CN216947187U - 一种化学气相沉积反应器的气体入口结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公布了一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，包括反应器壳体，反应器壳体上前后对称设有进气组件，进气组件下方的反应器壳体外壁固接有电机，进气组件包括阀筒、转轴和阀座，阀筒上固接有集气罩，集气罩位置的阀筒上开设有出气孔，集气罩上固接有出气管，出气管的头部固接有加热筒，本实用新型的有益效果是，通过进气组件的设置使得两种气态原材料输送到反应器壳体中的时间错开，从而使得一种气态原材料输送完成后，并在反应器壳体中大致分布均匀后，另一种气态原材料才会输送，可以有效提高反应的均匀程度，进而使得沉积膜的厚度均匀，通过加热筒可以对输送到反应器壳体中的气态原材料进行加热而提高其温度，提高反应的效果。

Description

一种化学气相沉积反应器的气体入口结构

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉淀技术领域，具体涉及一种化学气相沉积反应器的气体入口结构。

背景技术

化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，在化学气相沉积的时候，将两种气态的原材料通入到反应室，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。

现有技术中，两种气态的原材料一般同时通入到反应室中，导致气态原料还没有均匀分布在反应室中时即发生反应，从而导致各处的反应不均匀，进而导致晶片上沉积膜的厚度不均匀，且气态的原材料在输送的过程中，其温度不断下降，现有技术中，未在入口处设置加热装置对气态的原材料进行温度的补充，导致反应器中的气态的原材料温度不够高，进而导致反应效果不好。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，本实用新型是通过以下技术方案来实现的。

一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，包括反应器壳体，所述反应器壳体上前后对称设有进气组件，进气组件下方的反应器壳体外壁固接有电机；

所述进气组件包括阀筒、转轴和阀座；所述阀筒的右端固定连接在反应器壳体中，阀筒的内腔截面尺寸为矩形，阀筒的中部固接有集气罩，所述集气罩所罩合区域的阀筒各侧板上开设有出气孔，集气罩的各侧板上固接有出气管，所述出气管的头部与反应器壳体连通，阀筒的左端固接有连接罩，所述连接罩所罩合区域的阀筒各侧板上开设有进气孔，连接罩的左侧板上固接有进气管，所述转轴转动连接在阀筒的左右侧板之间，转轴的右端伸出到阀筒外并固接有传动轮，阀筒内的转轴上开设有往复螺纹槽，前后两侧转轴上的往复螺纹槽旋向相反，所述阀座滑动连接在阀筒中，阀座的中心固接有与往复螺纹槽啮合的往复螺纹套；

所述电机设有水平向右的输出轴，电机的输出轴转动连接在反应器壳体中，电机的输出轴右端固接有驱动轮，所述驱动轮与两个所述传动轮通过皮带共同联动。

进一步地，所述阀座的外圈固接有橡胶密封垫，阀座通过密封垫密封滑动连接在阀筒中。

进一步地，各所述出气管的头部连接有加热筒，所述加热筒的外部固接有保温罩，所述保温罩的头部固接在反应器壳体中，加热筒的右侧板上开设有送气口，保温罩内的加热管外壁固接有螺旋形状的加热丝。

进一步地，所述加热筒的内壁固接有螺旋形状的导风板。

进一步地，所述电机通过调速旋钮与外部电源电性连接。

本实用新型的有益效果是，通过进气组件的设置使得两种气态原材料输送到反应器壳体中的时间错开，从而使得一种气态原材料输送完成后，并在反应器壳体中大致分布均匀后，另一种气态原材料才会输送，可以有效提高反应的均匀程度，进而使得沉积膜的厚度均匀，通过加热筒可以对输送到反应器壳体中的气态原材料进行加热而提高其温度，提高反应的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1：本实用新型所述一种化学气相沉积反应器的气体入口结构的轴测图；

图2：本实用新型所述一种化学气相沉积反应器的气体入口结构另一角度的结构示意图；

图3：本实用新型所述进气组件的局部剖视图；

图4：本实用新型所述加热筒和保温罩的内部结构示意图。

附图标记如下：

1-反应器壳体，2-进气组件，21-阀筒，22-转轴，23-阀座，24-集气罩，25-出气孔，26-出气管，27-连接罩，28-进气孔，29-进气管，210-传动轮，211-往复螺纹槽，212-往复螺纹套，213-密封垫，214-加热筒，215-保温罩，216-送气口，217-加热丝，218-导风板，3-电机，31-驱动轮，32-皮带。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示，一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，包括反应器壳体1，反应器壳体1上前后对称设有进气组件2，进气组件2下方的反应器壳体1外壁固接有电机3；

进气组件2包括阀筒21、转轴22和阀座23；阀筒21的右端固定连接在反应器壳体1中，阀筒21的内腔截面尺寸为矩形，阀筒21的中部固接有集气罩24，集气罩24所罩合区域的阀筒21各侧板上开设有出气孔25，集气罩24的各侧板上固接有出气管26，出气管26的头部与反应器壳体1连通，阀筒21的左端固接有连接罩27，连接罩27所罩合区域的阀筒21各侧板上开设有进气孔28，连接罩27的左侧板上固接有进气管29，转轴22转动连接在阀筒21的左右侧板之间，转轴22的右端伸出到阀筒21外并固接有传动轮210，阀筒21内的转轴22上开设有往复螺纹槽211，前后两侧转轴22上的往复螺纹槽211旋向相反，阀座23滑动连接在阀筒21中，阀座23的中心固接有与往复螺纹槽211啮合的往复螺纹套212；

电机3设有水平向右的输出轴，电机3的输出轴转动连接在反应器壳体1中，电机3的输出轴右端固接有驱动轮31，驱动轮31与两个传动轮210通过皮带32共同联动。

优选的，阀座23的外圈固接有橡胶密封垫213，阀座23通过密封垫213密封滑动连接在阀筒21中。

优选的，各出气管26的头部连接有加热筒214，加热筒214的外部固接有保温罩215，保温罩215的头部固接在反应器壳体1中，加热筒214的右侧板上开设有送气口216，保温罩215内的加热管外壁固接有螺旋形状的加热丝217。

优选的，加热筒214的内壁固接有螺旋形状的导风板218。

优选的，电机3通过调速旋钮与外部电源电性连接。

本实用新型的一个具体实施方式为：

使用时，两个进气管29分别进行两种不同气态原材料的输送，气态原材料通过进气管29进入连接罩27，并通过进气孔28进入阀筒21。

设初始位置时，两个阀座23位于阀筒21的中部，电机3工作时带动驱动轮31转动，驱动轮31通过皮带32带动两个传动轮210同步转动，从而两个转轴22同步转动，由于阀座23通过往复螺纹套212与转轴22上的往复螺纹槽211啮合，且阀筒21的内腔截面形状为矩形，阀座23被矩形的阀筒21限制而不能转动，转轴22转动时，阀座23前后往复移动，由于前后两侧转轴22上的往复螺纹槽211旋向相反，则阀座23的移动方向相反。

从而前后两侧的阀座23一个位于出气孔25的左侧，此阀筒21上的出气孔25被封闭，另一个阀座23位于出气孔25的右侧，此阀座23上的出气孔25打开，通过上述设置，使得两种气态原材料可以错开进入反应器壳体1的时间，从而使得一种气态原材料输送完成后，并在反应器壳体1中大致分布均匀后，另一种气态原材料才会输送，可以有效提高反应的均匀程度。

气态原材料通过出气管26输送到加热筒214中，通过加热丝217的工作可以对其进行升温，提高反应的效果，通过螺旋状导风板218的设置，可以提高气态原材料在加热筒214中的移动距离，从而提高升温的效果。

电机3通过调速旋钮与外部电源电性连接，通过调速旋钮可以对电机3的转速进行调节，从而调整气态原材料进入反应器壳体1的时间长短。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，包括反应器壳体，其特征在于：所述反应器壳体上前后对称设有进气组件，进气组件下方的反应器壳体外壁固接有电机；

所述进气组件包括阀筒、转轴和阀座；所述阀筒的右端固定连接在反应器壳体中，阀筒的内腔截面尺寸为矩形，阀筒的中部固接有集气罩，所述集气罩所罩合区域的阀筒各侧板上开设有出气孔，集气罩的各侧板上固接有出气管，所述出气管的头部与反应器壳体连通，阀筒的左端固接有连接罩，所述连接罩所罩合区域的阀筒各侧板上开设有进气孔，连接罩的左侧板上固接有进气管，所述转轴转动连接在阀筒的左右侧板之间，转轴的右端伸出到阀筒外并固接有传动轮，阀筒内的转轴上开设有往复螺纹槽，前后两侧转轴上的往复螺纹槽旋向相反，所述阀座滑动连接在阀筒中，阀座的中心固接有与往复螺纹槽啮合的往复螺纹套；

所述电机设有水平向右的输出轴，电机的输出轴转动连接在反应器壳体中，电机的输出轴右端固接有驱动轮，所述驱动轮与两个所述传动轮通过皮带共同联动。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，其特征在于：所述阀座的外圈固接有橡胶密封垫，阀座通过密封垫密封滑动连接在阀筒中。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，其特征在于：各所述出气管的头部连接有加热筒，所述加热筒的外部固接有保温罩，所述保温罩的头部固接在反应器壳体中，加热筒的右侧板上开设有送气口，保温罩内的加热管外壁固接有螺旋形状的加热丝。

4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，其特征在于：所述加热筒的内壁固接有螺旋形状的导风板。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器的气体入口结构，其特征在于：所述电机通过调速旋钮与外部电源电性连接。

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