CN216749828U - 一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统，加液口盖帽包括固定部、连通部、第一通气孔、第二通气孔、第三通气孔、第四通气孔、第一弹性元件、第二弹性元件、第一密封板和第二密封板；第一通气孔设置在第一内腔的一端，第一内腔的另一端与第二内腔的一端连通；第二通气孔和第三通气孔分别设置在连通部上；第四通气孔设置在第二密封板上；第一弹性部件安装在第一内腔中；第一密封板在第一内腔和第二内腔中可往复移动；第二密封板在第二内腔中可往复移动。当冷却液储液罐体内的挥发性有机物等气体积聚过多时可以排出至污染气体处理装置中，防止污染气体释放到厂房内。

Description

一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统

技术领域

本实用新型涉及刻蚀设备技术领域，特别涉及一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统。

背景技术

随着半导体先进制程的推进，良率问题成为一大挑战，任何细小错误都将导致重新流片，控制影响制品良率的环境因素变得越来越重要，越早发现和消除不良环境因素就等同于减少损失、获取更大利润。不良环境因素主要包括TVOC(Total Volatile OrganicCompounds，总挥发性有机物)，厂内一般会安装多个监测点用于监测TVOC。

参考图1、图2和图9所示，刻蚀机台包括温控装置(chiller，温控装置)，温控装置包括加液口盖帽、加液管2201和冷却液储液罐体22(tank，冷却液储液罐体)，加液口盖帽盖在加液管2201的加液口位置，加液管2201与冷却液储液罐体22连通。加液口盖帽通常通过螺纹与加液管的加液口连接，有些加液口盖帽通过卡箍进行加固。温控装置在运行过程中和开关机过程中，冷却液储液罐体22内的压力处于变化状态，当冷却液储液罐体22内的压力过大时，挥发的冷却液通过加液盖帽等可能会松动的部位释放到厂内环境中，释放的气体包括COF(Compound of Fluoride，含氟物质)类VOC(Volatile Organic Compounds，挥发性有机物)，COF类VOC将严重影响厂房环境，如果TVOC监测数值高过3倍管控标准(一般的管控标准为240ug/m³)将导致全厂停线的事故。16nm工艺以下先进晶圆厂家对COF类VOC的管控标准低于5ug/m³。

实用新型内容

本实用新型提供了一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统，以解决温控装置通过加液口盖帽向厂房内释放挥发性有机物的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种温控装置的加液口盖帽，包括固定部、连通部、第一通气孔、第二通气孔、第三通气孔、第四通气孔、第一弹性元件、第二弹性元件、第一密封板和第二密封板；

所述固定部设置有第一内腔，所述连通部设置有第二内腔，所述第一内腔的横截面的面积小于所述第二内腔的横截面的面积，所述第一内腔的横截面与所述第二内腔的横截面平行，所述第一内腔的横截面与所述第一内腔指向所述第二内腔的方向垂直，所述第一内腔和所述第二内腔之间具有一密封台阶；所述第一通气孔设置在所述第一内腔的一端，所述第一内腔的另一端与所述第二内腔的一端连通；

所述第二通气孔和所述第三通气孔分别设置在所述连通部上，所述第二通气孔和所述第三通气孔分别与所述第二内腔连通；

所述第四通气孔设置在所述第二密封板上，所述第四通气孔用于连通所述第一内腔和所述第二内腔；

所述第一弹性部件安装在所述第一内腔中；所述第一弹性部件的一端靠近所述第一通孔并远离所述密封台阶，所述第一弹性部件的另一端与所述第一密封板连接；所述第一密封板在所述第一内腔和所述第二内腔中可往复移动；

所述第二弹性部件安装在所述第二内腔中；所述第二弹性部件的一端靠近所述第二内腔的另一端并远离所述密封台阶，所述第二弹性部件的另一端与所述第二密封板连接；所述第二密封板在所述第二内腔中可往复移动。

可选的，还包括第一密封圈，所述第一密封圈安装在所述密封台阶上，所述第一密封圈用于密封所述密封台阶和所述第二密封板。

可选的，还包括第二密封圈，所述第二密封圈安装在所述第一密封板上，所述第二密封圈用于密封所述第一密封板和所述第二密封板。

可选的，所述第一内腔和所述第二内腔的形状均为圆柱形，所述第一内腔的轴线和所述第二内腔的轴线重合，所述第一内腔的直径小于所述第二内腔的直径；

所述第一密封板和所述第二密封板的形状均为圆盘形，所述第一密封板的直径小于所述第二密封板的直径并且小于所述第一内腔的直径，所述第二密封板的直径小于所述第二内腔的直径。

