CN217102085U - 一种晶圆自动分片排列装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，尤其是一种晶圆自动分片排列装置，针对现有的晶圆在初步加工完成后一般是乱序放置，导致在后期测试过程需要人工将晶圆进行分布排列的问题，现提出如下方案，其包括工作台，所述工作台的底部固定连接有三个支架，所述支架的外壁固定连接有挡板，所述支架的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的顶部固定连接有竖轴，所述竖轴的顶部固定连接有机架，本实用新型通过设置第一电机、竖轴、机架、吸嘴、气泵、第一链轮、链条、第二链轮、丝杆、连接块、竖杆、放置箱与胶板，将晶圆依次放到输送带上，避免人工手动排列分布。

Description

一种晶圆自动分片排列装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，尤其涉及一种晶圆自动分片排列装置。

背景技术

晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆在加工完成后需要经过测试等后续加工步骤，从而检测出晶圆的功能是否完整。

在现有技术中，晶圆在初步加工完成后一般是乱序放置，导致在后期测试过程需要人工将晶圆进行分布排列，因此我们提出一种晶圆自动分片排列装置，用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决晶圆在初步加工完成后一般是乱序放置，导致在后期测试过程需要人工将晶圆进行分布排列的缺点，而提出的一种晶圆自动分片排列装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆自动分片排列装置，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有三个支架，所述支架的外壁固定连接有挡板，所述支架的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的顶部固定连接有竖轴，所述竖轴的顶部固定连接有机架，所述机架的外壁固定连接有四个吸嘴，所述机架的外壁固定连接有两个气泵，两个气泵的输入端均固定连接有软管，软管的一端分别与四个吸嘴固定互通，所述第一电机输出轴的外壁固定套设有第一链轮，所述第一链轮的外壁啮合连接有链条，所述链条的外壁啮合连接有第二链轮，所述第二链轮的外壁固定连接有丝杆，所述丝杆的顶部与工作台的外壁转动连接，所述丝杆的外壁螺纹连接有连接块，所述连接块的外壁固定连接两个竖杆，所述工作台的顶部设有送料机构。

优选的，所述送料机构包括放置箱，所述工作台的顶部与放置箱的外壁固定连接，所述竖杆的顶部固定连接有胶板，所述胶板的外壁与放置箱的内壁滑动连接，所述工作台的外壁固定连接有两个支撑板，所述支撑板的外壁转动连接有两个辊轮，两个辊轮的外壁均套设有输送带，所述支撑板的外壁固定连接有连接板，连接板的外壁固定连接有第二电机，所述第二电机的一端与辊轮的外壁固定连接，通过设置胶板对晶圆进行支撑，同时带动晶圆上升。

优选的，所述工作台的外壁开设有圆孔，圆孔的内壁与竖轴的外壁转动连接，通过设置竖轴使机架进行转动，通过吸嘴依次将晶圆排列。

优选的，所述放置箱与工作台的外壁均开设有两个通孔，两个通孔的内壁分别与两个竖杆的外壁滑动连接。

优选的，所述输送带的外壁均匀开设有多个贯穿孔，通过设置贯穿孔方便后续拿起，避免晶圆吸附在输送带上。

优选的，所述支架的外壁转动连接有防护门。

优选的，所述竖轴与丝杆的外壁均固定套设有轴承，轴承的外圈与工作台的外壁固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本方案通过设置第一电机、竖轴、机架、吸嘴、气泵、第一链轮、链条、第二链轮、丝杆、连接块、竖杆、放置箱与胶板，将晶圆依次放到输送带上，避免人工手动排列分布，同时第二电机转动使输送带移动一定距离，方便后续测试。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆自动分片排列装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆自动分片排列装置的立体结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆自动分片排列装置的图2中的A部分放大结构示意图。

图中：1、工作台；2、支架；3、挡板；4、第一电机；5、竖轴；6、机架；7、吸嘴；8、气泵；9、第一链轮；10、链条；11、第二链轮；12、丝杆；13、连接块；14、竖杆；15、放置箱；16、胶板；17、支撑板；18、输送带；19、第二电机；20、防护门。

具体实施方式

由图1-3所示，涉及一种晶圆自动分片排列装置，包括工作台1，工作台1的底部固定连接有三个支架2，支架2的外壁固定连接有挡板3，支架2的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机4，第一电机4输出轴的顶部固定连接有竖轴5，工作台1的外壁开设有圆孔，圆孔的内壁与竖轴5的外壁转动连接，竖轴5的顶部固定连接有机架6，机架6转动使吸嘴7位于放置箱15的顶部，机架6的外壁固定连接有四个吸嘴7，四个吸嘴7分为两组，依次对晶圆进行吸附，机架6的外壁固定连接有两个气泵8，两个气泵8的输入端均固定连接有软管，软管的一端分别与四个吸嘴7固定互通，通过气泵8控制吸嘴7，第一电机4输出轴的外壁固定套设有第一链轮9，第一链轮9的外壁啮合连接有链条10，链条10的外壁啮合连接有第二链轮11，第二链轮11的外壁固定连接有丝杆12，丝杆12的顶部与工作台1的外壁转动连接，丝杆12的外壁螺纹连接有连接块13，丝杆12转动使连接块13向上移动，连接块13的外壁固定连接两个竖杆14，竖杆14辅助连接块13移动的同时使胶板16向上移动，放置箱15与工作台1的外壁均开设有两个通孔，两个通孔的内壁分别与两个竖杆14的外壁滑动连接，工作台1的顶部设有送料机构。

由图2与图3所示，送料机构包括放置箱15，工作台1的顶部与放置箱15的外壁固定连接，竖杆14的顶部固定连接有胶板16，胶板16的外壁与放置箱15的内壁滑动连接，支架2的外壁转动连接有防护门20，防护门20对使用者进行保护，同时方便进行维修，工作台1的外壁固定连接有两个支撑板17，支撑板17的外壁转动连接有两个辊轮，两个辊轮的外壁均套设有输送带18，输送带18的外壁均匀开设有多个贯穿孔，支撑板17的外壁固定连接有连接板，连接板的外壁固定连接有第二电机19，第二电机19间歇运转，使晶圆依次排列在输送带18上，第二电机19的一端与辊轮的外壁固定连接，竖轴5与丝杆12的外壁均固定套设有轴承，轴承的外圈与工作台1的外壁固定连接。

工作原理：将晶圆分为两组放置到放置箱15内的胶板16上，第一电机4运转使竖轴5转动，竖轴5转动使机架6转动，机架6转动使吸嘴7位于放置箱15的顶部，同时第一电机4运转使第一链轮9转动，从而使链条10带动第二链轮11进行转动，第二链轮11转动使丝杆12转动，丝杆12转动使连接块13向上移动，进而使竖杆14带动胶板16向上移动，将晶圆顶上去，气泵8运转通过吸嘴7将晶圆吸起，第一电机4转动将晶圆位于输送带18的上方，气泵8运转将晶圆放到输送带18上，第二电机19转动使输送带18转动一定距离后，第二电机19停止运行，等待下一组晶圆，方便后续测试。

以上所述，仅为本实施例较佳的具体实施方式，但本实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实施例揭露的技术范围内，根据本实施例的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实施例的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆自动分片排列装置，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的底部固定连接有三个支架（2），所述支架（2）的外壁固定连接有挡板（3），所述支架（2）的外壁固定连接有固定板，固定板的外壁固定连接有第一电机（4），所述第一电机（4）输出轴的顶部固定连接有竖轴（5），所述竖轴（5）的顶部固定连接有机架（6），所述机架（6）的外壁固定连接有四个吸嘴（7），所述机架（6）的外壁固定连接有两个气泵（8），两个气泵（8）的输入端均固定连接有软管，软管的一端分别与四个吸嘴（7）固定互通，所述第一电机（4）输出轴的外壁固定套设有第一链轮（9），所述第一链轮（9）的外壁啮合连接有链条（10），所述链条（10）的外壁啮合连接有第二链轮（11），所述第二链轮（11）的外壁固定连接有丝杆（12），所述丝杆（12）的顶部与工作台（1）的外壁转动连接，所述丝杆（12）的外壁螺纹连接有连接块（13），所述连接块（13）的外壁固定连接两个竖杆（14），所述工作台（1）的顶部设有送料机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分片排列装置，其特征在于，所述送料机构包括放置箱（15），所述工作台（1）的顶部与放置箱（15）的外壁固定连接，所述竖杆（14）的顶部固定连接有胶板（16），所述胶板（16）的外壁与放置箱（15）的内壁滑动连接，所述工作台（1）的外壁固定连接有两个支撑板（17），所述支撑板（17）的外壁转动连接有两个辊轮，两个辊轮的外壁均套设有输送带（18），所述支撑板（17）的外壁固定连接有连接板，连接板的外壁固定连接有第二电机（19），所述第二电机（19）的一端与辊轮的外壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分片排列装置，其特征在于，所述工作台（1）的外壁开设有圆孔，圆孔的内壁与竖轴（5）的外壁转动连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆自动分片排列装置，其特征在于，所述放置箱（15）与工作台（1）的外壁均开设有两个通孔，两个通孔的内壁分别与两个竖杆（14）的外壁滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆自动分片排列装置，其特征在于，所述输送带（18）的外壁均匀开设有多个贯穿孔。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分片排列装置，其特征在于，所述支架（2）的外壁转动连接有防护门（20）。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆自动分片排列装置，其特征在于，所述竖轴（5）与丝杆（12）的外壁均固定套设有轴承，轴承的外圈与工作台（1）的外壁固定连接。

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