CN216850778U - 一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体和盖板视窗，盖板视窗安装在供晶圆柜体的一端，且盖板视窗开口朝上，还包括有小型气缸和传动机构，盖板视窗的两侧均通过小型气缸与气缸安装座的上端进行连接，气缸安装座的下端与传动机构进行连接，传动机构位于盖板视窗的两侧，同时传动机构的一端与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，传动机构的另一端与盖板视窗的侧边进行固定连接。本实用新型实现了顶盖视窗自动开关、压紧过程的自动化，无需人工干预操作，大大提高了工作效率，简化了整个操作流程，提高了装置的实用性和使用性，增强了用户的使用体验感，从而能够更好的满足使用者的使用需求。

Description

一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构。

背景技术

供晶圆柜体是将晶圆放入其中后自动送入反应腔的部分，目前在使用时，操作者在放入晶圆时需要松开顶盖视窗的压紧机构然后手动打开顶盖视窗后再放入晶圆，放入晶圆后再手动关上顶盖视窗，并拧紧顶盖视窗压紧机构，然后抽真空传送晶圆，操作复杂，对操作者要求较高，压紧机构的手动拧紧的程度将直接影响下一步柜体抽真空能否完成，如果真空度达不到要求则需要再次拧紧调整顶盖视窗压紧机构，而且由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患。此外，这种打开的方式所占用的空间过大，压缩了机器其他设备的工作空间。

实用新型内容

实用新型目的：针对由于顶盖视窗重量很重，手动打开需要操作者有一定力量并且存在脱手砸伤等安全隐患的问题，本实用新型提出一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构。

技术方案：为实现本实用新型的目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体和盖板视窗，所述盖板视窗安装在供晶圆柜体的一端，且所述盖板视窗开口朝上，其特征在于，还包括有小型气缸和传动机构，所述盖板视窗的两侧均通过小型气缸与气缸安装座的上端进行连接，所述气缸安装座的下端与传动机构进行连接，所述传动机构位于盖板视窗的两侧，同时所述传动机构的一端与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，所述传动机构的另一端与盖板视窗的侧边进行固定连接。

更进一步地讲，所述传动机构包括有无杆气缸、气动滑块和导轨，所述无杆气缸和导轨分别安装在供晶圆柜体的两侧，且所述无杆气缸的一端和导轨的一端均与供晶圆柜体的侧边进行固定连接，所述无杆气缸的另一端和导轨的另一端均与盖板视窗的侧边进行固定连接，同时所述无杆气缸和导轨均通过气动滑块与气缸安装座的下端进行连接。

更进一步地讲，所述无杆气缸和导轨均为水平状态。

更进一步地讲，所述小型气缸设置有四个，所述气缸安装座的上端两侧均通过一个小型气缸与盖板视窗的侧边进行连接。

更进一步地讲，所述气动滑块活动套设在无杆气缸和导轨的外部，同时所述气动滑块的内孔径尺寸不小于无杆气缸的外径尺寸和导轨的外径尺寸。

更进一步地讲，所述无杆气缸和小型气缸上均设置有排气节流阀。

更进一步地讲，还包括有电磁阀开关和控制面板，所述控制面板电性连接电磁阀开关，所述电磁阀开关电性连接无杆气缸和小型气缸。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下有益技术效果：

(1)本实用新型通过无杆气缸、气动滑块和小型气缸三者的配合使用，实现了顶盖视窗自动开关、压紧过程的自动化，同时将翻转打开改变为水平垂直打开，无需人工干预操作，大大提高了工作效率，减少了设备空间的占用，并且减少了人工操作会带来的操作失误及操作不当，简化了整个操作流程，提高了装置的实用性和使用性，增强了用户的使用体验感，从而能够更好的满足使用者的使用需求；

(2)本实用新型取代了传统的顶盖视窗压紧机构，大大降低了手动拧紧压紧机构造成的密封不完全的可能性，能有效提高效率，节省操纵者繁重的开关动作。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的右视图；

图4为本实用新型的左视图；

附图中各标号对应的部件名称：

1、供晶圆柜体；2、无杆气缸；3、小型气缸；4、气动滑块；5、气缸安装座；6、盖板视窗；7、导轨。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

参考图1-图4，本实施例提供了一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，该顶盖视窗气动开合机构包括有供晶圆柜体1、小型气缸3、气缸安装座5、盖板视窗6、传动机构、电磁阀开关和控制面板。

参考图1和图2，由图1和图2可知，盖板视窗6安装在供晶圆柜体1的一端，且盖板视窗6开口朝上。同时盖板视窗6的两侧均通过小型气缸3与气缸安装座5的上端进行连接，在本实施例中，小型气缸3设置有四个，且气缸安装座5的上端两侧均通过一个小型气缸3与盖板视窗6的侧边进行连接。也就是说，在盖板视窗6的同一侧边设置有两个小型气缸3，且每个小型气缸3均与气缸安装座5的上端一侧进行连接。

其中气缸安装座5的下端与传动机构进行连接，同时传动机构位于盖板视窗6的两侧，且传动机构的一端与供晶圆柜体1的侧边进行固定连接，传动机构的另一端与盖板视窗6的侧边进行固定连接。具体地讲，传动机构包括有无杆气缸2、气动滑块4和导轨7，其中无杆气缸2和导轨7分别安装在供晶圆柜体1的两侧，且无杆气缸2和导轨7均为水平状态。参考图3和图4，由图3和图4可知，无杆气缸2的一端和导轨7的一端均与供晶圆柜体1的侧边进行固定连接，同时无杆气缸2的另一端和导轨7的另一端均与盖板视窗6的侧边进行固定连接。值得注意的是，无杆气缸2和导轨7均通过气动滑块4与气缸安装座5的下端进行连接。

具体地讲，气动滑块4的内孔径尺寸不小于无杆气缸2的外径尺寸和导轨7的外径尺寸，这是因为气动滑块4活动套设在无杆气缸2和导轨7的外部，从而能够保证气动滑块4在无杆气缸2和导轨7的外部进行无阻碍滑动。

值得注意的是，无杆气缸2和小型气缸3上均设置有排气节流阀，通过排气节流阀可以调整盖板视窗6的开关速度，进而可以达到更好的使用效果。

在本实施例中，控制面板电性连接电磁阀开关，该电磁阀开关可以用于控制气源的通放量，同时电磁阀开关电性连接无杆气缸2和小型气缸3，即电磁阀开关通过控制气源的通放量，可以改变无杆气缸2和小型气缸3上排气节流阀的排气速度，进而达到控制盖板视窗6开关速度的目的。

本实施例提供的供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构在进行具体使用的过程中，先通过电磁阀开关对无杆气缸2和小型气缸3接入气源，在本实施例中，将无杆气缸2和小型气缸3接入0.6Mpa气源，此时点击控制面板上的“打开”按钮，小型气缸3的气路进行通气，之后小型气缸3将盖板视窗6顶起，同时盖板视窗6一侧的无杆气缸2带动气动滑块4进行移动，盖板视窗6另一侧的气动滑块4和导轨7，会随着无杆气缸2带动气动滑块4移动的同时，同步进行移动。然后无杆气缸2收缩带动气动滑块4向前进行水平移动，即可实现盖板视窗6的打开。

关闭盖板视窗6时，将晶圆通过打开的盖板视窗6的窗口加入供晶圆柜体内部后，此时点击控制面板上的“关闭”按钮，无杆气缸2进行通气，通过气动滑块4在无杆气缸2和导轨7上的移动，将盖板视窗6移动至预设位置处后，将四个小型气缸3进行通过，进而使得盖板视窗6处于关闭并压紧的状态，从而保证供晶圆柜体中处于密封状态，并能够保证下一部供晶圆柜体抽真空时能达到理想真空度。

以上示意性的对本实用新型及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构和方法并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，包括有供晶圆柜体(1)和盖板视窗(6)，所述盖板视窗(6)安装在供晶圆柜体(1)的一端，且所述盖板视窗(6)开口朝上，其特征在于，还包括有小型气缸(3)和传动机构，所述盖板视窗(6)的两侧均通过小型气缸(3)与气缸安装座(5)的上端进行连接，所述气缸安装座(5)的下端与传动机构进行连接，所述传动机构位于盖板视窗(6)的两侧，同时所述传动机构的一端与供晶圆柜体(1)的侧边进行固定连接，所述传动机构的另一端与盖板视窗(6)的侧边进行固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述传动机构包括有无杆气缸(2)、气动滑块(4)和导轨(7)，所述无杆气缸(2)和导轨(7)分别安装在供晶圆柜体(1)的两侧，且所述无杆气缸(2)的一端和导轨(7)的一端均与供晶圆柜体(1)的侧边进行固定连接，所述无杆气缸(2)的另一端和导轨(7)的另一端均与盖板视窗(6)的侧边进行固定连接，同时所述无杆气缸(2)和导轨(7)均通过气动滑块(4)与气缸安装座(5)的下端进行连接。

3.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述无杆气缸(2)和导轨(7)均为水平状态。

4.根据权利要求1所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述小型气缸(3)设置有四个，所述气缸安装座(5)的上端两侧均通过一个小型气缸(3)与盖板视窗(6)的侧边进行连接。

5.根据权利要求2所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述气动滑块(4)活动套设在无杆气缸(2)和导轨(7)的外部，同时所述气动滑块(4)的内孔径尺寸不小于无杆气缸(2)的外径尺寸和导轨(7)的外径尺寸。

6.根据权利要求2或5所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，所述无杆气缸(2)和小型气缸(3)上均设置有排气节流阀。

7.根据权利要求6所述的一种供晶圆柜体中顶盖视窗气动开合机构，其特征在于，还包括有电磁阀开关和控制面板，所述控制面板电性连接电磁阀开关，所述电磁阀开关电性连接无杆气缸(2)和小型气缸(3)。

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