可选的，还包括挡板，所述挡板安装在所述第一内腔的内壁上并且靠近所述第一通气孔远离所述密封台阶；所述第一弹性元件的一端固定在所述挡板上。

可选的，还包括圆筒形套筒，所述套筒安装在所述第二内腔中，所述套筒的轴线与所述第二内腔的轴线重合，所述第二密封板在所述套筒内可往复移动。

可选的，所述第二通气孔位于第二内腔的另一端，所述第三通气孔位于所述连通部的侧壁上，所述第三通气孔的延伸方向与所述第二通气孔的延伸方向垂直。

可选的，还包括第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一弹性元件和所述第二弹性元件均为弹簧；所述第一支撑柱的一端固定在所述第一密封板上，所述第一弹性元件套在所述第一支撑柱上；所述第二支撑柱的一端固定在所述第二内腔的另一端上，所述第二弹性元件套在所述第二支撑柱上。

可选的，所述固定部的外壁为圆筒形，所述固定部的外壁设置有用于固定的外螺纹。

本实用新型还提供了一种温控装置的排气系统，包括排气管道、污染气体处理装置、缓冲袋、温控装置和上述任一项所述的一种温控装置的加液口盖帽；

所述温控装置包括加液管，所述固定部与所述加液管的加液口连接；

所述排气管的一端与所述第二通孔连通，另一端与所述污染气体处理装置连通；

所述缓冲袋与所述第三通气孔连通。

本实用新型提供的一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统，加液口盖帽可以固定在温控装置的加液管的加液口，当温控装置正常运行时，冷却液储液罐体内的气压变化不大，所述第一内腔和所述第二内腔之间处于密封隔断状态以防止冷却液挥发，如果冷却液储液罐体内的挥发性有机物等气体积聚过多时可以通过所述第一通气孔、所述第四通气孔和所述第二通气孔排出至污染气体处理装置中，防止冷却液储液罐体内的气体释放到厂房内；当温控装置关机时，温控装置的管路中的冷却液进入冷却液储液罐体，冷却液储液罐体内的气体被挤出，冷却液储液罐体内的气体通过所述第一通气孔、所述第四通气孔和所述第三通气孔进入缓冲袋中缓冲，然后从所述第二通气孔缓慢排入污染气体处理装置内，防止所述加液盖帽因高压冲击导致冷却液储液罐体内的气体释放到厂房内；当温控装置开机时，冷却液储液罐体中的冷却液进入温控装置的管路，污染气体处理装置内的气体通过所述第二通气孔、所述第四通气孔和所述第一通气孔被抽进冷却液储液罐体中，可以避免冷却液储液罐体因为大气压差变形破损。

附图说明

图1是现有技术中的一种温控装置的加液口盖帽的结构示意图。

图2是图1的右视图。

图3是本实用新型一实施例提供的一种温控装置的加液口盖帽的结构示意图。

图4是图3的俯视示意图。

图5本实用新型一实施例提供的一种缓冲袋的结构示意图。

图6是图5的纵向剖视图。

图7是缓冲袋固定在加液口盖帽的连通部之后的示意图。

图8是图7的纵向剖视图。

图9是实用新型一实施例提供的一种温控装置的排气系统的结构示意图。

[附图标记说明如下]：

固定部-1、连通部-2、第一通气孔-3、第二通气孔-4、第三通气孔-5、第四通气孔-6、第一弹性元件-7、第二弹性元件-8、第一密封板-9、第二密封板-10、第一密封圈-11、第二密封圈-12、挡板-13、套筒-14、第一支撑柱-15、第二支撑柱-16、外螺纹-17、橡胶密封垫圈-18、排气管道-19、污染气体处理装置-20、缓冲袋-21、冷却液储液罐体-22、温控装置的管路-23、第三密封圈-24、第四密封圈-25；

