CN216952630U - 一种高纯气体用全自动供气系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及高纯气体供气的技术领域，特别是涉及一种高纯气体用全自动供气系统，包括两组换气机构，两组换气机构设置有两根输气管，所述输气管与所述换气机构连通，所述换气机构上连通设置有导气管；所述导气管上依次设置有单向阀、气压计和减压阀（6；该系统可实现高纯气体的连续输送工作，保证输气系统的连续正常运行，方便后续用气设备连续工作，提高工作效率，提高实用性。

Description

一种高纯气体用全自动供气系统

技术领域

本实用新型涉及高纯气体供气的技术领域，特别是涉及一种高纯气体用全自动供气系统。

背景技术

众所周知，高纯气体通常是指具有高纯度的单一气体或多种单一气体的混合气体，其在实验室用气、半导体加工或医学用气等领域得到广泛应用，高纯气体的供气系统主要是用于对高纯气体进行输送，现有的供气系统通常采用单管道式输送，当管道发生破裂泄漏等现象时，需对供气系统进行停机，之后对管道进行维修或更换，供气系统停机容易造成高纯气体的供应工作出现停顿，导致后续用气设备无法正常连续工作，影响生产效率。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种高纯气体用全自动供气系统。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

高纯气体用全自动供气系统，包括两组换气机构，两组换气机构设置有两根输气管，所述输气管与所述换气机构连通，所述换气机构上连通设置有导气管；

所述导气管上依次设置有单向阀、气压计和减压阀；

所述换气机构包括换气仓、第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板均固定在所述换气仓的内侧壁上，并且所述第一挡板和所述第二挡板将所述换气仓内部分割成一个第一腔体和两个第二腔体，所述第二挡板上开设有两个导气孔，两个第二腔体通过两个导气孔均与第一腔体连通，第一腔体与导气管连通，两个第二腔体分别与两根输气管连通；

还包括第一密封盖板，所述第一密封盖板盖装在所述第二挡板上的一个导气孔上，所述第一密封盖板上设置有推动机构。

进一步地，所述推动机构包括两根第一导轨，所述第一导轨安装在所述换气仓内第一腔体内壁上，所述第一导轨上滑动安装有滑块，所述滑块上安装有第一伸缩杆和两根弹簧，所述第一伸缩杆的活动端和所述弹簧的外端均固定在所述第一密封盖板的侧壁上。

进一步地，所述换气仓内转动安装有丝杠，所述丝杠的外壁上安装有螺套，所述螺套的外壁上安装有两张连接板，所述连接板的外端固定在所述滑块上；

所述换气仓的外侧壁上安装有电机，所述电机与所述丝杠传动连接。

进一步地，所述第二挡板侧壁上安装有两个直角滑槽板，所述直角滑槽板扣设在所述第一密封盖板的外侧，并且所述直角滑槽板与所述第一密封盖板滑动连接。

进一步地，所述换气仓内的第二腔体内设置有封堵机构；

所述封堵机构包括转动安装在所述换气仓内侧壁上的转动板，所述转动板的外端安装有第二密封盖板；

所述转动板的侧壁上安装有板簧，所述板簧的外端固定在所述换气仓的内侧壁上；

所述转动板上设置有卡装机构。

进一步地，所述卡装机构包括固定槽板，所述固定槽板与所述换气仓内的第二腔体内部连通，所述固定槽板内侧壁上安装有第二导轨，所述第二导轨上滑动安装有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的活动端转动安装在所述转动板的外侧壁上；

