CN216979423U - 双倍率双光路检测视频成像装置 - Google Patents
双倍率双光路检测视频成像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216979423U CN216979423U CN202220823108.0U CN202220823108U CN216979423U CN 216979423 U CN216979423 U CN 216979423U CN 202220823108 U CN202220823108 U CN 202220823108U CN 216979423 U CN216979423 U CN 216979423U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- lens
- semi
- reflecting
- mirror
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种双倍率双光路检测视频成像装置,涉及显微镜制造技术领域;它包括两个CCD相机,在其中一个CCD相机的中心轴线的朝向的前方依次设有第一物镜组、斜置的第一半透半反镜、斜置的第二半透半反镜和第二物镜组,第一半透半反镜和第二半透半反镜的斜置方向相对;在另一个CCD相机的中心轴线的朝向的前方依次设有第三物镜组和第一反光镜,第一反光镜设在第二半透半反镜的反光面的反光朝向的一侧;第一半透半反镜的反光面的反光朝向的一侧设有第二反光镜,在第二反光镜的反光面的反光朝向的一侧设有光源。本实用新型可以解决现有视频显微系统无法同时以两个不同倍率观察一个物体或观察同一物体的两个部件的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及显微镜制造技术领域,尤其是一种双倍率双光路检测视频成像装置。
背景技术
一般的视频显微系统都只能使用一个显示屏对一个物体进行观察,且显微成像的倍率只有一个,这种视频显微系统包括CCD相机,在所述CCD 相机的中心轴线的朝向的前方依次设有透镜组、半透反光镜和物镜组。这种视频显微系统在使用过程中存在以下问题:对于电子设备、半导体等领域,需要同时对一个物体以两个不同倍率进行观察,或同时对同一物体的两个部件以两个不同倍率进行观察,一条光路倍率大点,可以对物体的各个细节进行详细观察,另外一条光路倍率小点,可以对物体表面进行大概观察,现有的视频显微系统则无法实现。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种双倍率双光路检测视频成像装置,它可以解决现有视频显微系统无法同时以两个不同倍率观察一个物体或观察同一物体的两个部件的问题。
为了解决上述问题,本实用新型采用的技术方案是:这种双倍率双光路检测视频成像装置,包括两个CCD相机,在其中一个所述CCD相机的中心轴线的朝向的前方依次设有第一物镜组、斜置的第一半透半反镜、斜置的第二半透半反镜和第二物镜组,所述第一半透半反镜和所述第二半透半反镜的斜置方向相对;在另一个所述CCD相机的中心轴线的朝向的前方依次设有第三物镜组和第一反光镜,所述第一反光镜设在所述第二半透半反镜的反光面的反光朝向的一侧;所述第一半透半反镜的反光面的反光朝向的一侧设有第二反光镜,在所述第二反光镜的反光面的反光朝向的一侧设有光源。
上述技术方案中,更具体的技术方案还可以是:所述第一半透半反镜的斜置角为135度,所述第一半透半反镜的斜置角为所述第一半透半反镜的反光面与其中一个所述CCD相机的中心轴线之间的夹角;所述第二半透半反镜的斜置角为45度,所述第二半透半反镜的斜置角为所述第二半透半反镜的反光面与其中一个所述CCD相机的中心轴线之间的夹角。
进一步的,所述第一反光镜的反光面与所述第二半透半反镜呈平行设置,所述第二反光镜的反光面与所述第一半透半反镜呈平行设置。
进一步的,所述光源为LED灯。
进一步的,所述第一物镜组包括呈间隔设置的第一平凸透镜、第一双凸透镜和第二双凸透镜,所述第二双凸透镜位于靠近所述第一半透半反镜的一侧,所述第一双凸透镜位于所述第一平凸透镜与所述第二双凸透镜之间,所述第一平凸透镜的凸面位于靠近所述第一双凸透镜的一侧;
所述第二物镜组包括呈间隔设置的第三双凸透镜和第二平凸透镜,所述第三双凸透镜位于靠近所述第二半透半反镜的一侧,所述第二平凸透镜的凸面位于靠近所述第三双凸透镜的一侧;
所述第三物镜组包括呈间隔设置的第三平凸透镜、凹凸透镜单元和第四双凸透镜,所述第四双凸透镜位于靠近所述第一反光镜的一侧,所述凹凸透镜单元包括第一凹凸透镜和第二凹凸透镜,所述第一凹凸透镜的凸面与所述第二凹凸透镜的凹面相抵接,所述第二凹凸透镜的凸面位于靠近所述第四双凸透镜的一侧,所述第三平凸透镜的凸面位于靠近所述第一凹凸透镜的一侧。
由于采用了上述技术方案,本实用新型与现有技术相比具有如下有益效果:
