CN216988962U - 一种钟罩喷淋清洗排风系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种钟罩喷淋清洗排风系统，包括安装在排风通道上部的辅助排风阀、钟罩专用调节阀、安装在排风通道下部的主排风阀，钟罩专用调节阀设置在辅助排风阀与主排风阀之间，钟罩专用调节阀的输出端与排风通道的内腔连通，辅助排风阀的输出端与排风通道的内腔连通，主排风阀的输出端与排风通道的内腔连通。本实用新型所述钟罩喷淋清洗排风系统通过设置主排风阀、辅助排风阀、钟罩专用调节阀来对钟罩喷淋清洗过程中产生的内、外废气进行排风处理，排风效果好，解决了现有排风过程中钟罩内、外气压不平衡的缺陷，实施效果好，有助于延长钟罩的使用寿命。

Description

一种钟罩喷淋清洗排风系统

技术领域

本实用新型涉及一种钟罩喷淋清洗排风系统，属于半导体行业外延钟罩清洗设备技术领域。

背景技术

目前，对钟罩的清洗通常都是对其内表面进行清洗，清洗方法有采用自动高压清洗装置——即使用高压水流(清洗液)对钟罩内表面进行冲洗，再进行烘干。采用喷淋清洗的方式，如授权公告号为CN101352714B“一种组合式钟罩清洗机及其操作方法”。

上述2种清洗方法，在钟罩清洗过程中，尤其是结束清洗时，都需要用到压缩空气，这也就使得清洗过程中，必须要进行排风从而将含有清洗液滴的气体排出。在同类设备中，常使用百叶阀进行排风，如上海深荣阀门有限公司的手动方形百叶阀；百叶阀操作简单方便，排风效果好。

但是，由于百叶阀的排风量控制较差，因此，对于流量较小的区域控制力度弱，如位于钟罩上方空间。另外，为最大限度避免排风出来的废液滴飞溅到钟罩的外壁，从而导致钟罩损伤；钟罩都会外接一根排风管，排风管的尾端一般直连相关排风阀；但是这种操作易造成钟罩内、外气压不平衡，从而降低因为内、外气压差较大带来的清洗不良、对钟罩外壁造成的污染、以及损坏。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供了一种钟罩喷淋清洗排风系统，具体技术方案如下：

一种钟罩喷淋清洗排风系统，安装在排风通道的外部，包括安装在排风通道上部的辅助排风阀、钟罩专用调节阀、安装在排风通道下部的主排风阀，所述钟罩专用调节阀设置在辅助排风阀与主排风阀之间，所述钟罩专用调节阀的输出端与排风通道的内腔连通，所述辅助排风阀的输出端与排风通道的内腔连通，所述主排风阀的输出端与排风通道的内腔连通。

作为上述技术方案的改进，所述钟罩专用调节阀包括圆管状阀体、与阀体输入端连接为一体的延长管、用来调节阀体内部开度的舌板，所述舌板与阀体之间通过设置转轴转动连接，所述转轴的末端安装有位于阀体外部的把手，所述阀体输出端与排风通道的侧壁之间安装有基板，所述排风通道的侧壁设置有与阀体内腔相连通的第一通孔。

作为上述技术方案的改进，所述延长管的横截面为腰圆形。

作为上述技术方案的改进，所述延长管的下部设置有横截面为弧形的引流板，所述引流板安装在延长管的末端。

作为上述技术方案的改进，所述辅助排风阀包括圆盘，所述圆盘设置有多个第二通孔，所述排风通道的侧壁设置有与第二通孔呈一一对应的第三通孔，所述圆盘与排风通道的侧壁转动连接。

作为上述技术方案的改进，所述圆盘与排风通道的侧壁之间安装有铆钉。

作为上述技术方案的改进，所述第二通孔和第三通孔均设置有三个。

本实用新型所述钟罩喷淋清洗排风系统通过设置主排风阀、辅助排风阀、钟罩专用调节阀来对钟罩喷淋清洗过程中产生的内、外废气进行排风处理，排风效果好，解决了现有排风过程中钟罩内、外气压不平衡的缺陷，实施效果好，有助于延长钟罩的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型所述钟罩喷淋清洗排风系统与排风通道的安装示意图；

图2为本实用新型所述钟罩专用调节阀的结构示意图；

图3为本实用新型所述辅助排风阀的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1所示，所述钟罩喷淋清洗排风系统，安装在排风通道40的外部，排风通道40用来将废气排放至指定区域；所述钟罩喷淋清洗排风系统包括安装在排风通道40上部的辅助排风阀20、钟罩专用调节阀30、安装在排风通道40下部的主排风阀10，所述钟罩专用调节阀30设置在辅助排风阀20与主排风阀10之间，所述钟罩外接的一根排风管，排风管的尾端对准钟罩专用调节阀30的输入端，所述钟罩专用调节阀30的输出端与排风通道40的内腔连通，所述辅助排风阀20的输出端与排风通道40的内腔连通，所述主排风阀10的输出端与排风通道40的内腔连通。

如图2所示，所述钟罩专用调节阀30包括圆管状阀体31、与阀体31输入端连接为一体的延长管32、用来调节阀体31内部开度的舌板33，所述舌板33与阀体31之间通过设置转轴34转动连接，所述转轴34的末端安装有位于阀体31外部的把手35，所述阀体31输出端与排风通道40的侧壁之间安装有基板36，所述排风通道40的侧壁设置有与阀体31内腔相连通的第一通孔。

在一些实施例中，所述延长管32的横截面为腰圆形。

在一些实施例中，所述延长管32的下部设置有横截面为弧形的引流板37，所述引流板37安装在延长管32的末端。

首先，钟罩在被喷淋清洗时，通常是在类似通风柜中进行，排风通道40即为通风柜中的自带排风机构，至于如何进行喷淋清洗，可参考如授权公告号为CN101352714B“一种组合式钟罩清洗机及其操作方法”；钟罩外围的废气大部分通过主排风阀10排放至排风通道40的内部，可根据需要事先调节风量大小；为方便调整风量；所述主排风阀10为百叶阀，如上海深荣阀门有限公司的手动方形百叶阀。

其次，位于钟罩上部空间的辅助排风阀20用来辅助排风，可根据需要调节风量大小。

最后，所述钟罩专用调节阀30主要用来排出钟罩内部的废气，钟罩内的废气通过排风管将废气排放至钟罩专用调节阀30，可根据排风管喷气量大小来调节钟罩专用调节阀30的排风量大小。一方面，由于排风管的尾端对准钟罩专用调节阀30的输入端，即排风管的尾端只是搭在延长管32的上部或引流板37处，是非固定连接，因此，在延长管32与排风管的尾端处，即可以将钟罩内部的废气依次通过延长管32、阀体31、第一通孔，最终排至排风通道40的内部；另一方面，钟罩外部的气体，也可从延长管32与排风管的尾端处排出，如此设计，即可使得钟罩内、外在排风的时候内、外气压形成动态平衡，从而降低因为内、外气压差较大带来的清洗不良、对钟罩外壁造成的污染、以及损坏。如果排风管与延长管32之间是硬连接且连通，为保证排风效果，一方面会导致有大量的废水滴会通过钟罩专用调节阀30排至排风通道40，另一方面，为保证排风顺利，排风量以及气压必须要更大，这会进一步导致大量的废水滴会通过钟罩专用调节阀30排至排风通道40，同时，还可能会对钟罩40内壁造成损伤。

从排风管处排出的废水滴，大部分在重力的作用下，下落至引流板37处，在这块汇聚然后被引流板37引流并排向指定区域。

通过把手35转动转轴34和舌板33，从而可对钟罩专用调节阀30的开度进行调节，也就可调节流量。

如果延长管32的横截面为圆形，该设置会导致钟罩在进出的过程中，造成干涉；一旦操作不当，就会对钟罩造成损坏。

因此，在同等横截面积的情况下，将所述延长管32的横截面设计为腰圆形，可避免造成干涉。另外，根据使用发现，相对于圆形来说，腰圆形结构，在将排风管搭在引流板37处时，排风管的尾端与延长管32的末端之间会有足够的空间，从而方便平衡排风时钟罩的内外压差。

