CN217062004U - 一种电压隔离气路接头 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于气体放电控制技术领域，具体涉及一种电压隔离气路接头。本实用新型包括送气螺旋柱、进气管一、进气管二、屏蔽罩、外罩，送气螺旋柱的两端，一端与外罩贴合，另一端与屏蔽罩贴合，外罩、屏蔽罩分别与进气管一、进气管二。本实用新型结构紧密牢固、安全可靠的电压隔离气路接头，保证离子源在给定工作电压、气体流率的条件下，能够抵抗射频干扰，可靠抑制气体击穿放电，确保射频感应耦合离子源的稳定运行。

Description

一种电压隔离气路接头

技术领域

本实用新型属于气体放电控制技术领域，具体涉及一种电压隔离气路接头。

背景技术

射频感应耦合离子源，为了隔离在离子源工作时,等离子体放电室上的工作气压和离子源气路一头所处的地电位，离子源屏蔽外壳侧壁和等离子体放电室侧壁的气路上装有电压隔离气路接头。气路绝缘接头的作用,是在保证气体供给的同时,防止气体击穿放电。这个气路接头，需承受最高1.5kV的电位差，并且能防止射频放电对气路的干扰。现有的气路绝缘接头，在保证给定工作电压、气体流率等条件下，很难防止射频放电干扰，而容易发生结构失效。

实用新型内容

基于现有技术的缺陷和不足，本实用新型提供了一种结构紧密牢固、安全可靠的电压隔离气路接头，保证离子源在给定工作电压、气体流率的条件下，能够抵抗射频干扰，可靠抑制气体击穿放电，确保射频感应耦合离子源的稳定运行。

本实用新型采用的技术方案：

一种电压隔离气路接头，包括送气螺旋柱、进气管一、进气管二、屏蔽罩、外罩，送气螺旋柱的两端，一端与外罩贴合，另一端与屏蔽罩贴合，外罩、屏蔽罩分别与进气管一、进气管二。

所述送气螺旋柱采用耐高温的惰性绝缘材料，其外再包一层相同材料。

所述送气螺旋柱侧壁开有细长通道，两端开槽。

所述进气管一、进气管二的材料为可伐材料。

所述外罩的材料为陶瓷。

所述屏蔽罩的材料为惰性绝缘材料。

所述送气螺旋柱、屏蔽罩、外罩之间确保密封。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提供一种电压隔离气路接头，结构紧密牢固、安全可靠，保证射频感应耦合离子源在给定工作电压、气体流率的条件下，能够抵抗射频干扰，可靠抑制气体击穿放电，以确保离子源的稳定运行。

附图说明

图1是本实用新型的电压隔离气路结构示意图。

图2是本实用新型的送气螺旋柱剖视图。

图中，1-送气螺旋柱；2-进气管一；3-进气管二；4-屏蔽罩；5-外罩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1所示，本实用新型提供的一种电压隔离气路接头，包括送气螺旋柱1、屏蔽罩4、外罩5，和两端的气管接口组成。

其中，如图2所示，送气螺旋柱1采用耐高温的惰性绝缘材料，其外再包一层相同材料。

此材料具有良好的电绝缘性，可精密加工，并能承受实验过程中较高的温度而不变形，这两件的紧密结合，确保了气路只能沿螺旋弯路前行，避免有漏气造成的气路过短，而直接造成放电击穿。

细长通道的送气螺旋柱1两端开槽。

送气螺旋柱1外套一层屏蔽，即屏蔽罩4，对内部形成保护，进一步杜绝了气体放电击穿的可能性；

两端分别连接有可伐材料的进气管一2、进气管二3，

进气管一2、进气管二3与外罩5紧密焊接，陶瓷-可伐封接工艺成熟，封接件机械强度高；

送气螺旋柱1的两端，一端与陶瓷平面(外罩5)贴合，另一端与惰性绝缘材料平面(屏蔽罩4)贴合，分别与两个进气管相通，以实现气密连接，共同构成细长曲折的气体通道。

在气体进入环节，确保了射频感应耦合离子源的安全稳定运行。

实施例2

一种电压隔离气路接头，包括送气螺旋柱、进气管一、进气管二、屏蔽罩、外罩，送气螺旋柱的两端，一端与外罩贴合，另一端与屏蔽罩贴合，外罩、屏蔽罩分别与进气管一、进气管二。

送气螺旋柱采用耐高温的惰性绝缘材料，其外再包一层相同材料。

送气螺旋柱侧壁开有细长通道，两端开槽。

进气管一、进气管二的材料为可伐材料。

外罩的材料为陶瓷。

屏蔽罩的材料为惰性绝缘材料。

送气螺旋柱、屏蔽罩、外罩之间确保密封。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种电压隔离气路接头，其特征在于：包括送气螺旋柱(1)、进气管一(2)、进气管二(3)、屏蔽罩(4)、外罩(5)，送气螺旋柱(1)的两端，一端与外罩(5)贴合，另一端与屏蔽罩(4)贴合，外罩(5)、屏蔽罩(4)分别与进气管一(2)、进气管二(3)。

2.根据权利要求1所述的一种电压隔离气路接头，其特征在于：所述送气螺旋柱(1)采用耐高温的惰性绝缘材料，其外再包一层相同材料。

3.根据权利要求2所述的一种电压隔离气路接头，其特征在于：所述送气螺旋柱(1)侧壁开有细长通道，两端开槽。

4.根据权利要求3所述的一种电压隔离气路接头，其特征在于：所述进气管一(2)、进气管二(3)的材料为可伐材料。

5.根据权利要求4所述的一种电压隔离气路接头，其特征在于：所述外罩(5)的材料为陶瓷。

6.根据权利要求5所述的一种电压隔离气路接头，其特征在于：所述屏蔽罩(4)的材料为惰性绝缘材料。

7.根据权利要求6所述的一种电压隔离气路接头，其特征在于：所述送气螺旋柱(1)、屏蔽罩(4)、外罩(5)之间确保密封。

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