CN216731603U - 拆装工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种拆装工具，包括第一C型卡槽、第二C型卡槽和紧固件，其中，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的开口方向相对并限定出一用于容纳所述夹持脚的容置区域，所述第一C型卡槽上设有至少两个第一连接件，所述第二C型卡槽上设有至少两个第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件一一对应，所述紧固件穿过相对应的所述第一连接件和所述第二连接件，旋转所述紧固件以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相向运动或相背运动，以使所述夹持脚形变以实现所述卡扣的拆装。本实用新型实现了便捷拆卸和安装卡扣，减少卡扣损坏的风险。

Description

拆装工具

技术领域

本实用新型涉及半导体设备维护技术领域，尤其涉及一种拆装工具。

背景技术

在芯片制备工艺中常常会使用到蚀刻机台，利用蚀刻机台对晶圆进行刻蚀从而形成芯片。在蚀刻机台的日常维护中，需要拆装蚀刻机台上的三脚卡扣，由于三脚卡扣与蚀刻机台的接触较为紧密，在拆卸时一般直接采用手按压三脚卡扣的三个夹持脚将三脚卡扣取出，但是用手按压夹持脚的力度难以把控，力度调小难以将三脚卡扣取出，力度太大容易导致夹持脚断裂，从而损坏三脚卡扣。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种拆装工具，实现便捷拆卸和安装卡扣，减少卡扣损坏的风险。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种拆装工具，用于拆卸或安装蚀刻机台上的卡扣，所述卡扣具有若干夹持脚，包括第一C型卡槽、第二C型卡槽和紧固件，其中，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的开口方向相对并限定出一用于容纳所述夹持脚的容置区域，所述第一C型卡槽上设有至少两个第一连接件，所述第二C型卡槽上设有至少两个第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件一一对应，所述紧固件穿过相对应的所述第一连接件和所述第二连接件，旋转所述紧固件以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相向运动或相背运动，以使所述夹持脚形变以实现所述卡扣的拆装。

可选的，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的形状均为半圆形。

可选的，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的材质均包括树脂。

可选的，所述第一连接件和所述第二连接件均具有一通孔，所述紧固件穿过所述第一连接件和所述第二连接件的通孔。

可选的，所述紧固件包括螺栓和螺母，所述螺栓穿过所述第一连接件和所述第二连接件的通孔，所述螺母与所述螺栓螺纹连接。

可选的，所述螺母的形状包括蝶形。

可选的，所述螺母和所述螺栓的材质均包括不锈钢。

可选的，所述第一连接件和所述第二连接件的材质均包括树脂。

可选的，所述第一C型卡槽、所述第二C型卡槽、所述第一连接件和所述第二连接件为一体结构。

可选的，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽合并构成一圆环结构，所述圆环结构的径向宽度小于任意两个所述夹持脚之间的间距。

在本实用新型提供的拆装工具中，包括第一C型卡槽、第二C型卡槽和紧固件，其中所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的开口方向相对并限定出一用于容纳所述夹持脚的容置区域，所述第一C型卡槽上设有至少两个第一连接件，所述第二C型卡槽上设有至少两个第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件一一对应，所述紧固件穿过相对应的所述第一连接件和所述第二连接件，旋转所述紧固件以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相向运动或相背运动，以使所述夹持脚形变以实现所述卡扣的拆装；本实用新型提供的拆装工具避免用手直接按压所述夹持脚，按压力度不好控制导致的所述卡扣损坏，实现便捷拆卸和安装卡扣，减少卡扣损坏的风险。

附图说明

本领域的普通技术人员应当理解，提供的附图用于更好地理解本实用新型，而不对本实用新型的范围构成任何限定。

图1A～1C为本实用新型一实施例提供的拆装工具的结构示意图；

图2A～2C为本实用新型一实施例提供的拆装工具中第一C型卡槽的结构示意图；

图3A～3C为本实用新型一实施例提供的拆装工具中第二C型卡槽的结构示意图；

图4A～4C为本实用新型一实施例提供的拆装工具的拆卸使用图；

图5A～5C为本实用新型一实施例提供的拆装工具的安装使用图。

其中，附图标记为：

11-第一C型卡槽；12-第二C型卡槽；21-第一连接件；22-第二连接件；31-螺栓；32-螺母；30-紧固件；40-卡扣；41-夹持脚；100-蚀刻机台。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

