CN216905483U - 一种自动移载式半导体选化剥膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及了一种自动移载式半导体选化剥膜设备，包括设备架；所述设备架设置有依次水平排列的操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽；所述设备架上还设置有水平移动机构、安装在水平移动机构上的升降机构；所述升降机构的升降端安装有挂架；所述挂架上设置有挂杆；所述挂杆用于挂载载板挂具；所述升降机构用于带动载板挂具升降；所述水平移动机构用于与水平移动机构配合，将载板挂具在操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽之间移载。本实用新型的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。

Description

一种自动移载式半导体选化剥膜设备

技术领域

本实用新型涉及线路板制造领域，特别是涉及一种自动移载式半导体选化剥膜设备。

背景技术

在半导体载板制造之选化剥膜制程时，因光阻膜太厚，采用传统连续剥膜机无法将光阻膜完全剥离，造成产品不良或需重工处理。传统方式为采用人工处理方式，需要人工将挂载产品的挂具放入化学处理槽内进行处理。因化学处理槽药水具有腐蚀性，且部分槽体内为高温药水，此步骤采用人工方式费时费力且有工安隐患。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种自动移载式半导体选化剥膜设备，包括设备架；所述设备架设置有依次水平排列的操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽；所述设备架上还设置有水平移动机构、安装在水平移动机构上的升降机构；所述升降机构的升降端安装有挂架；所述挂架上设置有挂杆；所述挂杆用于挂载载板挂具；所述升降机构用于带动载板挂具升降；所述水平移动机构用于与水平移动机构配合，将载板挂具在操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽之间移载。

进一步的，所述挂架为两个，挂架上开设有开口朝上的固定槽；所述挂杆放置在两个固定槽上。

进一步的，所述载板挂具的顶端设置有挂钩；所述载板挂具通过挂钩挂载在挂杆上。

进一步的，所述升降机构包括固定在水平移动机构的移动端的水平移动板、安装在水平移动板上的竖向的丝杆、与丝杆顶端传动连接的升降电机、与丝杆配合的丝杆螺母、固定在丝杆螺母上的竖向移动板；所述挂架安装在所述竖向移动板上。

进一步的，所述水平移动机构包括安装在设备架上的水平传送架、用于驱动水平传送架水平移动的平移电机、安装在水平传送架上的连接架；所述水平移动板固定安装在连接架上。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有加热器和冷却器，用于为第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽提供所需的温度条件。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有温控保护器。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有气体搅拌装置。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有液位保护器。

进一步的，所述设备架上还安装控制模块，水平移动机构和升降机构上设置有多个限位传感器；所述控制模块与多个限位传感器、水平移动机构、升降机构、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽控制连接；控制模块被配置为利用限位传感器，控制水平移动机构、升降机构将载板挂具移动至所需位置；还被配置为对第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内的处理环境进行参数化控制。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。

附图说明

图1为实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备的主视示意图；

图2为实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备的右视示意图；

其中，1-设备架，2-操作室，3-第一剥膜槽，4-第二剥膜槽，5-水洗清洗槽，6-水平移动板，7-竖向移动板，8-挂架，9-挂杆，10-载板挂具，11-固定槽，12-挂钩，13-丝杆，14-升降电机，15-连接架，16-水平传送架，17-平移电机，18-温控保护器，19-冷却器，20-温控保护器，21-气体搅拌装置，22-液位保护器。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不对本实用新型的保护范围构成限定。

实施例

请参照图1和图2所示，本实施例提供了一种自动移载式半导体选化剥膜设备，包括设备架1；所述设备架1设置有依次水平排列的操作室2、第一剥膜槽3、第二剥膜槽4、水洗清洗槽5；所述设备架1上还设置有水平移动机构、安装在水平移动机构上的升降机构；所述升降机构的升降端安装有挂架8；所述挂架8上设置有挂杆9；所述挂杆9用于挂载载板挂具10；所述升降机构用于带动载板挂具10升降；所述水平移动机构用于与水平移动机构配合，将载板挂具10在操作室2、第一剥膜槽3、第二剥膜槽4、水洗清洗槽5之间移载。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述挂架8为两个，挂架8上开设有开口朝上的固定槽11；所述挂杆9放置在两个固定槽11上。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述载板挂具10的顶端设置有挂钩12；所述载板挂具10通过挂钩12挂载在挂杆9上。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述升降机构包括固定在水平移动机构的移动端的水平移动板6、安装在水平移动板6上的竖向的丝杆13、与丝杆13顶端传动连接的升降电机14、与丝杆13配合的丝杆螺母、固定在丝杆螺母上的竖向移动板7；所述挂架8安装在所述竖向移动板7上。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述水平移动机构包括安装在设备架1上的水平传送架16、用于驱动水平传送架16水平移动的平移电机17、安装在水平传送架16上的连接架15；所述水平移动板6固定安装在连接架15上。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述第一剥膜槽3、第二剥膜槽4、水洗清洗槽5内还分别设置有加热器18和冷却器19，用于为第一剥膜槽3、第二剥膜槽4、水洗清洗槽5提供所需的温度条件。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述第一剥膜槽3、第二剥膜槽4、水洗清洗槽5内还分别设置有温控保护器20。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述第一剥膜槽3、第二剥膜槽4、水洗清洗槽5内还分别设置有气体搅拌装置21。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述第一剥膜槽3、第二剥膜槽4、水洗清洗槽5内还分别设置有液位保护器22。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备中，所述设备架上还安装控制模块，水平移动机构和升降机构上设置有多个限位传感器；所述控制模块与多个限位传感器、水平移动机构、升降机构、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽控制连接；控制模块被配置为利用限位传感器，控制水平移动机构、升降机构将载板挂具移动至所需位置；还被配置为对第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内的处理环境进行参数化控制；具体的，控制模块与多个限位传感器、平移电机、升降电机、加热器18、冷却器19、温控保护器20、气体搅拌装置21、液位保护器等控制连接。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，控制模块可选择人机触控一体机；该人机触控一体机可以安装在设备架上，通过人机触控一体机，设定相应的操作流程以及处理环境的参数，即可实现整体处理的自动化。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，操作人员在人机触控一体机上输入相应的工作流程及相应的处理环境参数，在操作室处，将放置有载板的载板挂具挂在挂架上，然后启动工作流程，本实施例的设备就会通过水平移动机构和升降机构将载板挂具升起，平移至第一剥膜槽处，然后，降下载板挂具，载板挂具上所装载的载板则浸入第一剥膜槽的液体中，进行第一道剥膜处理，然后，升起、平移至第二剥膜槽处、降下，进行第二道剥膜处理，再后，升起、平移至水洗清洗槽处、降下，进行清洗，最后，升起、平移至操作室处、降下，操作员取下已经处理好的放置有载板的载板挂具，再挂入新的待处理的载板的载板挂具，重复上述动作。

本实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。

上述实施例不应以任何方式限制本实用新型，凡采用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：包括设备架；所述设备架设置有依次水平排列的操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽；所述设备架上还设置有水平移动机构、安装在水平移动机构上的升降机构；所述升降机构的升降端安装有挂架；所述挂架上设置有挂杆；所述挂杆用于挂载载板挂具；所述升降机构用于带动载板挂具升降；所述水平移动机构用于与水平移动机构配合，将载板挂具在操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽之间移载。

2.根据权利要求1所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述挂架为两个，挂架上开设有开口朝上的固定槽；所述挂杆放置在两个固定槽上。

3.根据权利要求2所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述载板挂具的顶端设置有挂钩；所述载板挂具通过挂钩挂载在挂杆上。

4.根据权利要求1所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述升降机构包括固定在水平移动机构的移动端的水平移动板、安装在水平移动板上的竖向的丝杆、与丝杆顶端传动连接的升降电机、与丝杆配合的丝杆螺母、固定在丝杆螺母上的竖向移动板；所述挂架安装在所述竖向移动板上。

5.根据权利要求4所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述水平移动机构包括安装在设备架上的水平传送架、用于驱动水平传送架水平移动的平移电机、安装在水平传送架上的连接架；所述水平移动板固定安装在连接架上。

6.根据权利要求1所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有加热器、冷却器和温控保护器，用于为第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽的处理环境提供所需的温度条件。

7.根据权利要求1所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有气体搅拌装置，用于为第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽的处理环境提供所需的搅拌条件。

8.根据权利要求1所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有液位保护器，用于为第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽的处理环境提供所需的液面高度条件。

9.根据权利要求5-8中任意一项所述的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，其特征在于：所述设备架上还安装控制模块，水平移动机构和升降机构上设置有多个限位传感器；所述控制模块与多个限位传感器、水平移动机构、升降机构、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽控制连接；控制模块被配置为利用限位传感器，控制水平移动机构、升降机构将载板挂具移动至所需位置；还被配置为对第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内的处理环境进行参数化控制。

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