CN217009136U - 一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构。包括由四根骨架以及顶板和底板组成的工作台、转动平台以及装载硅片的翻转片篮组件；转动平台位于工作台顶板上，工作台底板上设有驱动转动平台旋转的第一驱动机构；采用无片篮机械手夹持硅片后，放置到顶片机构后，再下降到片篮内部后，可自动翻转片篮，并旋转到下料对接的吸附式机械臂，依次取出硅片后，直接装载到前开式出货盒内。

Description

一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构

技术领域

本实用新型涉及一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构。

背景技术

随着半导体行业的发展，对于硅片清洗的要求也越来越高。从有片篮发展到无片篮也是一种趋势，而对于无片篮的下料无疑是一大痛点，大部分都是用倒片机进行倒片后，装到片盒内，再由人工装载至前开式出货盒内。这样大大增加了人工成本，也增加了硅片被污染的风险。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的是提供方便上料硅片的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构。

实现本实用新型的技术方案如下

一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，包括由四根骨架以及顶板和底板组成的工作台、转动平台以及装载硅片的翻转片篮组件；转动平台位于工作台顶板上，工作台底板上设有驱动转动平台旋转的第一驱动机构。

所述翻转片篮组件设置在转动平台上，翻转片篮组件包括相对设置在转动平台上的两支座、片篮通过转轴可转动的安装在两支座之间，一支座外侧的转动平台上设有驱动转轴旋转的第一驱动器。

所述第一驱动机构包括安装在骨架上的的支撑平台、支撑平台底面设有第二驱动器、齿轮组以及转盘；所述齿轮组包括与第二驱动器连接的主动齿轮以及与主动齿轮啮合的从动齿轮；所述转盘位于支撑平台上方且与从动齿轮连接，转盘上设有支撑板，支撑板顶端与转动平台连接。

所述支撑板上还设有升降模组，升降模组包括设置在支撑板上的丝杆以及可在丝杆上移动的移动块；所述移动块连接有竖臂，竖臂顶端与顶片平台连接。

所述转动平台上设有凹槽，该凹槽位于片篮上料位的正下方；顶片平台位于凹槽正下方。

所述顶片平台截面呈U形。

所述底板底面四角处均设有支撑脚垫。

采用了上述技术方案，采用无片篮机械手夹持硅片后，放置到顶片机构后，再下降到片篮内部后，可自动翻转片篮，并旋转到下料对接的吸附式机械臂，依次取出硅片后，直接装载到前开式出货盒内。本实用新型，还具有以下优点：

1、既能翻转又能旋转片篮，更方便上料硅片。

2、适用于无片篮清洗，可配合机械臂自动下料装到前开式出货盒。

3、可安全运输并存储硅片，防止多次倒片产生碰撞与摩擦。

4、避免了人员接触，减少再次颗粒污染的风险。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的立体结构示意图；

图3为本实用新型的顶片平台结构示意图；

图4为本实用新型竖臂结构示意图；

附图中，1为骨架，2为顶板，3为底板，4为工作台，5为转动平台，6为翻转片篮组件，7为第一驱动机构，8为升降模组，9为凹槽，10为顶片平台，11为支撑脚垫；

6.1为支座，6.2为片篮，6.3为转轴，6.4为第一驱动器；

7.1为支撑平台，7.2为第二驱动器，7.4为从动齿轮，7.5为转盘，7.6为支撑板；

8.1为丝杆，8.2为移动块，8.3为竖臂。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参见图1示出本申请结构示意图，一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，包括由四根骨架1以及顶板2和底板3组成的工作台4、转动平台5以及装载硅片的翻转片篮组件6；转动平台位于工作台顶板上，工作台底板上设有驱动转动平台旋转的第一驱动机构7。通过第一驱动机构带动转动平台旋转，转动平台的旋转将带动翻转片篮组件旋转，而由于片篮自身能够翻转，使得片篮既能翻转又能旋转，更方便上料硅片。

所述翻转片篮组件设置在转动平台上，翻转片篮组件包括相对设置在转动平台上的两支座6.1、片篮6.2通过转轴6.3可转动的安装在两支座之间，一支座外侧的转动平台上设有驱动转轴旋转的第一驱动器6.4。第一驱动器可以采用电机，利用电机带动转轴旋转从而实现将片篮从上料位翻转为下料位，方便机械手夹取。

所述第一驱动机构包括安装在骨架上的的支撑平台7.1、支撑平台底面设有第二驱动器7.2、齿轮组以及转盘；所述齿轮组包括与第二驱动器连接的主动齿轮以及与主动齿轮啮合的从动齿轮7.4；所述转盘位于支撑平台上方且与从动齿轮连接，转盘上设有支撑板7.6，支撑板顶端与转动平台连接。第二驱动器可以采用伺服电机，利用伺服电机带动齿轮组旋转，由于齿轮组的从动齿轮与转盘7.5连接，因此从动齿轮的旋转将会带动转盘旋转而转盘的旋转也将带动转盘上的支撑板旋转，间接带动上方的转动平台实现转动。

所述支撑板上还设有升降模组8，升降模组包括设置在支撑板上的丝杆8.1以及可在丝杆上移动的移动块8.2；所述移动块连接有竖臂8.3，竖臂顶端与顶片平台10连接。通过顶板底面设置的伺服电机驱动丝杆上的移动块带动竖臂做上下往复运动，从而带动顶片平台上下移动；在无片篮式机械手夹持硅片，移动到位后放置到顶片平台，升降模组向下运行，硅片坐落到硅片装载片篮内。

所述转动平台上设有凹槽9，该凹槽位于片篮上料位的正下方；顶片平台位于凹槽正下方。设置凹槽便于顶片平台的顶出。

所述顶片平台截面呈U形。

所述底板底面四角处均设有支撑脚垫11，增强支撑效果。

下面说一下本实用新型的工作原理：

转动平台上的伺服电机驱动翻转，硅片装载片篮同步翻转，口部朝上。伺服电机驱动升降模组上升。无片篮式机械手夹持硅片，移动到位后放置到顶片平台，升降模组向下运行，硅片坐落到硅片装载片篮内。伺服电机驱动再次翻转。此时底部的伺服电机可驱动转盘转动片篮，片篮口部对准下料区，装载机械臂可依次扫描取走硅片，装到前开式出货盒内。

Claims (7)

1.一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，包括由四根骨架以及顶板和底板组成的工作台、转动平台以及装载硅片的翻转片篮组件；转动平台位于工作台顶板上，工作台底板上设有驱动转动平台旋转的第一驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述翻转片篮组件设置在转动平台上，翻转片篮组件包括相对设置在转动平台上的两支座、片篮通过转轴可转动的安装在两支座之间，一支座外侧的转动平台上设有驱动转轴旋转的第一驱动器。

3.根据权利要求1所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述第一驱动机构包括安装在骨架上的支撑平台、支撑平台底面设有第二驱动器、齿轮组以及转盘；所述齿轮组包括与第二驱动器连接的主动齿轮以及与主动齿轮啮合的从动齿轮；所述转盘位于支撑平台上方且与从动齿轮连接，转盘上设有支撑板，支撑板顶端与转动平台连接。

4.根据权利要求3所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述支撑板上还设有升降模组，升降模组包括设置在支撑板上的丝杆以及可在丝杆上移动的移动块；所述移动块连接有竖臂，竖臂顶端与顶片平台连接。

5.根据权利要求4所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述转动平台上设有凹槽，该凹槽位于片篮上料位的正下方；顶片平台位于凹槽正下方。

6.根据权利要求4所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述顶片平台截面呈U形。

7.根据权利要求1所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述底板底面四角处均设有支撑脚垫。

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