CN216883786U - 一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，溅射靶材安装定位装置包括底座、升降机构、靶材提放螺栓和靶材定位插销，底座的拐角处均匀安装有四组滚轮，升降机构内置底座的内部且由驱动电机、皮带、丝杠、滑块和升降杆组成，驱动电机垂直安装于底座上且动力输出端通过皮带与丝杠相连接，丝杠垂直安装于底座内且底端与底座转动连接，滑块螺纹穿插于丝杠上且外端与升降杆相连接，升降杆的下端固定于底座上且外端连接有交叉式支撑机构。本实用新型设计了一种专门用于物理气相沉积装备溅射靶材进行拆装和定位的装置，该装置在靶材移出与安装时，采用机械机构操作，避免人员受伤，避免靶材和设备受损。

Description

一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造物理气相沉积设备技术领域，具体为一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置。

背景技术

物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将靶材表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。靶材是物理气相沉积设所用的材料源，靶材在使用过程中不断消耗，消耗到一定数量后需要更换靶材。不同的工艺所用的靶材也不相同，不同工艺之间转换时需要更换靶材。常用的靶材如：铝铜，铜，钛，等，更换靶材的主要步骤：将原来设备上的旧靶材拆下，安装新的靶材。

然而，现有的物理气相沉积装备溅射靶材拆装方式存在以下的问题：(1)多采用人工操作的方式，靶材较重，人工移出与安装不便，易造成人员受伤并且容易对靶材造成碰撞，造成靶材和设备受损；(2)安装时无对位装置，凭肉眼对位，造成对位不准，重复操作，浪费时间。为此，需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，解决了多采用人工操作的方式，靶材较重，人工移出与安装不便，易造成人员受伤并且容易对靶材造成碰撞，造成靶材和设备受损，这一技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，所述溅射靶材安装定位装置包括底座、升降机构、靶材提放螺栓和靶材定位插销，所述底座的拐角处均匀安装有四组滚轮，所述升降机构内置底座的内部且由驱动电机、皮带、丝杠、滑块和升降杆组成，所述驱动电机垂直安装于底座上且动力输出端通过皮带与丝杠相连接，所述丝杠垂直安装于底座内且底端与底座转动连接，所述滑块螺纹穿插于丝杠上且外端与升降杆相连接，所述升降杆的下端固定于底座上且外端连接有交叉式支撑机构，所述交叉式支撑机构的下端连接有两组支架，所述靶材提放螺栓分设有若干组且螺纹固定于支架上，若干组所述靶材提放螺栓的下端螺纹连接有靶材本体，所述靶材定位插销分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构上。

作为本实用新型的一种优选方式，所述底座的外围垂直安装有四组侧板且内部形成有安装槽，所述侧板上安装有调节按钮，所述调节按钮通过线路与驱动电机相连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述交叉式支撑机构由主筒、提升杆、支撑板、交叉杆和连接块组成，所述主筒的底部固定于底座上，所述提升杆活动穿插于主筒且外端与滑块相连接，所述支撑板水平安装于提升杆的顶部，所述交叉杆安装有支撑板的外端且下方与连接块相连接，所述连接块分设有两组且对称安装于支架的上方。

作为本实用新型的一种优选方式，所述交叉杆由两组横杆组成，两组所述横杆呈交叉状设置且连接的中心位置与支撑板的外端相连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述支架和连接块上均开设有若干组定位孔，若干组所述定位孔包括四组定位孔一和四组定位孔二，所述定位孔一距离支架的中心位置为八寸，所述定位孔二距离支架的中心位置为十二寸。

作为本实用新型的一种优选方式，所述靶材提放螺栓包括手动提升手柄和垂直固定于手动提升手柄下方的螺杆，所述螺杆螺纹穿插于靶材本体。

作为本实用新型的一种优选方式，所述靶材本体的外围开设有螺纹孔，所述螺杆的下端螺纹穿插于螺纹孔内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型设计了一种专门用于物理气相沉积装备溅射靶材进行拆装和定位的装置，该装置在靶材移出与安装时，采用机械机构操作，避免人员受伤，避免靶材和设备受损。