如在本实用新型中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本实用新型中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1A～1C为本实施例提供的拆装工具的结构示意图，其中，图1A为本实施例提供的拆装工具的主视图，图1B为本实施例提供的拆装工具的俯视图，图1C为本实施例提供的拆装工具的左视图。请参考图1A～1C，本实施例提供了一种拆装工具，用于拆卸或安装蚀刻机台上的卡扣，所述卡扣具有若干夹持脚，例如所述蚀刻机台上的卡扣一般具有三个所述夹持脚，所述夹持脚卡在所述蚀刻机台上。所述拆装工具包括：第一C型卡槽11、第二C型卡槽12和紧固件，在本实施例中，所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12的的开口方向相对并限定出一用于容纳所述夹持脚的容置区域，所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12的形状均为半圆形，所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12合并在一起构成一圆环结构，所述圆环结构的内径沿其轴向逐渐变化，从图1B中看所述圆环结构的底部内径小于所述圆环结构的顶部内径。

图2A～2C为本实施例提供的拆装工具中第一C型卡槽的结构示意图，图3A～3C为本实施例提供的拆装工具中第二C型卡槽的结构示意图，其中，图2A为本实施例提供的拆装工具中第一C型卡槽的主视图，图2B为本实施例提供的拆装工具中第一C型卡槽的俯视图，图2C为本实施例提供的拆装工具中第一C型卡槽的左视图，图3A为本实施例提供的拆装工具中第二C型卡槽的主视图，图3B为本实施例提供的拆装工具中第二C型卡槽的俯视图，图3C为本实施例提供的拆装工具中第二C型卡槽的左视图。请参考图图2A～2C，在本实施例中，所述第一C型卡槽11的内径沿其轴线A1A2逐渐增加，从图2A中看所述第一C型卡槽11的底部内径小于所述第一C型卡槽11的顶部内径；所述第一C型卡槽11上设有至少两个第一连接件21，在本实施例中的图中示意了两个所述第一连接件21，两个所述第一连接件21分别位于所述第一C型卡槽11相对的边缘。

请参考图图3A～3C，在本实施例中，所述第二C型卡槽12的内径沿其轴线B1B2逐渐增加，从图3A中看所述第二C型卡槽12的底部内径小于所述第二C型卡槽12的顶部内径；所述第二C型卡槽12上设有至少两个第二连接件22，在本实施例中的图中示意了两个所述第二连接件22，两个所述第二连接件22分别位于所述第二C型卡槽12相对的边缘。当所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12的开口方向相对时，所述第一连接件21和所述第二连接件22一一对应。在本实施例中，所述第一连接件21和所述第二连接件22均具有一通孔，所述紧固件穿过所述第一连接件21的通孔和所述第二连接件22的通孔。

进一步地，当所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12合并构成一圆环结构时，所述圆环结构的径向宽度小于任意两个所述夹持脚之间的间距，一般所述圆环结构的径向宽度小于距离最远的两个所述夹持脚之间的间距，但不限于此。

在本实施例中，所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12的材质均包括树脂，所述第一连接件21和所述第二连接件22的材质均包括树脂，所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12的材质与所述第一连接件21和所述第二连接件22的材质相同或不同，所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12的材质和所述第一连接件21和所述第二连接件22的材质不限于此，应选用具有一定形变能力的材质。在本实施例中，所述第一C型卡槽11、所述第二C型卡槽12、所述第一连接件21和所述第二连接件22优选为一体结构，即采用一体注塑成型制成，但不限于此。

请继续参考图1A～1C，在本实施例中，所述紧固件包括螺栓31和螺母32，所述螺栓31穿过所述第一连接件21和所述第二连接件22的通孔，所述螺母32与所述螺栓31螺纹连接，在使用所述拆装工具时，所述夹持脚位于所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12之间的容置区域内，旋转所述紧固件以使所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12相向运动或相背运动，所述夹持脚受到所述第一C型卡槽11和所述第二C型卡槽12的压力产生形变以实现所述卡扣的拆卸或安装。在本实施例中，所述螺母32的形状优选为蝶形，便于人手旋转操作；以及，所述螺母32和所述螺栓31的材质均包括不锈钢，但不限于此形状和材质。

图4A～4C为本实用新型一实施例提供的拆装工具的拆卸使用图。请参考图4A，所述卡扣40的夹持脚41的一端具有凸出，所述蚀刻机台100上具有与所述凸出匹配的凹槽，所述卡扣40卡在所述蚀刻机台100上时，所述凸出位于所述凹槽内，将所述卡扣40的夹持脚41放置于所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽之间的容置区域内；请参考图4B，旋转所述紧固件30以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相向运动，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽施加压力于所述夹持脚41上，所述夹持脚41受压产生形变，所述凸出远离所述凹槽；请参考图4C，将产生形变后的所述卡扣40从所述蚀刻机台100上取下以完成所述卡扣40的拆卸。

图5A～5C为本实用新型一实施例提供的拆装工具的安装使用图。请参考图5A，将所述卡扣40的夹持脚41放置于所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽之间的容置区域内，旋转所述紧固件30以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相向运动，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽施加压力于所述夹持脚41上，所述夹持脚41受压产生形变；请参考图5B，将产生形变后的所述卡扣40放置于所述蚀刻机台100上，旋转所述紧固件30以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相背运动，所述夹持脚41此时不受所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的压力，所述凸出位于所述凹槽内，所述夹持脚41与所述蚀刻机台100紧密接触；请参考图5C，取下所述拆装工具，以完成所述卡扣40的安装。

综上，在本实用新型提供的拆装工具中，包括第一C型卡槽、第二C型卡槽和紧固件，其中所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的开口方向相对并限定出一用于容纳所述夹持脚的容置区域，所述第一C型卡槽上设有至少两个第一连接件，所述第二C型卡槽上设有至少两个第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件一一对应，所述紧固件穿过相对应的所述第一连接件和所述第二连接件，旋转所述紧固件以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相向运动或相背运动，以使所述夹持脚形变以实现所述卡扣的拆装；本实用新型提供的拆装工具避免用手直接按压所述夹持脚，按压力度不好控制导致的所述卡扣损坏，实现便捷拆卸和安装卡扣，减少卡扣损坏的风险。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种拆装工具，用于拆卸或安装蚀刻机台上的卡扣，所述卡扣具有若干夹持脚，其特征在于，包括第一C型卡槽、第二C型卡槽和紧固件，其中，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的开口方向相对并限定出一用于容纳所述夹持脚的容置区域，所述第一C型卡槽上设有至少两个第一连接件，所述第二C型卡槽上设有至少两个第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件一一对应，所述紧固件穿过相对应的所述第一连接件和所述第二连接件，旋转所述紧固件以使所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽相向运动或相背运动，以使所述夹持脚形变以实现所述卡扣的拆装。

2.如权利要求1所述的拆装工具，其特征在于，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的形状均为半圆形。

3.如权利要求1所述的拆装工具，其特征在于，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽的材质均包括树脂。

4.如权利要求1所述的拆装工具，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件均具有一通孔，所述紧固件穿过所述第一连接件和所述第二连接件的通孔。

5.如权利要求4所述的拆装工具，其特征在于，所述紧固件包括螺栓和螺母，所述螺栓穿过所述第一连接件和所述第二连接件的通孔，所述螺母与所述螺栓螺纹连接。

6.如权利要求5所述的拆装工具，其特征在于，所述螺母的形状包括蝶形。

7.如权利要求5所述的拆装工具，其特征在于，所述螺母和所述螺栓的材质均包括不锈钢。

8.如权利要求1所述的拆装工具，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件的材质均包括树脂。

9.如权利要求1所述的拆装工具，其特征在于，所述第一C型卡槽、所述第二C型卡槽、所述第一连接件和所述第二连接件为一体结构。

10.如权利要求1所述的拆装工具，其特征在于，所述第一C型卡槽和所述第二C型卡槽合并构成一圆环结构，所述圆环结构的径向宽度小于任意两个所述夹持脚之间的间距。

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