所述第二伸缩杆固定端一侧壁上安装有吸附铁块，所述固定槽板上安装有电磁吸附器，所述电磁吸附器与所述吸附铁块吸附连接。

进一步地，所述第二伸缩杆固定端另一侧壁上安装有推杆，所述推杆的外端穿过所述固定槽板并伸出，所述推杆与所述固定槽板滑动连接。

进一步地，所述换气仓内第二腔体内设置有压力侧漏计。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：高纯气体在两个换气机构、一根输气管和两根导气管内连续传送，此时高纯气体在换气仓内的第一腔体内通过一个导气孔进入一个第二腔体内，该第二腔体内的高纯气体进入一根输气管内并通过另一组换气机构和另一根导气管进行输送，另一个导气孔上的第一密封盖板对该导气孔进行密封处理，并且另一根输气管处于闲置状态，当一根输气管出现破裂漏气现象时，推动机构推动第一密封盖板移动至对应导气孔上，第一密封盖板对该导气孔进行封堵，此时高纯气体无法进入漏气状态的输气管内，并且换气仓内的高纯气体通过另一个导气孔进入另一根输气管内，从而实现高纯气体的连续输送工作，并且方便对漏气状态的输气管进行检修或更换，通过设置单向阀，可方便使导气管内输送的高纯气体进行单向流动，通过设置气压计和减压阀，可方便对导气管内输送的高纯气体进行压力检测和降压处理，该系统可实现高纯气体的连续输送工作，保证输气系统的连续正常运行，方便后续用气设备连续工作，提高工作效率，提高实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中换气机构结构示意图；

图3是图2中固定槽板剖视结构示意图；

图4是图3中A处局部放大结构示意图；

图5是图3中B处局部放大结构示意图；

附图中标记：1、换气机构；2、输气管；3、导气管；4、单向阀；5、气压计；6、减压阀；7、换气仓；8、第一挡板；9、第二挡板；10、第一密封盖板；11、第一导轨；12、滑块；13、第一伸缩杆；14、弹簧；15、丝杠；16、螺套；17、连接板；18、电机；19、直角滑槽板；20、转动板；21、第二密封盖板；22、板簧；23、固定槽板；24、第二导轨；25、第二伸缩杆；26、吸附铁块；27、电磁吸附器；28、推杆；29、压力侧漏计。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以是通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本实施例采用递进的方式撰写。

如图1至图5所示，本实用新型的一种高纯气体用全自动供气系统，包括两组换气机构1，两组换气机构1设置有两根输气管2，所述输气管2与所述换气机构1连通，所述换气机构1上连通设置有导气管3；

所述导气管3上依次设置有单向阀4、气压计5和减压阀6；

所述换气机构1包括换气仓7、第一挡板8和第二挡板9，所述第一挡板8和所述第二挡板9均固定在所述换气仓7的内侧壁上，并且所述第一挡板8和所述第二挡板9将所述换气仓7内部分割成一个第一腔体和两个第二腔体，所述第二挡板9上开设有两个导气孔，两个第二腔体通过两个导气孔均与第一腔体连通，第一腔体与导气管3连通，两个第二腔体分别与两根输气管2连通；

还包括第一密封盖板10，所述第一密封盖板10盖装在所述第二挡板9上的一个导气孔上，所述第一密封盖板10上设置有推动机构。

本实施例中，高纯气体在两个换气机构1、一根输气管2和两根导气管3内连续传送，此时高纯气体在换气仓7内的第一腔体内通过一个导气孔进入一个第二腔体内，该第二腔体内的高纯气体进入一根输气管2内并通过另一组换气机构1和另一根导气管3进行输送，另一个导气孔上的第一密封盖板10对该导气孔进行密封处理，并且另一根输气管2处于闲置状态，当一根输气管2出现破裂漏气现象时，推动机构推动第一密封盖板10移动至对应导气孔上，第一密封盖板10对该导气孔进行封堵，此时高纯气体无法进入漏气状态的输气管2内，并且换气仓7内的高纯气体通过另一个导气孔进入另一根输气管2内，从而实现高纯气体的连续输送工作，并且方便对漏气状态的输气管2进行检修或更换，通过设置单向阀4，可方便使导气管3内输送的高纯气体进行单向流动，通过设置气压计5和减压阀6，可方便对导气管3内输送的高纯气体进行压力检测和降压处理，该系统可实现高纯气体的连续输送工作，保证输气系统的连续正常运行，方便后续用气设备连续工作，提高工作效率，提高实用性。

作为上述实施例的优选，所述推动机构包括两根第一导轨11，所述第一导轨11安装在所述换气仓7内第一腔体内壁上，所述第一导轨11上滑动安装有滑块12，所述滑块12上安装有第一伸缩杆13和两根弹簧14，所述第一伸缩杆13的活动端和所述弹簧14的外端均固定在所述第一密封盖板10的侧壁上。

本实施例中，弹簧14始终对第一密封盖板10产生弹性推力，从而使第一密封盖板10与第二挡板9侧壁贴紧，提高第一密封盖板10对导气孔的密封性，推动滑块12在第一导轨11上滑动，滑块12通过第一伸缩杆13和弹簧14带动第一密封盖板10在第二挡板9侧壁上滑动，从而对第一密封盖板10的位置进行转移，方便使第一密封盖板10对另一个导气孔进行封堵，实现两根输气管2导气工作的转换。

作为上述实施例的优选，所述换气仓7内转动安装有丝杠15，所述丝杠15的外壁上安装有螺套16，所述螺套16的外壁上安装有两张连接板17，所述连接板17的外端固定在所述滑块12上；

所述换气仓7的外侧壁上安装有电机18，所述电机18与所述丝杠15传动连接。

本实施例中，电机18带动丝杠15移动，由于丝杠15与螺套16螺装连接，丝杠15推动螺套16移动，螺套16通过连接板17带动滑块12移动，从而推动第一密封盖板10位置转移。

作为上述实施例的优选，所述第二挡板9侧壁上安装有两个直角滑槽板19，所述直角滑槽板19扣设在所述第一密封盖板10的外侧，并且所述直角滑槽板19与所述第一密封盖板10滑动连接。

本实施例中，第一密封盖板10移动时，第一密封盖板10在直角滑槽板19内滑动，通过设置直角滑槽板19，可方便对第一密封盖板10进行导向和支撑。

作为上述实施例的优选，所述换气仓7内的第二腔体内设置有封堵机构；

所述封堵机构包括转动安装在所述换气仓7内侧壁上的转动板20，所述转动板20的外端安装有第二密封盖板21；

所述转动板20的侧壁上安装有板簧22，所述板簧22的外端固定在所述换气仓7的内侧壁上；

所述转动板20上设置有卡装机构。

本实施例中，当输气管2出现破裂漏气现象时，卡装机构停止对转动板20的卡装工作，板簧22通过转动板20拉动第二密封盖板21快速朝向输气管2端口位置移动，第二密封盖板21对输气管2端口进行快速封堵处理，同时第二腔体内高压状态的高纯气体对第二密封盖板21产生推动力，从而使第二密封盖板21与输气管2端口贴紧，通过设置转动板20、第二密封盖板21和板簧22，可方便对漏气状态的输气管2进行快速封堵处理，减少高纯气体的流失，降低资源浪费。

作为上述实施例的优选，所述卡装机构包括固定槽板23，所述固定槽板23与所述换气仓7内的第二腔体内部连通，所述固定槽板23内侧壁上安装有第二导轨24，所述第二导轨24上滑动安装有第二伸缩杆25，所述第二伸缩杆25的活动端转动安装在所述转动板20的外侧壁上；

所述第二伸缩杆25固定端一侧壁上安装有吸附铁块26，所述固定槽板23上安装有电磁吸附器27，所述电磁吸附器27与所述吸附铁块26吸附连接。

本实施例中，电磁吸附器27对吸附铁块26进行吸附作用，此时吸附铁块26带动第二伸缩杆25固定在第二导轨24上，当输气管2漏气时，关闭电磁吸附器27，电磁吸附器27与吸附铁块26分离，板簧22拉动转动板20移动，转动板20带动第二伸缩杆25在第二导轨24上滑动，从而实现对转动板20的卡装和松开工作。

作为上述实施例的优选，所述第二伸缩杆25固定端另一侧壁上安装有推杆28，所述推杆28的外端穿过所述固定槽板23并伸出，所述推杆28与所述固定槽板23滑动连接。

本实施例中，当第二伸缩杆25移动时，第二伸缩杆25带动推杆28移动，推杆28在固定槽板23上滑动，当输气管2维修或更换完成后，通过推杆28推动第二伸缩杆25移动至初始位置，此时第二密封盖板21移动至初始位置，电磁吸附器27重新对吸附铁块26进行吸附作用。

作为上述实施例的优选，所述换气仓7内第二腔体内设置有压力侧漏计29。

本实施例中，通过设置压力侧漏计29，可方便对换气仓7内第二腔体内高纯气体的气压状态进行检测，当两组换气机构1内处于导气工作状态的两个第二腔体压力出现差异时，处于工作状态的输气管2出现漏气现象，通过设置压力侧漏计29，可方便检测输气管2工作状态。

本实用新型的一种高纯气体用全自动供气系统，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；单向阀4、气压计5、减压阀6、吸附铁块26、电磁吸附器27和压力侧漏计29可在市场采购。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，包括两组换气机构（1），两组换气机构（1）设置有两根输气管（2），所述输气管（2）与所述换气机构（1）连通，所述换气机构（1）上连通设置有导气管（3）；

所述导气管（3）上依次设置有单向阀（4）、气压计（5）和减压阀（6）；

所述换气机构（1）包括换气仓（7）、第一挡板（8）和第二挡板（9），所述第一挡板（8）和所述第二挡板（9）均固定在所述换气仓（7）的内侧壁上，并且所述第一挡板（8）和所述第二挡板（9）将所述换气仓（7）内部分割成一个第一腔体和两个第二腔体，所述第二挡板（9）上开设有两个导气孔，两个第二腔体通过两个导气孔均与第一腔体连通，第一腔体与导气管（3）连通，两个第二腔体分别与两根输气管（2）连通；

还包括第一密封盖板（10），所述第一密封盖板（10）盖装在所述第二挡板（9）上的一个导气孔上，所述第一密封盖板（10）上设置有推动机构。

2.如权利要求1所述的一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，所述推动机构包括两根第一导轨（11），所述第一导轨（11）安装在所述换气仓（7）内第一腔体内壁上，所述第一导轨（11）上滑动安装有滑块（12），所述滑块（12）上安装有第一伸缩杆（13）和两根弹簧（14），所述第一伸缩杆（13）的活动端和所述弹簧（14）的外端均固定在所述第一密封盖板（10）的侧壁上。

3.如权利要求2所述的一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，所述换气仓（7）内转动安装有丝杠（15），所述丝杠（15）的外壁上安装有螺套（16），所述螺套（16）的外壁上安装有两张连接板（17），所述连接板（17）的外端固定在所述滑块（12）上；

所述换气仓（7）的外侧壁上安装有电机（18），所述电机（18）与所述丝杠（15）传动连接。

4.如权利要求3所述的一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，所述第二挡板（9）侧壁上安装有两个直角滑槽板（19），所述直角滑槽板（19）扣设在所述第一密封盖板（10）的外侧，并且所述直角滑槽板（19）与所述第一密封盖板（10）滑动连接。

5.如权利要求4所述的一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，所述换气仓（7）内的第二腔体内设置有封堵机构；

所述封堵机构包括转动安装在所述换气仓（7）内侧壁上的转动板（20），所述转动板（20）的外端安装有第二密封盖板（21）；

所述转动板（20）的侧壁上安装有板簧（22），所述板簧（22）的外端固定在所述换气仓（7）的内侧壁上；

所述转动板（20）上设置有卡装机构。

6.如权利要求5所述的一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，所述卡装机构包括固定槽板（23），所述固定槽板（23）与所述换气仓（7）内的第二腔体内部连通，所述固定槽板（23）内侧壁上安装有第二导轨（24），所述第二导轨（24）上滑动安装有第二伸缩杆（25），所述第二伸缩杆（25）的活动端转动安装在所述转动板（20）的外侧壁上；

所述第二伸缩杆（25）固定端一侧壁上安装有吸附铁块（26），所述固定槽板（23）上安装有电磁吸附器（27），所述电磁吸附器（27）与所述吸附铁块（26）吸附连接。

7.如权利要求6所述的一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，所述第二伸缩杆（25）固定端另一侧壁上安装有推杆（28），所述推杆（28）的外端穿过所述固定槽板（23）并伸出，所述推杆（28）与所述固定槽板（23）滑动连接。

8.如权利要求7所述的一种高纯气体用全自动供气系统，其特征在于，所述换气仓（7）内第二腔体内设置有压力侧漏计（29）。

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