第一内腔-101、第二内腔-201、加液管-2201。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

如图3和图4所示，本实施例提供了一种温控装置的加液口盖帽，包括固定部1、连通部2、第一通气孔3、第二通气孔4、第三通气孔5、第四通气孔6、第一弹性元件7、第二弹性元件8、第一密封板9和第二密封板10；所述固定部1设置有第一内腔101，所述连通部2设置有第二内腔201，所述第一内腔101的横截面的面积小于所述第二内腔201的横截面的面积，所述第一内腔101的横截面与所述第二内腔201的横截面平行，所述第一内腔101的横截面与所述第一内腔101指向所述第二内腔201的方向垂直，所述第一内腔101和所述第二内腔201之间具有一密封台阶；所述第一通气孔3设置在所述第一内腔101的一端，所述第一内腔101的另一端与所述第二内腔201的一端连通；所述第二通气孔4和所述第三通气孔5分别设置在所述连通部2上，所述第二通气孔4和所述第三通气孔5分别与所述第二内腔201连通；所述第四通气孔6设置在所述第二密封板10上，所述第四通气孔6用于连通所述第一内腔101和所述第二内腔201；所述第一弹性部件安装在所述第一内腔101中；所述第一弹性部件的一端靠近所述第一通孔并远离所述密封台阶，所述第一弹性部件的另一端与所述第一密封板9连接；所述第一密封板9在所述第一内腔101和所述第二内腔201中可往复移动；所述第二弹性部件安装在所述第二内腔201中；所述第二弹性部件的一端靠近所述第二内腔201的另一端并远离所述密封台阶，所述第二弹性部件的另一端与所述第二密封板10连接；所述第二密封板10在所述第二内腔201中可往复移动。

其中，所述加液口盖帽也可以称为通气帽。如图3～图9所示，所述加液口盖帽在使用时，所述加液口盖帽的固定部1与温控装置的加液管2201的加液口连接；排气管的一端与所述第二通孔连通，另一端与污染气体处理装置20(污染气体处理装置20可以是厂务排气真空处理装置)连通；缓冲袋21与所述第三通气孔5连通。图9中的ESC(electrostaticchuck，静电吸盘)表示静电吸盘。

本实施例提供的一种温控装置的加液口盖帽，可以固定在温控装置的加液管2201的加液口，当温控装置正常运行时，冷却液储液罐体22内的气压变化不大，所述第一内腔101和所述第二内腔201之间处于密封隔断状态以防止冷却液挥发，如果冷却液储液罐体22内的挥发性有机物等气体积聚过多时可以通过所述第一通气孔3、所述第四通气孔6和所述第二通气孔4排出至污染气体处理装置20中，防止冷却液储液罐体22内的气体释放到厂房内；当温控装置关机时，温控装置的管路23中的冷却液进入冷却液储液罐体22，冷却液储液罐体22内的气体被挤出，冷却液储液罐体22内的气体通过所述第一通气孔3、所述第四通气孔6和所述第三通气孔5进入缓冲袋21中缓冲，然后从所述第二通气孔4缓慢排入污染气体处理装置20内，防止所述加液盖帽因高压冲击导致冷却液储液罐体22内的气体释放到厂房内；当温控装置开机时，冷却液储液罐体22中的冷却液进入温控装置的管路23，污染气体处理装置20内的气体通过所述第二通气孔4、所述第四通气孔6和所述第一通气孔3被抽进冷却液储液罐体22中，可以避免冷却液储液罐体22因为大气压差变形破损。

可选的，如图3和图9所示，所述加液口盖帽还包括第一密封圈11，所述第一密封圈11安装在所述密封台阶上，所述第一密封圈11用于密封所述密封台阶和所述第二密封板10。设置所述第一密封圈11可以提高所述密封台阶和所述第二密封板10之间的密封效果，在冷却液储液罐体22的内外压差较小时，使所述第一内腔101和所述第二内腔201之间密封隔断。

可选的，如图3和图9所示，所述加液口盖帽还包括第二密封圈12，所述第二密封圈12安装在所述第一密封板9上，所述第二密封圈12用于密封所述第一密封板9和所述第二密封板10。设置所述第二密封圈12可以提高所述第一密封板9和所述第二密封板10之间的密封效果，在冷却液储液罐体22的内外压差较小时，使所述第一内腔101和所述第二内腔201之间密封隔断。

可选的，如图3所示，所述第一内腔101和所述第二内腔201的形状均为圆柱形，所述第一内腔101的轴线和所述第二内腔201的轴线重合，所述第一内腔101的直径小于所述第二内腔201的直径；所述第一密封板9和所述第二密封板10的形状均为圆盘形，所述第一密封板9的直径小于所述第二密封板10的直径并且小于所述第一内腔101的直径，所述第二密封板10的直径小于所述第二内腔201的直径。这样方便制作所述加液口盖帽。所述第一密封板9的直径可以略小于所述第一内腔101的直径。

可选的，如图3所示，所述加液口盖帽还包括挡板13，所述挡板13安装在所述第一内腔101的内壁上并且靠近所述第一通气孔3远离所述密封台阶；所述第一弹性元件7的一端固定在所述挡板13上。所述挡板13的另一端可以与所述第一通气孔3的端面齐平，所述挡板13的形状可以是圆环形。设置所述挡板13可以方便固定所述第一弹性元件7。

可选的，如图3所示，所述加液口盖帽还包括圆筒形套筒14，所述套筒14安装在所述第二内腔201中，所述套筒14的轴线与所述第二内腔201的轴线重合，所述第二密封板10在所述套筒14内可往复移动。设置所述套筒14可以对所述第二密封板10的行程进行导向和控制。

可选的，如图3所示，所述第二通气孔4位于第二内腔201的另一端，所述第三通气孔5位于所述连通部2的侧壁上，所述第三通气孔5的延伸方向与所述第二通气孔4的延伸方向垂直。这样可以使所述第二通气孔4和所述第三通气孔5之间的间距较大，方便连接缓冲袋21和排气管道19。在其它实施例中，所述第二通气孔4和所述第三通气孔5的位置可以在所述连通部2的其它位置，例如，所述第二通气孔4和所述第三通气孔5同时在所述第二腔室的另一端。

可选的，如图3所示，所述加液口盖帽还包括第一支撑柱15和第二支撑柱16，所述第一弹性元件7和所述第二弹性元件8均为弹簧；所述第一支撑柱15的一端固定在所述第一密封板9上，所述第一弹性元件7套在所述第一支撑柱15上；所述第二支撑柱16的一端固定在所述第二内腔201的另一端上，所述第二弹性元件8套在所述第二支撑柱16上。所述第一支撑柱15和所述第二支撑柱16的个数可以是一个或两个以上。设置所述第一支撑柱15和所述第二支撑柱16可以防止所述第一弹性元件7和所述第二弹性元件8歪斜。

可选的，如图3和图9所示，所述固定部1的外壁为圆筒形，所述固定部1的外壁设置有用于固定的外螺纹17。通过所述固定部1的外壁的外螺纹17方便将所述加液口盖帽固定在加液管2201的加液口上。在其它实施例中，所述固定部1也可以通过卡箍等方式与加液管2201的加液口连接。

如图3～图9所示，基于与上述一种温控装置的加液口盖帽相同的技术构思，本实施例还提供了一种温控装置的排气系统，包括排气管道19、污染气体处理装置20、缓冲袋21、温控装置和上述任一项所述的一种温控装置的加液口盖帽；所述温控装置包括加液管2201，所述固定部1与所述加液管2201的加液口连接；所述排气管的一端与所述第二通孔连通，另一端与所述污染气体处理装置20连通；所述缓冲袋21与所述第三通气孔5连通。其中，所述缓冲袋21可以是橡胶缓冲袋。所述缓冲可以通过第三密封圈24和第四密封圈25与所述连通部2固定，并且与所述第三通气孔5连通。所述第三通气孔5所在的圆周可以设置两个用于容纳第三密封圈24和第四密封圈25的凹槽。所述固定部1与所述加液管2201的加液口之间可以通过橡胶密封垫圈18进行密封。

综上所述，本实用新型提供的一种温控装置的加液口盖帽及温控装置的排气系统，加液口盖帽可以固定在温控装置的加液管2201的加液口，当温控装置正常运行时，冷却液储液罐体22内的气压变化不大，所述第一内腔101和所述第二内腔201之间处于密封隔断状态以防止冷却液挥发，如果冷却液储液罐体22内的挥发性有机物等气体积聚过多时可以通过所述第一通气孔3、所述第四通气孔6和所述第二通气孔4排出至污染气体处理装置20中，防止冷却液储液罐体22内的气体释放到厂房内；当温控装置关机时，温控装置的管路23中的冷却液进入冷却液储液罐体22，冷却液储液罐体22内的气体被挤出，冷却液储液罐体22内的气体通过所述第一通气孔3、所述第四通气孔6和所述第三通气孔5进入缓冲袋21中缓冲，然后从所述第二通气孔4缓慢排入污染气体处理装置20内，防止所述加液盖帽因高压冲击导致冷却液储液罐体22内的气体释放到厂房内；当温控装置开机时，冷却液储液罐体22中的冷却液进入温控装置的管路23，污染气体处理装置20内的气体通过所述第二通气孔4、所述第四通气孔6和所述第一通气孔3被抽进冷却液储液罐体22中，可以避免冷却液储液罐体22因为大气压差变形破损。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，包括固定部、连通部、第一通气孔、第二通气孔、第三通气孔、第四通气孔、第一弹性元件、第二弹性元件、第一密封板和第二密封板；

