CN216738528U - 一种新型石墨舟 - Google Patents
一种新型石墨舟 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216738528U CN216738528U CN202121136719.XU CN202121136719U CN216738528U CN 216738528 U CN216738528 U CN 216738528U CN 202121136719 U CN202121136719 U CN 202121136719U CN 216738528 U CN216738528 U CN 216738528U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- graphite boat
- graphite
- hollow
- piece body
- silicon wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了属于太阳能电池技术领域的一种新型石墨舟，包括石墨舟片本体，石墨舟片本体上设有镂空槽，镂空槽设有若干个，若干个镂空槽间隔排列在石墨舟片本体上，石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘设有若干个小孔，且石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘还设有若干石墨卡点。本实用新型在石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘设有若干个小孔，若干小孔均与负压系统通过连接管连接，通过若干小孔进行抽真空，将硅片吸附在石墨舟片本体表面，直至与石墨舟片本体完全贴合，杜绝工艺过程中的绕度。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种新型石墨舟。
背景技术
随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中，镀膜工艺是生产流程中的重要环节。PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上。
目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。镀膜结束后，从真空镀膜设备的腔体中取出石墨舟，将镀膜的硅片从石墨舟上拆卸下来，完成对硅片的镀膜。
专利申请号为：202020689813.7公开了一种镂空石墨舟舟片，包括石墨舟片本体，其特征在于，所述石墨舟片本体上开设有镂空部，所述镂空部为正方形，尺寸为150mm*150mm，所述镂空部上边缘与所述石墨舟片本体上边缘之间的夹角为5°；在所述镂空部边缘设置有卡点，用于固定硅片，使硅片四边与所述镂空部的四边平行。使用本发明石墨舟舟片可以大幅度减少镀膜过程中因石墨舟载具而造成的各种不良，提高硅片良品率，同时扩大石墨舟片镂空部面积，可以大幅度缩减半成品电池与石墨舟片的接触面积，降低石墨舟整体重量，具有广阔的应用前景。
上述公开专利在使用过程中依然会存在一些问题，例如，硅片脱离机械手吸盘，放在卡点上的时候靠硅片自重停留在石墨卡点上，硅片会翘曲，不能完全和石墨舟片贴合。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种新型石墨舟，具有的特点。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型石墨舟，包括石墨舟片本体，石墨舟片本体上设有镂空槽，镂空槽设有若干个，若干个镂空槽间隔排列在石墨舟片本体上，石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘设有若干个小孔，且石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘还设有若干石墨卡点。
为了使硅片吸附在石墨舟片本体表面，直至与石墨舟片本体完全贴合，杜绝工艺过程中的绕度，进一步地，若干小孔均与负压系统通过连接管连接。
为了减小硅片与石墨舟片本体的接触面积，有效减少因硅片与石墨舟片本体接触过程中产生的污染问题，进一步地，镂空槽为正方形结构，镂空槽的尺寸为150mm*150mm。
为了有效防止硅片在石墨舟片本体中掉落，进一步地，镂空槽上边缘与石墨舟片本体上边缘之间的夹角α为5°。
为了有效减低生产过程中硅片的擦伤，进一步地，镂空槽拐角处为45°倒角。
为了降低使用成本，进一步地，石墨卡点为半圆形结构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型在石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘设有若干个小孔，若干小孔均与负压系统通过连接管连接，通过若干小孔进行抽真空，将硅片吸附在石墨舟片本体表面，直至与石墨舟片本体完全贴合，杜绝工艺过程中的绕度；
2、本实用新型通过石墨卡点对硅片进行限位，长时间使用后会导致石墨卡点磨损严重，从而需要对石墨卡点进行更换，将石墨卡点设置成半圆形结构可以大大的降低成本。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型硅片装入后的结构示意图。
图中：1、石墨舟片本体；2、镂空槽；3、小孔；4、石墨卡点；5、硅片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
请参阅图1，本实用新型提供以下技术方案：一种新型石墨舟，包括石墨舟片本体1，石墨舟片本体1上设有镂空槽2，镂空槽2设有若干个，若干个镂空槽2间隔排列在石墨舟片本体1上，石墨舟片本体1上位于镂空槽2的边缘设有若干个小孔3，且石墨舟片本体1上位于镂空槽2的边缘还设有三个石墨卡点4，其中，镂空槽2一个角的两侧边上分别设有一个石墨卡点4，另一个石墨卡点4位于镂空槽2另一个对角的侧边上，石墨卡点4用于固定硅片，使硅片四边与镂空槽2的四边平行。
具体的，若干小孔3均与负压系统通过连接管连接，本实施例中负压系统为真空泵。
通过采用上述技术方案，通过若干小孔3进行抽真空，将硅片5吸附在石墨舟片本体1表面，直至与石墨舟片本体1完全贴合，杜绝工艺过程中的绕度。
具体的，镂空槽2拐角处为45°倒角。
通过采用上述技术方案，可有效减低生产过程中硅片5的擦伤。
实施例2
本实施例与实施例1不同之处在于：具体的，镂空槽2为正方形结构，镂空槽2的尺寸为150mm*150mm。