本实用新型可以在两台显示屏上同时对一个物体以两个不同倍率进行观察,或同时对同一物体的两个部件以两个不同倍率进行观察,一条光路倍率大点,可以对物体的各个细节进行详细观察,另外一条光路倍率小点,可以对物体表面进行大概观察,即节省了成本,也能满足用户的观察检测需求,适用于电子设备、半导体等领域。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是第一半透半反镜和第二半透半反镜的位置示意图;
图3是第一物镜组的结构示意图;
图4是第二物镜组的结构示意图;
图5是第三物镜组的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图实施例对本实用新型作进一步详述:
如图1和图2所示的双倍率双光路检测视频成像装置,包括两个CCD相机,在其中一个CCD相机1的中心轴线的朝向的前方依次设有第一物镜组2、斜置的第一半透半反镜3、斜置的第二半透半反镜4和第二物镜组5,第一半透半反镜3和第二半透半反镜4的斜置方向相对;在另一个CCD相机6的中心轴线的朝向的前方依次设有第三物镜组7和第一反光镜8,第一反光镜8设在第二半透半反镜4的反光面的反光朝向的一侧;第一半透半反镜3的反光面的反光朝向的一侧设有第二反光镜9,在第二反光镜9的反光面的反光朝向的一侧设有光源10,光源10为LED灯。
第一半透半反镜3的斜置角a为135度,第一半透半反镜3的斜置角a为第一半透半反镜3的反光面与其中一个CCD相机1的中心轴线之间的夹角;第二半透半反镜4的斜置角b为45度,第二半透半反镜4的斜置角b为第二半透半反镜4的反光面与其中一个CCD相机1的中心轴线之间的夹角。第一反光镜8的反光面与第二半透半反镜4呈平行设置,第二反光镜9的反光面与第一半透半反镜3呈平行设置。
如图3所示,第一物镜组2包括呈间隔设置的第一平凸透镜2-1、第一双凸透镜2-2和第二双凸透镜2-3,第二双凸透镜2-3位于靠近第一半透半反镜3的一侧,第一双凸透镜2-2位于第一平凸透镜2-1与第二双凸透镜2-3之间,第一平凸透镜2-1的凸面位于靠近第一双凸透镜2-2的一侧;如图4所示,第二物镜组5包括呈间隔设置的第三双凸透镜5-1和第二平凸透镜5-2,第三双凸透镜5-1位于靠近第二半透半反镜4的一侧,第二平凸透镜5-2的凸面位于靠近第三双凸透镜5-1的一侧;如图5所示,第三物镜组7包括呈间隔设置的第三平凸透镜7-1、凹凸透镜单元和第四双凸透镜7-4,第四双凸透镜7-4位于靠近第一反光镜8的一侧,凹凸透镜单元包括第一凹凸透镜7-2和第二凹凸透镜7-3,第一凹凸透镜7-2的凸面与第二凹凸透镜7-3的凹面相抵接,第二凹凸透镜7-3的凸面位于靠近第四双凸透镜7-4的一侧,第三平凸透镜7-1的凸面位于靠近第一凹凸透镜7-2的一侧。
本实用新型在观察物体11时,光源10发出光束经过第二反光镜9发生反射,反射光线经过第一半透半反镜3的反射后,再经过第二半透半反镜4和第二物镜组5,照射至物体11,光线接触到物体11后反射回来,反射光线通过第二半透半反镜4后分成两路光线,一路光线通过第一半透半反镜3和第一物镜组2至其中一个CCD相机1成像,此光路倍率是1X,可以对物体表面进行大概观察;另一路光线经过第二半透半反镜4的反射后,再经过第一反光镜8发生反射,反射光线通过第三物镜组7至另一个CCD相机6成像,此光路倍率是6X,可以对物体的各个细节进行详细观察。
本实用新型可以在两台显示屏上同时对一个物体以两个不同倍率进行观察,或同时对同一物体的两个部件以两个不同倍率进行观察,一条光路倍率大点,可以对物体的各个细节进行详细观察,另外一条光路倍率小点,可以对物体表面进行大概观察,即节省了成本,也能满足用户的观察检测需求,适用于电子设备、半导体等领域。
Claims (5)
1.一种双倍率双光路检测视频成像装置,其特征在于:包括两个CCD相机,在其中一个所述CCD相机的中心轴线的朝向的前方依次设有第一物镜组、斜置的第一半透半反镜、斜置的第二半透半反镜和第二物镜组,所述第一半透半反镜和所述第二半透半反镜的斜置方向相对;在另一个所述CCD相机的中心轴线的朝向的前方依次设有第三物镜组和第一反光镜,所述第一反光镜设在所述第二半透半反镜的反光面的反光朝向的一侧;所述第一半透半反镜的反光面的反光朝向的一侧设有第二反光镜,在所述第二反光镜的反光面的反光朝向的一侧设有光源。
2.根据权利要求1所述的双倍率双光路检测视频成像装置,其特征在于:所述第一半透半反镜的斜置角为135度,所述第一半透半反镜的斜置角为所述第一半透半反镜的反光面与其中一个所述CCD相机的中心轴线之间的夹角;所述第二半透半反镜的斜置角为45度,所述第二半透半反镜的斜置角为所述第二半透半反镜的反光面与其中一个所述CCD相机的中心轴线之间的夹角。
3.根据权利要求1或2所述的双倍率双光路检测视频成像装置,其特征在于:所述第一反光镜的反光面与所述第二半透半反镜呈平行设置,所述第二反光镜的反光面与所述第一半透半反镜呈平行设置。
4.根据权利要求3所述的双倍率双光路检测视频成像装置,其特征在于:所述光源为LED灯。
5.根据权利要求4所述的双倍率双光路检测视频成像装置,其特征在于:所述第一物镜组包括呈间隔设置的第一平凸透镜、第一双凸透镜和第二双凸透镜,所述第二双凸透镜位于靠近所述第一半透半反镜的一侧,所述第一双凸透镜位于所述第一平凸透镜与所述第二双凸透镜之间,所述第一平凸透镜的凸面位于靠近所述第一双凸透镜的一侧;
所述第二物镜组包括呈间隔设置的第三双凸透镜和第二平凸透镜,所述第三双凸透镜位于靠近所述第二半透半反镜的一侧,所述第二平凸透镜的凸面位于靠近所述第三双凸透镜的一侧;
所述第三物镜组包括呈间隔设置的第三平凸透镜、凹凸透镜单元和第四双凸透镜,所述第四双凸透镜位于靠近所述第一反光镜的一侧,所述凹凸透镜单元包括第一凹凸透镜和第二凹凸透镜,所述第一凹凸透镜的凸面与所述第二凹凸透镜的凹面相抵接,所述第二凹凸透镜的凸面位于靠近所述第四双凸透镜的一侧,所述第三平凸透镜的凸面位于靠近所述第一凹凸透镜的一侧。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202220823108.0U CN216979423U (zh) | 2022-04-11 | 2022-04-11 | 双倍率双光路检测视频成像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202220823108.0U CN216979423U (zh) | 2022-04-11 | 2022-04-11 | 双倍率双光路检测视频成像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN216979423U true CN216979423U (zh) | 2022-07-15 |
Family
ID=82342196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202220823108.0U Active CN216979423U (zh) | 2022-04-11 | 2022-04-11 | 双倍率双光路检测视频成像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN216979423U (zh) |
-
2022
- 2022-04-11 CN CN202220823108.0U patent/CN216979423U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105807412B (zh) | 一种基于自由曲面整形的全内反射显微方法与装置 | |
CN203380508U (zh) | 一种带有机器视觉的激光加工系统 | |
JP6670561B2 (ja) | テレセントリック明視野および環状暗視野のシームレス融合型照明 | |
CN207571049U (zh) | 一种检测平板清洁度及平整度的装置 | |
CN103955050B (zh) | 一种多光路显微系统 | |
CN207923076U (zh) | 基于片层光照明的旋转扫描式三维成像系统 | |
JP2017156207A (ja) | 撮像装置および撮像方法 | |
CN216979423U (zh) | 双倍率双光路检测视频成像装置 | |
CN2454077Y (zh) | 激光加工机光学装置 | |
CN108845406A (zh) | 多倍率全自动显微成像方法及装置 | |
CN109765684B (zh) | 多光路多方位实时显微成像系统 | |
CN116818667A (zh) | 一种2d和3d集成的半导体显微视觉检测系统及方法 | |
CN116990303A (zh) | 极片边缘缺陷检测装置和极片边缘缺陷检测方法 | |
CN217718246U (zh) | 一种多功能大靶面显微管镜和显示面板检测系统 | |
CN110161671A (zh) | 暗场、明场、相衬、荧光多模式同步成像显微成像装置 | |
JP2017102078A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
CN212647152U (zh) | 双光路视频成像装置 | |
CN201984210U (zh) | 手术显微镜的照明光学系统 | |
US7154679B2 (en) | Optical arrangement with a telecentric beam region | |
CN109791274A (zh) | 显微镜系统 | |
CN210053476U (zh) | 阵列反射式显微图像采集系统 | |
CN207051150U (zh) | 一种污染颗粒观察及测试装置 | |
CN111708109A (zh) | 一种多功能光阑及生物微孔板显微成像光路装置 | |
CN215931695U (zh) | 一种双倍率光纤端面检测仪 | |
CN211804386U (zh) | 一种坏点激光修复装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |