CN217015695U - 一种废去光阻剂再生提纯的新型装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，包括过滤桶，所述过滤桶的一侧连接有进料管，所述过滤桶内位于所述进料管的下方设有大孔过滤网，所述大孔过滤网的下方安装有小孔过滤网，所述过滤桶内位于所述小孔过滤网的下方设有输送泵一，所述输送泵一的输出端贯穿所述过滤桶设有输送管道，所述输送管道的另一端连接有釜式精馏塔，所述输送泵二的输出端设有排出管道，所述排出管道的另一端连接有薄膜蒸发器，有益效果：这样的装置结构简单，使用方便，可以有效的对废去光阻剂中的杂质进行过滤，保证后续提纯后去光阻剂的纯净，同时，可以进行多次提纯过滤，且保护环境，方便资源二次利用。

Description

一种废去光阻剂再生提纯的新型装置

技术领域

本实用新型涉及去光阻剂加工技术领域，具体来说，涉及一种废去光阻剂再生提纯的新型装置。

背景技术

去光阻剂属于电子化学品，是一种溶解性能很强的高纯化学品混合液，它是晶圆制造过程中去除光刻胶的一种清洗剂。

清洗过程中引入了一些金属离子或固体杂质及水含量的增加，如果废物焚烧将向大气中排放二氧化碳、氮氧化物等有害气体，这对保护环境非常不利，不符合国家环保政策。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，包括过滤桶，所述过滤桶的一侧连接有进料管，所述过滤桶内位于所述进料管的下方设有大孔过滤网，所述大孔过滤网的下方安装有小孔过滤网，所述过滤桶内位于所述小孔过滤网的下方设有输送泵一，所述输送泵一的输出端贯穿所述过滤桶设有输送管道，所述输送管道的另一端连接有釜式精馏塔，所述釜式精馏塔内固定设有隔板，所述隔板的下方位于所述釜式精馏塔内安装有蓄电池，所述隔板上安装有与所述蓄电池电性相连的电加热板，所述隔板上安装有暂存槽，所述输送管道延伸至所述暂存槽上方，所述釜式精馏塔内位于所述暂存槽的上方设有第一填料层，所述第一填料层上方安装有第二填料层，所述暂存槽内底部设有输送泵二，所述输送泵二的输出端设有排出管道，所述排出管道的另一端连接有薄膜蒸发器。

进一步的，所述过滤桶上可拆卸设有密封桶盖，所述密封桶盖内底部设有密封圈。

进一步的，所述釜式精馏塔的底部设有固定底座，所述固定底座上设有数个安装孔。

进一步的，所述过滤桶的一侧可拆卸设有清理封门，所述清理封门位于所述大孔过滤网和所述小孔过滤网一侧上方。

进一步的，所述过滤桶的底部远离所述输送泵一的一侧设有弧形导流板。

进一步的，所述釜式精馏塔的顶部可拆卸设有上密封盖。

本实用新型提供了一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，有益效果如下：

通过在过滤桶的一侧设有进料管，在使用时，通过进料管的作用，将废弃原料加入过滤桶内，通过过滤桶内的大孔过滤网配合小孔过滤网的作用，将废弃原料内的杂质进行过滤，过滤后的废料落入过滤桶底部，通过输送泵一配合输送管道的作用，将过滤后的废料输送到釜式精馏塔内，使其流入暂存槽内，此时，通过蓄电池对电加热板供电，使其对暂存槽内的废气原料进行加热，从而将其中的水分过滤出去，并通过第一填料层和第二填料层的作用，阻挡雾气中的水分子，留在在暂存槽内的原料通过输送泵二配合排出管道的作用，流入薄膜蒸发器内，进行二次蒸发，从而得到纯净的去光阻剂，同时，第一填料层和第二填料层阻挡的水分子到达一定量时，会变成水滴下落至暂存槽内，再次重复加热提纯，这样的装置结构简单，使用方便，可以有效的对废去光阻剂中的杂质进行过滤，保证后续提纯后去光阻剂的纯净，同时，可以进行多次提纯过滤，且保护环境，方便资源二次利用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置中过滤桶的结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置中釜式精馏塔的结构示意图。

图中：

1、过滤桶；2、进料管；3、大孔过滤网；4、小孔过滤网；5、输送泵一；6、输送管道；7、釜式精馏塔；8、隔板；9、蓄电池；10、电加热板；11、暂存槽；12、第一填料层；13、第二填料层；14、输送泵二；15、排出管道；16、薄膜蒸发器；17、密封桶盖；18、密封圈；19、固定底座；20、安装孔；21、清理封门；22、弧形导流板；23、上密封盖。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做出进一步的描述：

实施例一：

请参阅图1-3，根据本实用新型实施例的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，包括过滤桶1，所述过滤桶1的一侧连接有进料管2，所述过滤桶1内位于所述进料管2的下方设有大孔过滤网3，所述大孔过滤网3的下方安装有小孔过滤网4，所述过滤桶1内位于所述小孔过滤网4的下方设有输送泵一5，所述输送泵一5的输出端贯穿所述过滤桶1设有输送管道6，所述输送管道6的另一端连接有釜式精馏塔7，所述釜式精馏塔7内固定设有隔板8，所述隔板8的下方位于所述釜式精馏塔7内安装有蓄电池9，所述隔板8上安装有与所述蓄电池9电性相连的电加热板10，所述隔板8上安装有暂存槽11，所述输送管道6延伸至所述暂存槽11上方，所述釜式精馏塔7内位于所述暂存槽11的上方设有第一填料层12，所述第一填料层12上方安装有第二填料层13，所述暂存槽11内底部设有输送泵二14，所述输送泵二14的输出端设有排出管道15，所述排出管道15的另一端连接有薄膜蒸发器16。

通过本实用新型的上述方案，通过在过滤桶1的一侧连接有进料管2，所述过滤桶1内位于所述进料管2的下方设有大孔过滤网3，所述大孔过滤网3的下方安装有小孔过滤网4，所述过滤桶1内位于所述小孔过滤网4的下方设有输送泵一5，所述输送泵一5的输出端贯穿所述过滤桶1设有输送管道6，所述输送管道6的另一端连接有釜式精馏塔7，所述釜式精馏塔7内固定设有隔板8，所述隔板8的下方位于所述釜式精馏塔7内安装有蓄电池9，所述隔板8上安装有与所述蓄电池9电性相连的电加热板10，所述隔板8上安装有暂存槽11，所述输送管道6延伸至所述暂存槽11上方，所述釜式精馏塔7内位于所述暂存槽11的上方设有第一填料层12，所述第一填料层12上方安装有第二填料层13，所述暂存槽11内底部设有输送泵二14，所述输送泵二14的输出端设有排出管道15，所述排出管道15的另一端连接有薄膜蒸发器16，通过在过滤桶1的一侧设有进料管2，在使用时，通过进料管2的作用，将废弃原料加入过滤桶1内，通过过滤桶1内的大孔过滤网3配合小孔过滤网4的作用，将废弃原料内的杂质进行过滤，过滤后的废料落入过滤桶1底部，通过输送泵一5配合输送管道6的作用，将过滤后的废料输送到釜式精馏塔7内，使其流入暂存槽11内，此时，通过蓄电池9对电加热板10供电，使其对暂存槽11内的废气原料进行加热，从而将其中的水分过滤出去，并通过第一填料层12和第二填料层13的作用，阻挡雾气中的水分子，留在在暂存槽11内的原料通过输送泵二14配合排出管道15的作用，流入薄膜蒸发器16内，进行二次蒸发，从而得到纯净的去光阻剂，同时，第一填料层12和第二填料层13阻挡的水分子到达一定量时，会变成水滴下落至暂存槽11内，再次重复加热提纯，这样的装置结构简单，使用方便，可以有效的对废去光阻剂中的杂质进行过滤，保证后续提纯后去光阻剂的纯净，同时，可以进行多次提纯过滤，且保护环境，方便资源二次利用。

实施例二：

如图1所示，所述过滤桶1的一侧连接有进料管2，所述过滤桶1内位于所述进料管2的下方设有大孔过滤网3，所述大孔过滤网3的下方安装有小孔过滤网4，所述过滤桶1内位于所述小孔过滤网4的下方设有输送泵一5，所述输送泵一5的输出端贯穿所述过滤桶1设有输送管道6，所述输送管道6的另一端连接有釜式精馏塔7，所述釜式精馏塔7内固定设有隔板8，所述隔板8的下方位于所述釜式精馏塔7内安装有蓄电池9，所述隔板8上安装有与所述蓄电池9电性相连的电加热板10，所述隔板8上安装有暂存槽11，所述输送管道6延伸至所述暂存槽11上方，所述釜式精馏塔7内位于所述暂存槽11的上方设有第一填料层12，所述第一填料层12上方安装有第二填料层13，所述暂存槽11内底部设有输送泵二14，所述输送泵二14的输出端设有排出管道15，所述排出管道15的另一端连接有薄膜蒸发器16，所述过滤桶1上可拆卸设有密封桶盖17，所述密封桶盖17内底部设有密封圈18，通过密封桶盖17配合密封圈18的作用，防止废气原料中气体的排出；

实施例三：

如图1所示，所述过滤桶1的一侧连接有进料管2，所述过滤桶1内位于所述进料管2的下方设有大孔过滤网3，所述大孔过滤网3的下方安装有小孔过滤网4，所述过滤桶1内位于所述小孔过滤网4的下方设有输送泵一5，所述输送泵一5的输出端贯穿所述过滤桶1设有输送管道6，所述输送管道6的另一端连接有釜式精馏塔7，所述釜式精馏塔7内固定设有隔板8，所述隔板8的下方位于所述釜式精馏塔7内安装有蓄电池9，所述隔板8上安装有与所述蓄电池9电性相连的电加热板10，所述隔板8上安装有暂存槽11，所述输送管道6延伸至所述暂存槽11上方，所述釜式精馏塔7内位于所述暂存槽11的上方设有第一填料层12，所述第一填料层12上方安装有第二填料层13，所述暂存槽11内底部设有输送泵二14，所述输送泵二14的输出端设有排出管道15，所述排出管道15的另一端连接有薄膜蒸发器16，所述釜式精馏塔7的底部设有固定底座19，所述固定底座19上设有数个安装孔20，方便对釜式精馏塔7进行安装固定；