通过采用上述技术方案，减小硅片5与石墨舟片本体1的接触面积，有效减少因硅片5与石墨舟片本体1接触过程中产生的污染问题。
实施例3
本实施例与实施例1不同之处在于：具体的，镂空槽2上边缘与石墨舟片本体1上边缘之间的夹角α为5°。
通过采用上述技术方案，可有效防止硅片5在石墨舟片本体1中掉落。
实施例4
本实施例与实施例1不同之处在于：具体的，石墨卡点4为半圆形结构，石墨卡点4的圆弧边与硅片5接触。
通过采用上述技术方案，通过石墨卡点4对硅片5进行限位，长时间使用后会导致石墨卡点4磨损严重，从而需要对石墨卡点4进行更换，将石墨卡点4设置成半圆形结构可以大大的降低成本。
综上所述，本实用新型在石墨舟片本体1上位于镂空槽2的边缘设有若干个小孔3，若干小孔3均与负压系统通过连接管连接，通过若干小孔3进行抽真空，将硅片5吸附在石墨舟片本体1表面，直至与石墨舟片本体1完全贴合，杜绝工艺过程中的绕度。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种新型石墨舟，包括石墨舟片本体，其特征在于：石墨舟片本体上设有镂空槽，石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘设有若干个小孔，且石墨舟片本体上位于镂空槽的边缘还设有若干石墨卡点；
若干小孔均与负压系统通过连接管连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟，其特征在于：镂空槽为正方形结构。
3.根据权利要求2所述的一种新型石墨舟，其特征在于：镂空槽的尺寸为150mm×150mm。
4.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟，其特征在于：镂空槽上边缘与石墨舟片本体上边缘之间的夹角α为5°。
5.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟，其特征在于：镂空槽拐角处为45°倒角。
6.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟，其特征在于：镂空槽设有若干个。
7.根据权利要求6所述的一种新型石墨舟，其特征在于：若干个镂空槽间隔排列在石墨舟片本体上。
8.根据权利要求1所述的一种新型石墨舟，其特征在于：石墨卡点为半圆形结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121136719.XU CN216738528U (zh) | 2021-05-25 | 2021-05-25 | 一种新型石墨舟 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121136719.XU CN216738528U (zh) | 2021-05-25 | 2021-05-25 | 一种新型石墨舟 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216738528U true CN216738528U (zh) | 2022-06-14 |
Family
ID=81908634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121136719.XU Active CN216738528U (zh) | 2021-05-25 | 2021-05-25 | 一种新型石墨舟 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216738528U (zh) |
-
2021
- 2021-05-25 CN CN202121136719.XU patent/CN216738528U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102595759B (zh) | 微波等离子体激发装置 | |
| CN201012941Y (zh) | 硅片生产中使用的石墨舟 | |
| CN216738528U (zh) | 一种新型石墨舟 | |
| CN201374344Y (zh) | 一种新型真空吸笔 | |
| KR101669082B1 (ko) | 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이 | |
| JP2003094370A (ja) | 真空吸着パッド及びそれを用いた真空吸着装置 | |
| CN101008081B (zh) | 硅片生产中使用的石墨舟 | |
| CN106191817B (zh) | 太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟 | |
| CN212084966U (zh) | 一种镂空石墨舟舟片 | |
| CN206052149U (zh) | 太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟 | |
| CN215896337U (zh) | 一种带有蒸发孔的石墨舟 | |
| CN214004779U (zh) | 一种防止pecvd镀膜边缘发红的石墨框装置 | |
| CN212610290U (zh) | 一种用于自动化产线的背板玻璃 | |
| US20130026690A1 (en) | Wet-etching jig | |
| CN209963035U (zh) | 一种硅片承载盘及硅片承载装置 | |
| JP2004087981A (ja) | エッチング装置およびエッチング方法 | |
| US20180161808A1 (en) | Film-forming method | |
| CN208521910U (zh) | 用于石墨舟硅片取放的吸盘组件 | |
| CN217077784U (zh) | 镀膜载板以及镀膜设备 | |
| CN111627791B (zh) | 一种基片预清洗腔室 | |
| CN217499400U (zh) | 一种镀膜载具 | |
| CN212010929U (zh) | 一种用于晶圆镀膜的固定装置 | |
| CN205508852U (zh) | 一种用于制备太阳能电池硅片纳微绒面的载板 | |
| CN215452868U (zh) | 一种用于异质结太阳能电池的载板 | |
| CN219144138U (zh) | 光伏电池成膜设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |