CN2170953Y - 在工件上获得预定膜层厚度分布用的夹具装置 - Google Patents

Abstract

一种在工件上获得预定膜层厚度分布用的夹具 装置属于真空镀膜用工件夹具技术领域，其特征在 于：它由沿径向分布有许多安放工件用的孔的载盘、 内壁卡住工件而外壁又与各孔相套且与载盘相连的 卡圈、支架以及与支架相连而位置与上述各孔相对但 形状又按预定膜层厚度分布设计的挡板组成。载盘、 支架可以都是球面形也可以都呈平面形，挡板可以是 一个也可以多个，按要求而定。在真空室内可以安装 一个或多个用这种夹具制成的镀膜工艺装置以扩大 其膜层厚度比。

Description

一种在工件上获得予定膜层厚度分布用的夹具装置属于真空镀膜用夹具的技术领域。

在光学镀膜产品的生产中，其膜层厚度一般是要求均匀的，但有时也要求膜层厚度在某一方向如径向或圆周方向按设计要求变化，为此设计特定的工夹具。

本实用新型的目的在于提供一种可在工件上获得予定膜层厚度分布用的夹具装置。

本实用新型的特征在于：它由沿径向布有许多安放工件用的孔的载盘、内壁卡住工件而外壁又与上述各孔相套接且与载盘用连接件相连的卡圈、支架以及与支架相连，其位置与上述各孔相对而形状又按予定膜层厚度分布设计的挡板组成。所述的挡板、被固定的支架可以都呈平面也可以都呈球面状。挡板可以是一个也可以是几个，视膜层厚度分布要求而定。

使用证明：可根据设计要求在一批工件上获得不同的膜层厚度分布。

为了在下面结合实施例对本实用新型作详尽描绘，现把本申请文件所使用的附图名称及编号简介如下：

图1、用压片连接的卡圈与载盘的纵剖视图；

图2、用压片连接的卡圈与载盘的纵视图；

图3、用顶丝连接的卡圈与载盘的纵剖视图；

图4、平面载盘式夹具及其与相关部件连接的纵剖视图（A－A向）

图5、图4中挡板与支架相连接的仰视图（B向）；

图6、球面载盘式夹具及其与相关部件连接的纵剖视图（C－C向）；

图7、平面载盘式镀膜工艺装置的纵剖视图；

图8、球面载盘式镀膜工艺装置的纵剖视图；

摘要附图一幅。

实施例

请见图1～2。载盘1与卡圈2在载盘径向各孔内相套接，位于卡圈2端面上的压片3被垫片4、螺钉5固定，工件6被左、右两个压片3卡在孔内。

再见图3。顶丝7从卡圈2的一侧穿过再把工件6卡住在卡圈2内壁中。

请见图4～5。平面载盘1卡在托盘8内，托盘8依靠与其相连的导轮9可在导轨10的轨道上转动。支架11用螺钉12固定在导轨10上。其位置与工件6相对而形状按膜层厚度分布设计的挡板13与支架11相穿接。图5中一个支架带了三个挡板。挡板与支架的组合可以是多组的，挡板也可以是多个的。

再见图6。14是球面形载盘，15是球面形支架，其余与图4～5相同。

请见图7～8。其位置与载盘1中央的工件安置孔相对的比较片16放在一个固定的比较片支架17中。旋转机构18与载盘1固定连接。导轨10固定在导轨支架19上，而导轨支架19则与真空室壁20相固定。

在镀膜时，旋转机构18驱动托盘8在导轨10的轨道上转动，随着淀积在比较片16上的膜层厚度的增厚，穿过比较片16的控制光束将相应变化，经过信号处理即可由仪表测定比较片16的膜厚，随之可算出工件6的膜厚，因而可对工件的镀层厚度按设计要求进行控制。膜层厚度分布则用改变挡板形状来解决。对于φ40～100mm的球面或平面另件，线度为40～100mm的球面或平面另件，工件的膜层厚度比为1：1～1.5：1，也可用安装多个这种工艺装置的方法把其扩大到1：1～5：1。

Claims (4)

1、一种在工件上获得予定膜层厚度分布用的夹具装置，其特征在于，它由沿径向布有许多安放工件用的孔的载盘，内壁卡住工件而外壁与上述孔相套接且与载盘用连接件相连的卡圈，被固定的支架以及与支架相连、其位置与上述各孔相对而形状又按予定膜层厚度分布设计的挡板组成。

2、根据权利要求1所述的一种在工件上获得予定膜层厚度分布用的夹具装置，其特征在于，所述的载盘、支架可以都呈平面也可以都呈球面状。

3、根据权利要求1所述的一种在工件上获得予定膜层厚度分布用的夹具装置，其特征在于，所述的挡板可以是一个或多个。

4、根据权利要求1所述的一种在工件上获得予定膜层厚度分布用的夹具装置，其特征在于，挡板和支架的组合也可以是多组的。

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