CN216803473U - 用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘以及匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘及匀胶机。所述真空吸盘包括支撑机构和吸附软膜片，所述支撑机构内设置有多个气流通道，所述吸附软膜片固定设置在所述支撑机构的工作面上，其中，所述吸附软膜片上还设置有多个气孔组，每一气孔组包括沿选定方向间隔设置的多个气孔，每一气孔均沿厚度方向贯穿所述吸附软膜片，且每一气孔组所包含的多个气孔还与一气流通道相连通。本实用新型实施例提供的真空吸盘，采用柔性的吸附软膜片，当进行真空吸附硅透镜晶圆时，吸附软膜片受到挤压而发生形变，进而可以将单颗透镜包裹，解决了因硅透镜陈列表面凹凸不平造成的吸附不良问题。

Description

用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘以及匀胶机

技术领域

本实用新型涉及一种真空吸盘，特别涉及一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘以及匀胶机，属于半导体加工设备技术领域。

背景技术

随着光电技术，电子技术在通信行业的迅速发展，特种器件的用途越来越广，市场越来越大。在其制作方面经常需要对晶片正、反两面进行曝光，这就需要正面工艺完成后对其背面进行匀胶工艺，而现有的匀胶基真空吸盘无法完全吸附住晶圆(单面已制作成硅球透镜阵列)，易造成吸附不良，甚至在旋转过程中飞出，导致晶圆碎裂，且一般的真空吸盘会对硅透镜球面造成划伤。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘以及匀胶机，以克服现有技术中的不足。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，包括：支撑机构和吸附软膜片，所述支撑机构内设置有多个气流通道，所述吸附软膜片固定设置在所述支撑机构的工作面上，其中，所述吸附软膜片上还设置有多个气孔组，每一气孔组包括沿选定方向间隔设置的多个气孔，每一气孔均沿厚度方向贯穿所述吸附软膜片，且每一气孔组所包含的多个气孔还与一气流通道相连通。

本实用新型实施例还提供了一种匀胶机，包括匀胶机主体、抽气机构以及权所述的真空吸盘，所述抽气机构与所述支撑机构内的多个所述气流通道相连通，所述匀胶机主体与所述支撑机构固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点包括：

1)本实用新型实施例提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，支撑机构的中间隔空，便于支撑机构中空腔体传输的气体均匀且充足的传输到吸附软膜片的气孔中，增强了真空吸盘的吸附能力；

2)本实用新型实施例提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，多个气孔组的多个气孔以吸附软膜片的中心为原点呈放射状排开，便于吸附硅透镜晶圆各个部位；

3)本实用新型实施例提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，采用柔性的且可长期保持弹性的吸附软膜片，当进行真空吸附硅透镜晶圆时，吸附软膜片受到挤压而发生形变，进而可以将单颗透镜包裹，解决了因硅透镜陈列表面凹凸不平造成的吸附不良问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一典型实施案例中提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘的截面结构示意图；

图2是本实用新型一典型实施案例中提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘的平面结构示意图。

具体实施方式

鉴于现有技术中的不足，本案发明人经长期研究和大量实践，得以提出本实用新型的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。

本实用新型实施例中所涉及的名词解释：匀胶机，是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。

本实用新型实施例提供了一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，包括：支撑机构和吸附软膜片，所述支撑机构内设置有多个气流通道，所述吸附软膜片固定设置在所述支撑机构的工作面上，其中，所述吸附软膜片上还设置有多个气孔组，每一气孔组包括沿选定方向间隔设置的多个气孔，每一气孔均沿厚度方向贯穿所述吸附软膜片，且每一气孔组所包含的多个气孔还与一气流通道相连通。

在一具体实施方式中，多个气孔组自所述吸附软膜片的中心区域呈放射状分布。

在一具体实施方式中，多个所述气孔组于所述吸附软膜片的周向方向上等角度分布。

在一具体实施方式中，每一气孔组所包含的多个气孔自所述吸附软膜片的中心区域沿指向所述吸附软膜片外周区域的方向依次间隔分布。

在一具体实施方式中，同一气孔组内的多个气孔等间距分布。

在一具体实施方式中，所述气孔的孔径为20-30μm。

在一具体实施方式中，多个所述气流通道自所述支撑机构的中心区域呈放射状分布，且每一所述气流通道与一气孔组相对应。

在一具体实施方式中，所述支撑机构的内部具有一中空腔室，多个所述气流通道均与所述中空腔室相连通，以及，所述支撑机构上还设置有与所述中空腔室相连通的连接口，所述连接口能够与抽气机构连接。

在一具体实施方式中，所述支撑机构包括相对设置的第一面板和第二面板，所述第一面板和第二面板固定连接且在所述第一面板和第二面板之间形成有所述的中空腔室，其中，所述第一面板的表面形成所述的工作面，所述连接口设置在所述第二面板上，以及，所述第二面板上与所述连接口对应的位置处还设置有用于连接匀胶机的限位卡槽，所述限位卡槽对应设置所述第二面板的中心区域。

在一具体实施方式中，所述吸附软膜片为能够在外力压迫作用下产生可恢复形变的柔性膜片。

在一具体实施方式中，所述吸附软膜片包括uv胶膜片或硅胶膜片。

本实用新型实施例还提供了一种匀胶机，包括匀胶机主体、抽气机构以及权所述的真空吸盘，所述抽气机构与所述支撑机构内的多个所述气流通道相连通，所述匀胶机主体与所述支撑机构固定连接。

如下将结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明，需要说明的是，本实用新型实施例主要对该一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘的组成结构和组成结构之间的位置和连接关系等进行解释和说明，构成该用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘组成部件等均可以采用本领域技术人员已知的，其均可以通过市购获得，在此不对其具体的形状、尺寸等进行限定和说明。

实施例1

请参阅图1和图2，一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，包括支撑机构100和吸附软膜片200，所述支撑机构100内设置有多个气流通道110，所述吸附软膜片200固定设置在所述支撑机构100的工作面上，其中，所述吸附软膜片200上还设置有多个气孔组210，每一气孔组210包括沿选定方向间隔设置的多个气孔211，每一气孔211均沿厚度方向贯穿所述吸附软膜片200，且每一气孔组210所包含的多个气孔211还与一气流通道110相连通。

在本实施例中，所述支撑机构100的内部具有一中空腔室120，多个所述气流通道110均与所述中空腔室120相连通，以及，所述支撑机构100上还设置有与所述中空腔室120相连通的连接口130，所述连接口130能够与抽气机构连接，即以所述抽气机构能够在所述中空腔室120内形成负压环境，由于多个所述气流通道110均与所述中空腔室120相连通，最终能够实现通过吸附软膜片200上还设置有多个气孔211而将微型硅透镜等吸附固定在吸附软膜片200上。

在本实施例中，所述抽气机构可以是抽气泵或真空泵等，本领域技术人员可以根据具体需求选择不同功率和型号的抽气泵或真空泵，在此不对其作具体的限定。

在本实施例中，所述中空腔室120内可以设置有多个隔板150，多个隔板将所述中空腔室120内分隔形成多个相互连通的气流通道110，其中，每一气流通道110与两个隔板之间的空间对应并连通，这样，只需通过一个抽气机构便能够实现在较大区域内形成负压进而实现吸附硅透镜的目的；当然，该多个气流通道110可以是相互独立的，且每一或多个气流通道110与一抽气机构连接，从而可以实现工作面不同区域的吸附固定工作。

在本实施例中，所述支撑机构100包括相对设置的第一面板和第二面板，所述第一面板和第二面板固定连接且在所述第一面板和第二面板之间形成有所述的中空腔室120，其中，所述第一面板的表面形成所述的工作面，所述连接口130设置在所述第二面板上，以及，所述第二面板上与所述连接口130对应的位置处还设置有用于连接匀胶机的限位卡槽140，所述限位卡槽140对应设置所述第二面板的中心区域，并至少用于与匀胶机固定连接。

在本实施例中，所述支撑机构100和吸附软膜片200优选为圆形的结构，如下以所述支撑机构100和吸附软膜片200均为圆形结构对其结构进行更详细的说明。

在本实施例中，所述气流通道110可以设置在所述支撑机构100的工作面上并沿厚度方向贯穿所述支撑机构100的工作面。

在本实施例中，多个气孔组210自所述吸附软膜片200的中心区域呈放射状分布，相应地，多个所述气流通道110自所述支撑机构100的中心区域呈放射状分布，且每一所述气流通道110与一气孔组210相对应；可以理解的，所述中心区域为所述吸附软膜片200或气流通道110表面或正投影的几何中心所在的区域，在本实施例中，可以理解为，圆心所在的区域，该中心区域可以是单个点，即圆点，也可以是一个圆形区域，即一圆点为圆心的圆形区域。

可以理解的，所述气孔组210和所述气流通道110的数量和分布间距均是相同的。

在本实施例中，多个所述气孔组210于所述吸附软膜片200的周向方向上等角度分布，多个所述气流通道110于所述支撑机构100的周向方向上等角度分布，且两者于周向方向上分布角度相同，以图2中示出的为例，所述吸附软膜片200的表面设置有16个气孔组210。

在本实施例中，每一气孔组210所包含的多个气孔211自所述吸附软膜片200的中心区域(可以理解为圆心)沿指向所述吸附软膜片200外周区域的方向(可以理解为径向方向)依次间隔分布。

在本实施例中，同一气孔组210内的多个气孔211等间距分布，当然，也可以是不等间距设置，但为了使对硅透镜的吸附作用力更加均匀，优选为等间距分布。

在本实施例中，所述气孔211可以是圆形孔等，所述气孔211的孔径可以为20-30μm。

在本实施例中，所述吸附软膜片200为能够在外力压迫作用下产生可恢复形变的柔性膜片，例如，所述吸附软膜片200可以是uv胶膜片或硅胶膜片等，采用此种材料可防止匀胶过程中因真空吸盘材质较硬导致对硅球透镜球面造成划伤。

在本实施例中，所述吸附软膜片200的厚度可以根据具体需求进行调整，在此不做具体的限定。

需要说明的是，本实用新型实施例中的匀胶机主体可以是本领域技术人员已知的，在此其不对其具体的结构进行限定和说明。

在本实施例中，所述吸附软膜片200可以采用胶粘或者其他本领域技术人员已知的方式固定在支撑机构100的工作面上。

本实用新型实施例提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，结构简单，使用简单，其解决了硅透镜背面匀胶工艺在制作中所遇到到问题。

本实用新型实施例提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，支撑机构的中间隔空，便于支撑机构中空腔体传输的气体均匀且充足的传输到吸附软膜片的气孔中，增强了真空吸盘的吸附能力。

本实用新型实施例提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，多个气孔组的多个气孔以吸附软膜片的中心为原点呈放射状排开，便于吸附硅透镜晶圆各个部位。

本实用新型实施例提供的一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，采用柔性的且可长期保持弹性的吸附软膜片，当进行真空吸附硅透镜晶圆时，吸附软膜片受到挤压而发生形变，进而可以将单颗透镜包裹，解决了因硅透镜陈列表面凹凸不平造成的吸附不良问题。

应当理解，上述实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于吸附微型硅透镜阵列的真空吸盘，其特征在于包括：支撑机构和吸附软膜片，所述支撑机构内设置有多个气流通道，所述吸附软膜片固定设置在所述支撑机构的工作面上，其中，所述吸附软膜片上还设置有多个气孔组，每一气孔组包括沿选定方向间隔设置的多个气孔，每一气孔均沿厚度方向贯穿所述吸附软膜片，且每一气孔组所包含的多个气孔还与一气流通道相连通。

2.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于：多个气孔组自所述吸附软膜片的中心区域呈放射状分布。

3.根据权利要求2所述的真空吸盘，其特征在于：多个所述气孔组于所述吸附软膜片的周向方向上等角度分布。

4.根据权利要求1或2所述的真空吸盘，其特征在于：每一气孔组所包含的多个气孔自所述吸附软膜片的中心区域沿指向所述吸附软膜片外周区域的方向依次间隔分布。

5.根据权利要求4所述的真空吸盘，其特征在于：同一气孔组内的多个气孔等间距分布。

6.根据权利要求4所述的真空吸盘，其特征在于：所述气孔的孔径为20-30μm。

7.根据权利要求2所述的真空吸盘，其特征在于：多个所述气流通道自所述支撑机构的中心区域呈放射状分布，且每一所述气流通道与一气孔组相对应。

8.根据权利要求1或7所述的真空吸盘，其特征在于：所述支撑机构的内部具有一中空腔室，多个所述气流通道均与所述中空腔室相连通，以及，所述支撑机构上还设置有与所述中空腔室相连通的连接口，所述连接口能够与抽气机构连接；

和/或，所述支撑机构包括相对设置的第一面板和第二面板，所述第一面板和第二面板固定连接且在所述第一面板和第二面板之间形成有所述的中空腔室，其中，所述第一面板的表面形成所述的工作面，所述连接口设置在所述第二面板上，以及，所述第二面板上与所述连接口对应的位置处还设置有用于连接匀胶机的限位卡槽，所述限位卡槽对应设置所述第二面板的中心区域。

9.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于：所述吸附软膜片为能够在外力压迫作用下产生可恢复形变的柔性膜片；和/或，所述吸附软膜片包括uv胶膜片或硅胶膜片。

10.一种匀胶机，其特征在于包括匀胶机主体、抽气机构以及权利要求1-9中任一项所述的真空吸盘，所述抽气机构与所述支撑机构内的多个所述气流通道相连通，所述匀胶机主体与所述支撑机构固定连接。

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