所述固定部设置有第一内腔，所述连通部设置有第二内腔，所述第一内腔的横截面的面积小于所述第二内腔的横截面的面积，所述第一内腔的横截面与所述第二内腔的横截面平行，所述第一内腔的横截面与所述第一内腔指向所述第二内腔的方向垂直，所述第一内腔和所述第二内腔之间具有一密封台阶；所述第一通气孔设置在所述第一内腔的一端，所述第一内腔的另一端与所述第二内腔的一端连通；

所述第二通气孔和所述第三通气孔分别设置在所述连通部上，所述第二通气孔和所述第三通气孔分别与所述第二内腔连通；

所述第四通气孔设置在所述第二密封板上，所述第四通气孔用于连通所述第一内腔和所述第二内腔；

所述第一弹性部件安装在所述第一内腔中；所述第一弹性部件的一端靠近所述第一通气孔并远离所述密封台阶，所述第一弹性部件的另一端与所述第一密封板连接；所述第一密封板在所述第一内腔和所述第二内腔中可往复移动；

所述第二弹性部件安装在所述第二内腔中；所述第二弹性部件的一端靠近所述第二内腔的另一端并远离所述密封台阶，所述第二弹性部件的另一端与所述第二密封板连接；所述第二密封板在所述第二内腔中可往复移动。

2.如权利要求1所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，还包括第一密封圈，所述第一密封圈安装在所述密封台阶上，所述第一密封圈用于密封所述密封台阶和所述第二密封板。

3.如权利要求2所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，还包括第二密封圈，所述第二密封圈安装在所述第一密封板上，所述第二密封圈用于密封所述第一密封板和所述第二密封板。

4.如权利要求1所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，所述第一内腔和所述第二内腔的形状均为圆柱形，所述第一内腔的轴线和所述第二内腔的轴线重合，所述第一内腔的直径小于所述第二内腔的直径；

所述第一密封板和所述第二密封板的形状均为圆盘形，所述第一密封板的直径小于所述第二密封板的直径并且小于所述第一内腔的直径，所述第二密封板的直径小于所述第二内腔的直径。

5.如权利要求4所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，还包括挡板，所述挡板安装在所述第一内腔的内壁上并且靠近所述第一通气孔远离所述密封台阶；所述第一弹性元件的一端固定在所述挡板上。

6.如权利要求4所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，还包括圆筒形套筒，所述套筒安装在所述第二内腔中，所述套筒的轴线与所述第二内腔的轴线重合，所述第二密封板在所述套筒内可往复移动。

7.如权利要求6所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，所述第二通气孔位于第二内腔的另一端，所述第三通气孔位于所述连通部的侧壁上，所述第三通气孔的延伸方向与所述第二通气孔的延伸方向垂直。

8.如权利要求1所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，还包括第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一弹性元件和所述第二弹性元件均为弹簧；所述第一支撑柱的一端固定在所述第一密封板上，所述第一弹性元件套在所述第一支撑柱上；所述第二支撑柱的一端固定在所述第二内腔的另一端上，所述第二弹性元件套在所述第二支撑柱上。

9.如权利要求1所述的一种温控装置的加液口盖帽，其特征在于，所述固定部的外壁为圆筒形，所述固定部的外壁设置有用于固定的外螺纹。

10.一种温控装置的排气系统，其特征在于，包括排气管道、污染气体处理装置、缓冲袋、温控装置和权利要求1～9任一项所述的一种温控装置的加液口盖帽；

所述温控装置包括加液管，所述固定部与所述加液管的加液口连接；

所述排气管的一端与所述第二通气孔连通，另一端与所述污染气体处理装置连通；

所述缓冲袋与所述第三通气孔连通。

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