常需要设置保护板，靶材片与背板焊接之前，先将靶材片暂时排布并固定在保护板上，然后将排布在保护板上的靶材片与对应的背板贴合在一起，待靶材片固定在背板上后，将保护板揭除，从而完成靶材的拼接。

在上述生产过程中，需要将保护板由存放台移动至用于拼接靶材片的工作台处，由于保护板需要容纳多个靶材片，其尺寸、重量都比较大，操作人员移动时较为麻烦，而且容易对保护板造成损坏。

实用新型内容

为了便于操作人员移动和运输保护板，本申请提供一种靶材生产用吊装装置。

本申请提供的一种靶材生产用吊装装置采用如下的技术方案：

一种靶材生产用吊装装置，包括架体、设置在架体下方的行走机构以及用于连接保护板的吊装组件，所述吊装组件和架体之间设置有用于控制吊装组件升降的升降组件；所述升降组件包括转动安装在架体上的收卷盘以及绕设在收卷盘上的吊绳，所述吊绳远离收卷盘的一端与吊装组件连接。

通过采用上述技术方案，转动收卷盘能够对吊绳进行收卷和放卷，从而控制吊装组件升降，在对保护板进行移动时，首先通过吊装组件对保护板进行连接，然后通过升降组件将保护板升起，通过行走机构将架体移动至目标位置后，再通过升降组件使吊装组件带动保护板下降，从而完成保护板的移动，操作较为简便。

可选的，所述架体上设置有导轮组件，所述导轮组件的位置高于吊装组件和收卷盘，所述吊绳由收卷盘向上绕过导轮组件然后向下延伸并与吊装组件连接。

通过采用上述技术方案，导轮组件对吊绳的延伸方向起到引导作用，从而能够将收卷盘设置在架体上的合适位置，操作人员在地面上即可对收卷盘进行转动操作，更加方便。

可选的，所述吊装组件包括用于与吊绳连接的吊梁以及用于与保护板螺纹连接的吊环，所述吊环在吊梁上间隔设置至少两个。

通过采用上述技术方案，保护板与吊环通过螺纹连接，在对保护板进行移动时拆装都较为方便，同时通过设置多个吊环，吊梁和保护板之间建立多个连接点，以使得保护板在移动过程中稳定性更高，安全性更好。

可选的，所述架体上设置有用于对收卷盘的转动进行限制的定位组件。

通过采用上述技术方案，定位组件能够对收卷盘进行定位，以对吊装组件进行定位，从而使得保护板在被吊起时的位置更加稳定，降低保护板在自身重力下下降而掉落在地面上的可能性。

可选的，所述收卷盘上固定穿设有收卷轴，所述收卷轴转动支撑在架体上，所述定位组件包括相互配合的棘轮和棘爪，所述棘轮套设在收卷轴上，所述棘爪转动安装在架体上，所述棘爪与棘轮抵接时可阻挡收卷盘对吊绳进行放卷。

通过采用上述技术方案，棘轮随收卷盘转动，在棘爪作用下，收卷盘向对吊绳进行收卷的方向转动时不受阻碍，即吊绳带动保护板上升时的运动不受阻碍，当保护板上升至适当位置后，转动棘爪并使之与棘轮抵接，此时收卷盘向对吊绳进行放卷的方向的转动受到阻挡，从而阻止保护板下降，以便于操作人员对保护板进行移动。

可选的，所述架体上设置有用于驱使棘爪向与棘轮抵接的方向转动的弹性件。

通过采用上述技术方案，在弹性件作用下，棘爪能够自动与棘轮抵接，从而对收卷盘的转动起到阻挡作用，更加方便。

可选的，所述吊梁和架体之间设置有防坠组件，所述防坠组件包括转动安装在架体上的防坠盘以及绕设在防坠盘上的防坠绳，所述防坠绳远离防坠盘的一端设置在吊梁上。

通过采用上述技术方案，当吊绳发生断裂时，防坠绳能够对吊梁起到牵拉作用，从而对降低保护板直接与地面碰撞而发生损坏的可能性。

可选的，所述防坠盘和架体之间设置有用于使防坠盘向趋于对防坠绳进行收卷的方向转动的弹力件。

通过采用上述技术方案，在弹力件作用下，当防坠绳随吊梁上升时，防坠绳能够自动绕设在防坠盘上，从而降低防坠绳与防坠盘脱离甚至自身发生打结现象的可能性。

附图说明

图1是本申请实施例靶材生产用吊装装置的整体结构示意图。

图2是本申请实施例中升降组件和定位组件的连接结构示意图。

图3是本申请实施例中将架体顶部的一个槽钢去除的结构示意图（为示出导轮组件和防坠组件）。

图4是图3中A处的放大示意图。

附图标记说明：01、保护板；1、架体；11、槽钢；2、行走机构；3、吊装组件；31、吊梁；32、吊环；33、吊链；34、固定带；341、固定带口；4、升降组件；41、收卷盘；411、收卷轴；42、吊绳；5、导轮组件；51、导向轮；6、定位组件；61、棘轮；62、棘爪；621、控制杆；63、弹性件；7、防坠组件；71、防坠盘；72、防坠绳；73、支撑轴；74、弹力件；8、壳体。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种靶材生产用吊装装置。参照图1和图2，靶材生产用吊装装置包括架体1、行走机构2、吊装组件3以及升降组件4，架体1由型材搭建焊接而成，架体1整体呈门框形；行走机构2设置为四个万向轮，且安装在架体1下方，以使得该吊装装置稳定移动；吊装组件3用于将保护板01吊起，升降组件4用于控制吊装组件3升降，将保护板01连接在吊装组件3上，操作人员推动架体1即可对保护板01进行运输，操作较为方便。

参照图1和图2，吊装组件3设置在架体1所呈门框形的内部，吊装组件3包括用于连接升降组件4的吊梁31、用于连接保护板01的吊环32以及用于连接吊环32和吊梁31的吊链33；吊梁31水平延伸设置，吊梁31上沿自身长度方向均匀间隔开设有多个通孔，吊链33与吊环32一一对应设置，吊链33上端可拆卸穿设在通孔上，下端与吊环32连接，吊环32用于连接保护板01；本实施例中吊环32设置有三个，即保护板01与吊梁31之间设置有三个连接处，从而使得吊装时保护板01的位置更加稳定；本实施例中的吊环32为万向旋转吊环，保护板01上开设有与吊环32相配合的螺纹孔，吊环32的旋转螺杆螺纹拧入保护板01上的螺纹孔内，即可将保护板01与吊环32相互连接。

参照图1和图2，升降组件4设置有两组，两组升降组件4分别设置在架体1两侧，以使得吊装组件3的升降更加稳定。升降组件4包括收卷盘41以及卷绕在收卷盘41上的吊绳42，收卷盘41上固定穿设有收卷轴411，收卷轴411转动支撑在架体1侧面，收卷轴411远离架体1的一端固定连接有摇把，以便于操作人员转动收卷盘41；吊绳42一端固定在收卷盘41上，另一端延伸至吊梁31并通过吊钩勾设在吊梁31上方；吊梁31上方设置有固定带34，固定带34沿吊梁31的长度方向固定在吊梁31上，固定带34上设置有固定带口341，固定带口341由固定带34向上拱起而形成，两组升降组件4上的吊绳42远离收卷盘41的一端均通过吊钩勾设在对应的固定带口341处，从而实现吊装组件3和升降组件4的相互连接。

参照图1和图3，架体1上设置有用于对吊绳42起导向作用的导轮组件5，为使得保护板01被吊起时位于架体1厚度方向的中间位置，故作如下设置：架体1顶部由两个相互背离且间隙设置的槽钢11制成，一组升降组件4对应设置两组导轮组件5，两组导轮组件5间隔设置在架体1上方的两个槽钢11之间；结合图2，导轮组件5的高度高于收卷盘41，导轮组件5包括两个相互靠近设置的导向轮51，吊绳42由收卷盘41向上延伸，首先由第一组导轮组件5的两个导向轮51之间穿过，然后水平向槽钢11长度方向的中间位置延伸，由第二组导轮组件5的两个导向轮51之间穿过后向下延伸至吊梁31，以使得吊梁31位于架体1厚度方向的中间位置，从而降低保护板01在移动过程中发生偏斜的可能性，使得保护板01在移动时位置更加稳定。

参照图1和图2，为能够对吊装组件3的位置进行锁定，在架体1上靠近收卷盘41的方向安装有壳体8，壳体8套设在收卷盘41外侧，壳体8内还设置有定位组件6，定位组件6位于收卷盘41远离架体1的一侧；定位组件6包括相互配合的棘轮61和棘爪62，棘轮61同轴固定套设在收卷轴411上，棘爪62转动支撑在壳体8侧壁上，棘爪62与棘轮61的棘齿抵接时，棘爪62对棘轮61转动有阻挡作用，能够阻止收卷盘41向放出吊绳42的方向转动，从而阻挡吊装组件3下降。

参照图1和图2，壳体8内固定安装有弹性件63，本实施例中弹性件63为弹片，弹片与棘爪62远离棘轮61的侧面抵接，在弹性件63作用下，棘爪62始终有向棘爪62的方向转动的趋势；棘爪62上固定连接有控制杆621，控制杆621远离棘爪62的转动中心设置，控制杆621伸出于壳体8侧壁，且壳体8侧壁上对应开设有供控制杆621穿设的弧形限位槽，操作人员拨动控制杆621使棘爪62向远离棘轮61的方向转动，可使得棘爪62与棘轮61脱离抵接，从而便于转动收卷盘41以使得吊装组件3下降。

参照图3和图4，当吊绳42意外发生断裂时，为降低保护板01一侧倾斜或者掉落导致保护板01造成损坏的可能性，在架体1和吊梁31之间设置有两组防坠组件7，两组防坠组件7水平间隔设置在两组升降组件4之间；防坠组件7包括防坠盘71以及卷绕在防坠盘71上的防坠绳72，防坠盘71上转动穿设有支撑轴73，支撑轴73两端分别固定穿设在两个槽钢11上，从而将防坠盘71转动支撑在两个槽钢11之间；防坠盘71为“工”字形卷盘，防坠绳72一端固定在防坠绳72上，另一端向下延伸至吊梁31上方，防坠绳72下端也通过吊钩勾设在固定带34上，防坠绳72随吊梁31升降。

参照图1和图3，为使得防坠绳72能够对保护板01起到保护作用，将防坠绳72的总长度为a，保护板01被吊起时，保护板01下侧面与地面贴合的情况下，吊绳42由槽钢11下侧面延伸至吊梁31的竖直长度为b，长度a小于长度b，即：防坠绳72下端勾设在固定带34上时，防坠绳72向下被拉伸至极限位置，保护板01与地面之间仍存在一定距离；当一侧吊绳42发生断裂时，在保护板01重力作用下，防坠绳72被向下拉伸一段距离，当防坠绳72被拉伸至极限位置时，防坠绳72阻止保护板01继续下降，从而降低保护板01与地面直接接触而发生损坏的可能性。

参照图3和图4，为使得吊装机构上升的时候，防坠绳72能够缠绕在防坠盘71上，在防坠盘71和支撑轴73之间设置有弹力件74，在弹力件74作用下，防坠盘71始终有向对防坠绳72进行收卷的方向转动的趋势，本实施例中弹力件74选用涡卷弹簧，涡卷弹簧套设在支撑轴73上，且一端与支撑轴73固定连接，另一端与防坠盘71内壁固定连接，从而起到驱使防坠盘71转动的作用。

本申请实施例一种靶材生产用吊装装置的实施原理为：操作人员通过摇把正向转动收卷盘41以控制吊装组件3下降，将三个吊环32分别与保护板01上的三个螺纹孔连接后，反向转动摇把以控制吊装组件3带动保护板01上升，直至保护板01与存放台脱离，棘爪62在弹性件63作用下与棘轮61抵接，从而阻止吊装组件3带动保护板01下降，此时操作人员可推动架体1对保护板01进行移动。将保护板01移动至目标位置后，操作人员通过控制杆621拨动棘爪62，以使得棘爪62与棘轮61脱离抵接，然后正向转动收卷板以使得保护板01下降，并将保护板01取下，从而可完成保护板01的运输，且整个移动过程保护板01处于吊起状态，受到损坏的可能性较小。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种靶材生产用吊装装置，其特征在于：包括架体(1)、设置在架体(1)下方的行走机构(2)以及用于连接保护板(01)的吊装组件(3)，所述吊装组件(3)和架体(1)之间设置有用于控制吊装组件(3)升降的升降组件(4)；所述升降组件(4)包括转动安装在架体(1)上的收卷盘(41)以及绕设在收卷盘(41)上的吊绳(42)，所述吊绳(42)远离收卷盘(41)的一端与吊装组件(3)连接。

2.根据权利要求1所述的靶材生产用吊装装置，其特征在于：所述架体(1)上设置有导轮组件(5)，所述导轮组件(5)的位置高于吊装组件(3)和收卷盘(41)，所述吊绳(42)由收卷盘(41)向上绕过导轮组件(5)然后向下延伸并与吊装组件(3)连接。

3.根据权利要求1所述的靶材生产用吊装装置，其特征在于：所述吊装组件(3)包括用于与吊绳(42)连接的吊梁(31)以及用于与保护板(01)螺纹连接的吊环(32)，所述吊环(32)在吊梁(31)上间隔设置至少两个。

4.根据权利要求1所述的靶材生产用吊装装置，其特征在于：所述架体(1)上设置有用于对收卷盘(41)进行定位的定位组件(6)。

5.根据权利要求4所述的靶材生产用吊装装置，其特征在于：所述收卷盘(41)上固定穿设有收卷轴(411)，所述收卷轴(411)转动支撑在架体(1)上，所述定位组件(6)包括相互配合的棘轮(61)和棘爪(62)，所述棘轮(61)套设在收卷轴(411)上，所述棘爪(62)转动安装在架体(1)上，所述棘爪(62)与棘轮(61)抵接时可阻挡收卷盘(41)对吊绳(42)进行放卷。

6.根据权利要求5所述的靶材生产用吊装装置，其特征在于：所述架体(1)上设置有用于驱使棘爪(62)向与棘轮(61)抵接的方向转动的弹性件(63)。

7.根据权利要求3所述的靶材生产用吊装装置，其特征在于：所述吊梁(31)和架体(1)之间设置有防坠组件(7)，所述防坠组件(7)包括转动安装在架体(1)上的防坠盘(71)以及绕设在防坠盘(71)上的防坠绳(72)，所述防坠绳(72)远离防坠盘(71)的一端设置在吊梁(31)上。

8.根据权利要求7所述的靶材生产用吊装装置，其特征在于：所述防坠盘(71)和架体(1)之间设置有用于使防坠盘(71)向趋于对防坠绳(72)进行收卷的方向转动的弹力件(74)。

Images