2.本实用新型在靶材安装时有定位装置，便于精准定位，一次安装成功，靶材安装时精准定位，节约安装时间，兼容8寸与12寸靶材使用，降低单独购买特定尺寸装置的成本，节约装置摆放空间。

附图说明

图1为本实用新型为溅射靶材安装定位装置示意图；

图2为本实用新型所述靶材本体与靶材提放螺栓连接结构图；

图3为本实用新型的溅射靶材安装流程图。

图中:1、底座；2、升降机构；3、靶材提放螺栓；4、靶材定位插销；5、滚轮；6、驱动电机；7、皮带；8、丝杠；9、滑块；10、升降杆；11、交叉式支撑机构；12、支架；13、靶材本体；14、侧板；15、安装槽；16、调节按钮；17、主筒；18、提升杆；19、支撑板；20、交叉杆；21、连接块；22、横杆；23、定位孔一；24、定位孔二；25、手动提升手柄；26、螺杆；27、螺纹孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，其特征在于：溅射靶材安装定位装置包括底座1、升降机构2、靶材提放螺栓3和靶材定位插销4，底座1的拐角处均匀安装有四组滚轮5，升降机构2内置底座1的内部且由驱动电机6、皮带7、丝杠8、滑块9和升降杆10组成，驱动电机6垂直安装于底座1上且动力输出端通过皮带7与丝杠8相连接，丝杠8垂直安装于底座1内且底端与底座1转动连接，滑块9螺纹穿插于丝杠8上且外端与升降杆10相连接，升降杆10的下端固定于底座1上且外端连接有交叉式支撑机构11，交叉式支撑机构11的下端连接有两组支架12，靶材提放螺栓3分设有若干组且螺纹固定于支架12上，若干组靶材提放螺栓3的下端螺纹连接有靶材本体13，靶材定位插销4分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构11上。

靶材本体13上有若干螺纹孔27，靶材通过螺栓与机台固定，拆卸靶材时，先将靶材上的螺栓拆除，升降机构2固定于底座1内，底座1四角上设置四个轮子，每个轮子带有刹车，轮子的作用是移动便于移动装置，以电机作为动力带动升降为例，电机固定于底座1上，电机与丝杠8通过皮带7相连，丝杠8与升降杆10通过滑块9相连接，电机正反转，带动升降机构2上升或下降，升降机构2外壳上设置三个按钮，分别为上升，下降，停止，为交错安装的两根横杆22，升降杆10固定在横杆22上，靶材提放螺栓3与支架12通过螺纹连接，靶材提放螺栓3前端通过螺纹与靶材连接，靶材定位插销4前端为锥形，插销与靶材上的定位孔相连，实现定位。

进一步改进地，如图1所示：底座1的外围垂直安装有四组侧板14且内部形成有安装槽15，侧板14上安装有调节按钮16，调节按钮16通过线路与驱动电机6相连接，设置三个调节按钮，分别为上升，下降，停止。

进一步改进地，如图1所示：交叉式支撑机构11由主筒17、提升杆18、支撑板19、交叉杆20和连接块21组成，主筒17的底部固定于底座1上，提升杆18活动穿插于主筒17且外端与滑块9相连接，支撑板19水平安装于提升杆18的顶部，交叉杆20安装有支撑板19的外端且下方与连接块21相连接，连接块21分设有两组且对称安装于支架12的上方。

进一步改进地，如图1所示：交叉杆20由两组横杆22组成，两组横杆22呈交叉状设置且连接的中心位置与支撑板19的外端相连接。

进一步改进地，如图1所示：支架12和连接块21上均开设有若干组定位孔，若干组定位孔包括四组定位孔一23和四组定位孔二24，定位孔一23距离支架12的中心位置为八寸，定位孔二24距离支架12的中心位置为十二寸。

进一步改进地，如图2所示：靶材提放螺栓3包括手动提升手柄25和垂直固定于手动提升手柄25下方的螺杆26，螺杆26螺纹穿插于靶材本体13。

具体地，靶材本体13的外围开设有螺纹孔27，螺杆26的下端螺纹穿插于螺纹孔27内，便于靶材提放螺栓3下端与靶材本体13进行连接安装。

在使用时：

靶材移出方法：

靶材本体13上有若干螺纹孔27，靶材本体13通过螺栓与机台固定，拆卸靶材本体13时，先将固定靶材本体13的螺栓拆除。再将靶材提放螺栓3拧入靶材螺纹孔27中，靶材提放螺栓3可以为2个或多个，最少2个，在靶材本体13边缘对称设置，当靶材提放螺栓3固定好后，提动提升装置，将靶材本体13提升，完全脱离机台，推动溅射靶材安装定位装置，将其移动到旧靶材需要存放的位置，按下降键，将靶材本体13放下。

靶材安装方法：

将溅射靶材安装定位装置移动到新靶材上方，缓慢下降升降装置，将靶材提放螺栓3拧入靶材本体13中，提升靶材本体13，移动装置，将新靶材移动在机台腔体上方，缓慢下降靶材本体13，当靶材本体13离腔体约10mm距离时，将定位插销从靶材定位孔插入腔体定位孔中，定位插销通常为2个，定位插销前端呈锥形，定位孔在靶材上对称设置，待定位插销放置好后，缓慢下降靶材，直到与机台腔体连接面完全贴合，安装靶材紧固螺栓，移出靶材定位插销4，移出靶材提升螺栓，移走溅射靶材安装定位装置。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述溅射靶材安装定位装置包括底座(1)、升降机构(2)、靶材提放螺栓(3)和靶材定位插销(4)，所述底座(1)的拐角处均匀安装有四组滚轮(5)，所述升降机构(2)内置底座(1)的内部且由驱动电机(6)、皮带(7)、丝杠(8)、滑块(9)和升降杆(10)组成，所述驱动电机(6)垂直安装于底座(1)上且动力输出端通过皮带(7)与丝杠(8)相连接，所述丝杠(8)垂直安装于底座(1)内且底端与底座(1)转动连接，所述滑块(9)螺纹穿插于丝杠(8)上且外端与升降杆(10)相连接，所述升降杆(10)的下端固定于底座(1)上且外端连接有交叉式支撑机构(11)，所述交叉式支撑机构(11)的下端连接有两组支架(12)，所述靶材提放螺栓(3)分设有若干组且螺纹固定于支架(12)上，若干组所述靶材提放螺栓(3)的下端螺纹连接有靶材本体(13)，所述靶材定位插销(4)分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构(11)上。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述底座(1)的外围垂直安装有四组侧板(14)且内部形成有安装槽(15)，所述侧板(14)上安装有调节按钮(16)，所述调节按钮(16)通过线路与驱动电机(6)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述交叉式支撑机构(11)由主筒(17)、提升杆(18)、支撑板(19)、交叉杆(20)和连接块(21)组成，所述主筒(17)的底部固定于底座(1)上，所述提升杆(18)活动穿插于主筒(17)且外端与滑块(9)相连接，所述支撑板(19)水平安装于提升杆(18)的顶部，所述交叉杆(20)安装有支撑板(19)的外端且下方与连接块(21)相连接，所述连接块(21)分设有两组且对称安装于支架(12)的上方。

4.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述交叉杆(20)由两组横杆(22)组成，两组所述横杆(22)呈交叉状设置且连接的中心位置与支撑板(19)的外端相连接。

5.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述支架(12)和连接块(21)上均开设有若干组定位孔，若干组所述定位孔包括四组定位孔一(23)和四组定位孔二(24)，所述定位孔一(23)距离支架(12)的中心位置为八寸，所述定位孔二(24)距离支架(12)的中心位置为十二寸。

6.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述靶材提放螺栓(3)包括手动提升手柄(25)和垂直固定于手动提升手柄(25)下方的螺杆(26)，所述螺杆(26)螺纹穿插于靶材本体(13)。

7.根据权利要求6所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述靶材本体(13)的外围开设有螺纹孔(27)，所述螺杆(26)的下端螺纹穿插于螺纹孔(27)内。

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