实施例四：

如图2所示，所述过滤桶1的一侧连接有进料管2，所述过滤桶1内位于所述进料管2的下方设有大孔过滤网3，所述大孔过滤网3的下方安装有小孔过滤网4，所述过滤桶1内位于所述小孔过滤网4的下方设有输送泵一5，所述输送泵一5的输出端贯穿所述过滤桶1设有输送管道6，所述输送管道6的另一端连接有釜式精馏塔7，所述釜式精馏塔7内固定设有隔板8，所述隔板8的下方位于所述釜式精馏塔7内安装有蓄电池9，所述隔板8上安装有与所述蓄电池9电性相连的电加热板10，所述隔板8上安装有暂存槽11，所述输送管道6延伸至所述暂存槽11上方，所述釜式精馏塔7内位于所述暂存槽11的上方设有第一填料层12，所述第一填料层12上方安装有第二填料层13，所述暂存槽11内底部设有输送泵二14，所述输送泵二14的输出端设有排出管道15，所述排出管道15的另一端连接有薄膜蒸发器16，所述过滤桶1的一侧可拆卸设有清理封门21，所述清理封门21位于所述大孔过滤网3和所述小孔过滤网4一侧上方，方便对大孔过滤网3和小孔过滤网4进行清理。

在实际应用时，通过进料管2的作用，将废弃原料加入过滤桶1内，通过过滤桶1内的大孔过滤网3配合小孔过滤网4的作用，将废弃原料内的杂质进行过滤，过滤后的废料落入过滤桶1底部，通过输送泵一5配合输送管道6的作用，将过滤后的废料输送到釜式精馏塔7内，使其流入暂存槽11内，此时，通过蓄电池9对电加热板10供电，使其对暂存槽11内的废气原料进行加热，从而将其中的水分过滤出去，并通过第一填料层12和第二填料层13的作用，阻挡雾气中的水分子，留在在暂存槽11内的原料通过输送泵二14配合排出管道15的作用，流入薄膜蒸发器16内，进行二次蒸发，从而得到纯净的去光阻剂，同时，第一填料层12和第二填料层13阻挡的水分子到达一定量时，会变成水滴下落至暂存槽11内，再次重复加热提纯，这样的装置结构简单，使用方便，可以有效的对废去光阻剂中的杂质进行过滤，保证后续提纯后去光阻剂的纯净，同时，可以进行多次提纯过滤，且保护环境，方便资源二次利用。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，包括过滤桶(1)，其特征在于，所述过滤桶(1)的一侧连接有进料管(2)，所述过滤桶(1)内位于所述进料管(2)的下方设有大孔过滤网(3)，所述大孔过滤网(3)的下方安装有小孔过滤网(4)，所述过滤桶(1)内位于所述小孔过滤网(4)的下方设有输送泵一(5)，所述输送泵一(5)的输出端贯穿所述过滤桶(1)设有输送管道(6)，所述输送管道(6)的另一端连接有釜式精馏塔(7)，所述釜式精馏塔(7)内固定设有隔板(8)，所述隔板(8)的下方位于所述釜式精馏塔(7)内安装有蓄电池(9)，所述隔板(8)上安装有与所述蓄电池(9)电性相连的电加热板(10)，所述隔板(8)上安装有暂存槽(11)，所述输送管道(6)延伸至所述暂存槽(11)上方，所述釜式精馏塔(7)内位于所述暂存槽(11)的上方设有第一填料层(12)，所述第一填料层(12)上方安装有第二填料层(13)，所述暂存槽(11)内底部设有输送泵二(14)，所述输送泵二(14)的输出端设有排出管道(15)，所述排出管道(15)的另一端连接有薄膜蒸发器(16)。

2.根据权利要求1所述的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，其特征在于，所述过滤桶(1)上可拆卸设有密封桶盖(17)，所述密封桶盖(17)内底部设有密封圈(18)。

3.根据权利要求2所述的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，其特征在于，所述釜式精馏塔(7)的底部设有固定底座(19)，所述固定底座(19)上设有数个安装孔(20)。

4.根据权利要求3所述的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，其特征在于，所述过滤桶(1)的一侧可拆卸设有清理封门(21)，所述清理封门(21)位于所述大孔过滤网(3)和所述小孔过滤网(4)一侧上方。

5.根据权利要求4所述的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，其特征在于，所述过滤桶(1)的底部远离所述输送泵一(5)的一侧设有弧形导流板(22)。

6.根据权利要求5所述的一种废去光阻剂再生提纯的新型装置，其特征在于，所述釜式精馏塔(7)的顶部可拆卸设有上密封盖(23)。

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