CN216849865U - 一种具有花篮结构的硅片清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有花篮结构的硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域，包括清洗机体，所述清洗机体的外侧壁装配有控制器，所述清洗机体的内部上方设置有清洗腔体，清洗腔体分为清洗区和干燥区，所述清洗机体的外侧壁对应清洗区的位置分别连接有进管和出管，进管位于出管的上方，所述清洗机体的另一外侧壁对应清洗区的位置通过支撑板装配有超声波发生器，所述清洗区的侧壁对称装配有两个换能器，超声波发生器与两个换能器电性连接，所述清洗区内放置有花篮结构；本实用新型设置清洗区和干燥区，并通过驱动结构驱动花篮结构分别移动至清洗区或干燥区以实现硅片的清洗和干燥，无需静置清洗完成的硅片，清洗效率高。

Description

一种具有花篮结构的硅片清洗机

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种具有花篮结构的硅片清洗机。

背景技术

随着大规模集成电路的发展，以及集成度的不断提高，线宽的不断减小，对硅片的质量要求也越来越高，特别是对硅片的表面质量要求越来越严。

为了使制造出的硅片表面洁净，硅片在生产后需要进行清洗，现有硅片清洗机仅具有清洗功能，而不具有干燥功能，为了避免硅片表面的清洗液流至地面，需要将硅片静置一段时间，直至硅片表面无较多残存的清洗液时方可取出，清洗效率差。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种具有花篮结构的硅片清洗机，具有清洗并干燥的功能，加快清洗效率的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有花篮结构的硅片清洗机，包括清洗机体，所述清洗机体的外侧壁装配有控制器，所述清洗机体的内部上方设置有清洗腔体，清洗腔体分为清洗区和干燥区，所述清洗机体的外侧壁对应清洗区的位置分别连接有进管和出管，进管位于出管的上方，所述清洗机体的另一外侧壁对应清洗区的位置通过支撑板装配有超声波发生器，所述清洗区的侧壁对称装配有两个换能器，超声波发生器与两个换能器电性连接，所述清洗区内放置有花篮结构，所述干燥区内装配有风冷干燥结构，所述清洗机体的内部下方设置有驱动腔体，所述驱动腔体的内部装配有驱动结构，驱动结构使花篮结构具有在清洗区和干燥区间移动的功能。

优选的，所述花篮结构包括与驱动结构连接的两个端板，两个所述端板间对称连接有两个侧板，两个端板与两个侧板间形成框架，两个所述侧板相互靠近的侧壁均等间距连接有多个隔板，两个侧板上同位置的所述隔板与彼此相邻位置的所述隔板间形成硅片放置槽。

优选的，所述风冷干燥结构包括连接在清洗机体上的容置壳体，所述容置壳体的外壁装配有电缸，所述干燥区的侧壁设置有辅助支撑槽，所述电缸的输出轴贯穿清洗机体并延伸至辅助支撑槽内连接有移动板，所述移动板上一侧装配有蓄电池，所述移动板上另一侧装配有多个等间距排列的风扇。

优选的，所述驱动结构包括对称转动连接在清洗机体上的两个移动螺杆，两个所述移动螺杆的顶端延伸至干燥区并连接有限位块，两个所述移动螺杆的底端贯穿清洗机体并延伸至驱动腔体内且通过轴承与驱动腔体的底壁连接，两个所述移动螺杆的贯穿段通过轴承与清洗机体的贯穿孔连接，两个端板通过传动螺母与对应位置移动螺杆传动连接，两个所述移动螺杆上且位于驱动腔体内均套接有随动齿轮，所述清洗机体的外壁对应驱动腔体的位置装配有驱动电机，所述驱动腔体的内部转动连接有连接轴，所述连接轴上套接有两个中空蜗杆，两个中空蜗杆与两个随动齿轮啮合连接。

优选的，所述清洗机体的外壁且位于进管和出管的一侧连接有透明观察窗。

优选的，所述辅助支撑槽的内部连接有辅助支撑杆，所述移动板上且对应辅助支撑杆的位置设置有辅助支撑孔，移动板通过辅助支撑孔套接在辅助支撑杆上的方式实现辅助支撑移动。

优选的，所述移动板的顶端连接有导流板，所述导流板为倾斜结构设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型设置清洗区和干燥区，并通过驱动结构驱动花篮结构分别移动至清洗区或干燥区以实现硅片的清洗和干燥，无需静置清洗完成的硅片，清洗效率高。

2、本实用新型通过花篮结构承放待清洗硅片，能够保证硅片的后续清洗效果，同时能够避免相邻硅片间发生接触碰撞导致硅片破损的问题发生。

3、本实用新型驱动结构是通过驱动电机带动连接轴正反转，连接轴带动中空蜗杆正反转，中空蜗杆带动随动齿轮正反转，随动齿轮带动移动螺杆正反转，移动螺杆带动端板上下移动的方式实现驱动的，驱动速度快，驱动较为平稳，保证硅片的清洗和干燥效果。

4、本实用新型干燥通过风冷干燥结构进行的，而风冷干燥结构是通过电缸带动移动板往复移动，移动板带动蓄电池和多个风扇往复移动的方式实现风冷干燥，冷风从下至上进行吹拂，冷却效果更好，同时蓄电池和多个风扇上方设置导流板，对冷风进行导流的同时能够避免硅片上滴落的清洗液滴落至蓄电池和风扇上，延长蓄电池和风扇的使用年限。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的竖剖图；

图3为本实用新型图2中A处的放大图；

图4为本实用新型驱动结构的局部立体图；

图5为本实用新型图2中局部结构的拆分图；

图中：1、清洗机体；2、端板；3、侧板；4、控制器；5、进管；6、出管；7、透明观察窗；8、电缸；9、限位块；10、移动螺杆；11、辅助支撑杆；12、换能器；13、移动板；14、驱动腔体；15、辅助支撑槽；16、清洗腔体；17、超声波发生器；18、随动齿轮；19、容置壳体；20、隔板；21、硅片放置槽；22、连接轴；23、中空蜗杆；24、驱动电机；25、导流板；26、蓄电池；27、风扇。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-5，本实用新型提供以下技术方案：一种具有花篮结构的硅片清洗机，包括清洗机体1，清洗机体1的外侧壁装配有控制器4，清洗机体1的内部上方设置有清洗腔体16，清洗腔体16分为清洗区和干燥区，清洗机体1的外侧壁对应清洗区的位置分别连接有进管5和出管6，进管5位于出管6的上方，进管5和出管6上装配有控制阀门，清洗机体1的另一外侧壁对应清洗区的位置通过支撑板装配有超声波发生器17，清洗区的侧壁对称装配有两个换能器12，超声波发生器17与两个换能器12电性连接，清洗区内放置有花篮结构，干燥区内装配有风冷干燥结构，清洗机体1的内部下方设置有驱动腔体14，驱动腔体14的内部装配有驱动结构，驱动结构使花篮结构具有在清洗区和干燥区间移动的功能。

具体的，花篮结构包括与驱动结构连接的两个端板2，两个端板2间对称连接有两个侧板3，两个端板2与两个侧板3间形成框架，两个侧板3相互靠近的侧壁均等间距连接有多个隔板20，两个侧板3上同位置的隔板20与彼此相邻位置的隔板20间形成硅片放置槽21。

具体的，风冷干燥结构包括连接在清洗机体1上的容置壳体19，容置壳体19的外壁装配有电缸8，干燥区的侧壁设置有辅助支撑槽15，电缸8的输出轴贯穿清洗机体1并延伸至辅助支撑槽15内连接有移动板13，移动板13上一侧装配有蓄电池26，移动板13上另一侧装配有多个等间距排列的风扇27。

具体的，驱动结构包括对称转动连接在清洗机体1上的两个移动螺杆10，两个移动螺杆10的顶端延伸至干燥区并连接有限位块9，两个移动螺杆10的底端贯穿清洗机体1并延伸至驱动腔体14内且通过轴承与驱动腔体14的底壁连接，两个移动螺杆10的贯穿段通过轴承与清洗机体1的贯穿孔连接，两个端板2通过传动螺母与对应位置移动螺杆10传动连接，两个移动螺杆10上且位于驱动腔体14内均套接有随动齿轮18，清洗机体1的外壁对应驱动腔体14的位置装配有驱动电机24，驱动腔体14的内部转动连接有连接轴22，连接轴22的一端通过联轴器与驱动电机24的输出轴连接，连接轴22的另一端通过轴承与驱动腔体14的内壁连接，连接轴22上套接有两个中空蜗杆23，两个中空蜗杆23与两个随动齿轮18啮合连接。

具体的，清洗机体1的外壁且位于进管5和出管6的一侧连接有透明观察窗7。

本实施例的工作原理：

清洗前，将清洗液进液管道与进管5连接，将清洗液出液管道与出管6连接，将待清洗的硅片依次放置于硅片放置槽21内；

清洗时，打开进管5上的控制阀门，清洗液通过清洗液进液管道和进管5进入清洗机体1的清洗腔体16内，进液过程中，工作人员通过透明观察窗7观察清洗腔体16内的清洗液水位，直至清洗液到达适宜水位，关闭进管5上的控制阀门，通过控制器4控制驱动电机24启动，驱动电机24驱动输出轴反向旋转，驱动电机24的输出轴带动连接轴22反向旋转，连接轴22带动连接的两个中空蜗杆23反向旋转，两个中空蜗杆23带动啮合连接的随动齿轮18反向旋转，两个随动齿轮18带动连接的移动螺杆10反向旋转，两个移动螺杆10反向旋转过程中，两个端板2在连接的移动螺杆10上向下移动，两个端板2带动连接的两个侧板3以及放置在硅片放置槽21内的待清洗硅片向下移动，直至花篮结构移动到清洗区的最低位置时，控制器4控制驱动电机24停止驱动，通过控制器4控制超声波发生器17和两个换能器12启动，超声波发生器17和两个换能器12工作，产生超声波脱离硅片上的杂物；

清洗后，通过控制器4控制超声波发生器17和两个换能器12关闭，通过控制器4控制驱动电机24再次启动，驱动电机24驱动输出轴正向转动，与上述移动过程相反，两个端板2带动连接的两个侧板3以及放置在硅片放置槽21内清洗完成的硅片向上移动，直至两个端板2的顶壁接触两个限位块9，控制器4控制驱动电机24关闭，通过控制器4控制电缸8启动，电缸8驱动输出轴延伸和收缩，电缸8的输出轴带动移动板13往复移动，移动板13带动连接的蓄电池26和多个风扇27往复移动，蓄电池26为多个风扇27供电，多个风扇27从底部向上吹风，对清洗完成的硅片进行风冷干燥；

风冷干燥完成，从硅片放置槽21内取出干燥完成的硅片；

硅片取出后，打开出管6上的控制阀门，清洗废液通过出管6和清洗液出液管道排出。

实施例2

本实施例较实施例1的不同之处在于：

具体的，辅助支撑槽15的内部连接有辅助支撑杆11，移动板13上且对应辅助支撑杆11的位置设置有辅助支撑孔，移动板13通过辅助支撑孔套接在辅助支撑杆11上的方式实现辅助支撑移动。

本实施例的工作原理：

移动板13在电缸8的输出轴作用下往复移动时，移动板13同步在辅助支撑杆11上移动，起到导向作用的同时还起到辅助支撑的作用，提高风冷干燥时的移动稳定性。

实施例3

本实施例较实施例2的不同之处在于：

具体的，移动板13的顶端连接有导流板25，导流板25为倾斜结构设置。

本实施例的工作原理：

多个风扇27吹风时，风沿导流板25的走向从倾斜顶端吹出，该种结构不影响风冷干燥的效果，同时可将硅片表面滴落下的清洗液导至清洗区内，避免清洗液滴落在蓄电池26和多个风扇27上对其造成损坏。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种具有花篮结构的硅片清洗机，包括清洗机体(1)，其特征在于：所述清洗机体(1)的外侧壁装配有控制器(4)，所述清洗机体(1)的内部上方设置有清洗腔体(16)，清洗腔体(16)分为清洗区和干燥区，所述清洗机体(1)的外侧壁对应清洗区的位置分别连接有进管(5)和出管(6)，进管(5)位于出管(6)的上方，所述清洗机体(1)的另一外侧壁对应清洗区的位置通过支撑板装配有超声波发生器(17)，所述清洗区的侧壁对称装配有两个换能器(12)，所述清洗区内放置有花篮结构，所述干燥区内装配有风冷干燥结构，所述清洗机体(1)的内部下方设置有驱动腔体(14)，所述驱动腔体(14)的内部装配有驱动结构，驱动结构使花篮结构具有在清洗区和干燥区间移动的功能。

2.根据权利要求1所述的一种具有花篮结构的硅片清洗机，其特征在于：所述花篮结构包括与驱动结构连接的两个端板(2)，两个所述端板(2)间对称连接有两个侧板(3)，两个端板(2)与两个侧板(3)间形成框架，两个所述侧板(3)相互靠近的侧壁均等间距连接有多个隔板(20)，两个侧板(3)上同位置的所述隔板(20)与彼此相邻位置的所述隔板(20)间形成硅片放置槽(21)。

3.根据权利要求1所述的一种具有花篮结构的硅片清洗机，其特征在于：所述风冷干燥结构包括连接在清洗机体(1)上的容置壳体(19)，所述容置壳体(19)的外壁装配有电缸(8)，所述干燥区的侧壁设置有辅助支撑槽(15)，所述电缸(8)的输出轴贯穿清洗机体(1)并延伸至辅助支撑槽(15)内连接有移动板(13)，所述移动板(13)上一侧装配有蓄电池(26)，所述移动板(13)上另一侧装配有多个等间距排列的风扇(27)。

4.根据权利要求2所述的一种具有花篮结构的硅片清洗机，其特征在于：所述驱动结构包括对称转动连接在清洗机体(1)上的两个移动螺杆(10)，两个所述移动螺杆(10)的顶端延伸至干燥区并连接有限位块(9)，两个所述移动螺杆(10)的底端贯穿清洗机体(1)并延伸至驱动腔体(14)内且通过轴承与驱动腔体(14)的底壁连接，两个所述移动螺杆(10)的贯穿段通过轴承与清洗机体(1)的贯穿孔连接，两个端板(2)通过传动螺母与对应位置移动螺杆(10)传动连接，两个所述移动螺杆(10)上且位于驱动腔体(14)内均套接有随动齿轮(18)，所述清洗机体(1)的外壁对应驱动腔体(14)的位置装配有驱动电机(24)，所述驱动腔体(14)的内部转动连接有连接轴(22)，所述连接轴(22)上套接有两个中空蜗杆(23)，两个中空蜗杆(23)与两个随动齿轮(18)啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有花篮结构的硅片清洗机，其特征在于：所述清洗机体(1)的外壁且位于进管(5)和出管(6)的一侧连接有透明观察窗(7)。

6.根据权利要求3所述的一种具有花篮结构的硅片清洗机，其特征在于：所述辅助支撑槽(15)的内部连接有辅助支撑杆(11)，所述移动板(13)上且对应辅助支撑杆(11)的位置设置有辅助支撑孔，移动板(13)通过辅助支撑孔套接在辅助支撑杆(11)上的方式实现辅助支撑移动。

7.根据权利要求3所述的一种具有花篮结构的硅片清洗机，其特征在于：所述移动板(13)的顶端连接有导流板(25)，所述导流板(25)为倾斜结构设置。

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