在同等横截面积的情况下，如果所述延长管32的横截面设计为方形、椭圆形、正六边形，都无法解决干涉以及平衡排风时钟罩的内外压差的问题。

在一些实施例中，所述钟罩专用调节阀30处的排风量大于所述主排风阀10处的排风量，所述主排风阀10处的排风量大于辅助排风阀20处的排风量。排风量是指排出的风量。

实施例2

所述辅助排风阀20与常规阀门不同；具体结构为：如图3所示，所述辅助排风阀20包括圆盘21，所述圆盘21设置有多个第二通孔22，所述排风通道40的侧壁设置有与第二通孔22呈一一对应的第三通孔41，所述圆盘21与排风通道40的侧壁转动连接。

在一些实施例中，所述圆盘21与排风通道40的侧壁之间转动连接的方式优选为：所述圆盘21与排风通道40的侧壁之间安装有铆钉23。

在一些实施例中，所述第二通孔22和第三通孔41均设置有三个。

所述辅助排风阀20的工作原理如下：通过旋转圆盘21，当第二通孔22对准第三通孔41时，辅助排风阀20处于全开状态；通过调整第二通孔22与第三通孔41的重合程度，即可调整辅助排风阀20的开度，从而调整排风量。相对于百叶阀来说，所述辅助排风阀20的排风量控制效果好，因此，位于钟罩的上方空间的排风更适用辅助排风阀20。

在上述实施例中，通过设置主排风阀10、辅助排风阀20、钟罩专用调节阀30来对钟罩喷淋清洗过程中产生的内、外废气进行排风处理，排风效果好，解决了现有排风过程中钟罩内、外气压不平衡的缺陷，实施效果好，有助于延长钟罩的使用寿命。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种钟罩喷淋清洗排风系统，安装在排风通道(40)的外部，其特征在于：包括安装在排风通道(40)上部的辅助排风阀(20)、钟罩专用调节阀(30)、安装在排风通道(40)下部的主排风阀(10)，所述钟罩专用调节阀(30)设置在辅助排风阀(20)与主排风阀(10)之间，所述钟罩专用调节阀(30)的输出端与排风通道(40)的内腔连通，所述辅助排风阀(20)的输出端与排风通道(40)的内腔连通，所述主排风阀(10)的输出端与排风通道(40)的内腔连通。

2.根据权利要求1所述的一种钟罩喷淋清洗排风系统，其特征在于：所述钟罩专用调节阀(30)包括圆管状阀体(31)、与阀体(31)输入端连接为一体的延长管(32)、用来调节阀体(31)内部开度的舌板(33)，所述舌板(33)与阀体(31)之间通过设置转轴(34)转动连接，所述转轴(34)的末端安装有位于阀体(31)外部的把手(35)，所述阀体(31)输出端与排风通道(40)的侧壁之间安装有基板(36)，所述排风通道(40)的侧壁设置有与阀体(31)内腔相连通的第一通孔。

3.根据权利要求2所述的一种钟罩喷淋清洗排风系统，其特征在于：所述延长管(32)的横截面为腰圆形。

4.根据权利要求3所述的一种钟罩喷淋清洗排风系统，其特征在于：所述延长管(32)的下部设置有横截面为弧形的引流板(37)，所述引流板(37)安装在延长管(32)的末端。

5.根据权利要求1所述的一种钟罩喷淋清洗排风系统，其特征在于：所述辅助排风阀(20)包括圆盘(21)，所述圆盘(21)设置有多个第二通孔(22)，所述排风通道(40)的侧壁设置有与第二通孔(22)呈一一对应的第三通孔(41)，所述圆盘(21)与排风通道(40)的侧壁转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种钟罩喷淋清洗排风系统，其特征在于：所述圆盘(21)与排风通道(40)的侧壁之间安装有铆钉(23)。

7.根据权利要求5所述的一种钟罩喷淋清洗排风系统，其特征在于：所述第二通孔(22)和第三通孔(41)均设置有三个。

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