CN216693981U - 剥离液热循环系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了剥离液热循环系统，属于半导体加工技术领域，包括安装板，所述安装板顶部的居中部位栓接有固定台，所述固定台顶部的一侧栓接有固定箱，所述固定箱的内腔设置有拆装机构，所述安装板顶部的两侧分别装配有第一循环罐和第二循环罐，所述固定台顶部的另一侧装配有加热器，所述固定箱的顶部活动连接有安装块，所述安装块的顶部装配有循环泵，所述固定箱顶部的两侧均开设有通槽，所述安装块的底部开设有贯穿槽，所述贯穿槽内腔的两侧均开设有卡槽。通过设置有第一循环罐和第二循环罐，有效的避免了单罐循环的自混热的现象，从而可以保证循环系统内液体温度，通过拆装机构便于操作人员对循环泵进行检修，可节约大量的时间。

Description

剥离液热循环系统

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为剥离液热循环系统。

背景技术

半导体器件在生产加工时需要用到剥离液，而剥离液在传统工艺中使用较多的加热方式是：使用单罐进行外包覆加热，优点是：制造成本低，便于维修；缺点是：加热效率低，热损失率达50%以上，热均匀性不足，稳定性极差。

后经过对此工艺进行改进，将加热器直接放置在罐体内，这样便解决了加热效率低和热损失率高的问题，但同样带来了加热容器需加大，加热容器需保温，加热器与加热容器盖交互时需特殊处理等弊端；并且，改进后的加热系统如果加泵循环，会增加热损失，如果不加泵循环泵，靠液体自身热密度进行循环，效率又太低；同时循环泵在检修时不便进行拆装，需要耗费大量的时间，降低了操作人员的工作效率。

发明内容

本实用新型的目的在于提供剥离液热循环系统，通过设置有第一循环罐和第二循环罐，有效的避免了单罐循环的自混热的现象，从而可以保证循环系统内液体温度，通过拆装机构便于操作人员对循环泵进行检修，可节约大量的时间，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：剥离液热循环系统，包括安装板，所述安装板顶部的居中部位栓接有固定台，所述固定台顶部的一侧栓接有固定箱，所述固定箱的内腔设置有拆装机构，所述安装板顶部的两侧分别装配有第一循环罐和第二循环罐，所述固定台顶部的另一侧装配有加热器，所述固定箱的顶部活动连接有安装块，所述安装块的顶部装配有循环泵，所述固定箱顶部的两侧均开设有通槽，所述安装块的底部开设有贯穿槽，所述贯穿槽内腔的两侧均开设有卡槽,所述第一循环罐顶部的一侧连通有第一连通管，所述第一连通管的一侧与加热器连通，所述加热器与循环泵的内侧均连通有第二连通管，所述第二循环罐顶部的一侧连通有第三连通管，所述第三连通管的一侧与循环泵连通，所述第一循环罐和第二循环罐顶部的外侧均连通有第四连通管。

优选的，所述拆装机构包括电机、丝杆、活动板、滑块、滑槽、活动杆、活动块、限位槽和卡块，所述固定箱内腔的下壁装配有电机，所述电机的输出轴栓接有丝杆，所述丝杆的顶部通过轴承转动连接于固定箱内腔的上壁。

优选的，所述丝杆的表面通过螺纹套螺纹连接有活动板，所述活动板的两侧均栓接有滑块，所述固定箱内腔的两侧均开设有与滑块配合使用的滑槽。

优选的，所述活动板顶部的两侧均通过活动座活动连接有活动杆，所述活动杆远离活动板的一侧均通过活动座活动连接有活动块，所述活动块的背面均栓接有限位块，所述固定箱内腔背面的两侧均开设有与限位块配合使用的限位槽。

优选的，所述活动块的顶部均贯穿通槽并向贯穿槽的内腔延伸，所述活动块外侧的上半部均栓接有卡块，所述卡块的外侧均活动连接于卡槽的内腔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型提供剥离液热循环系统，通过第一循环罐、第二循环罐、加热器、循环泵、第一连通管和第三连通管的配合，有效的避免了单罐循环的自混热的现象，管路中的循环泵一直是将第一循环罐内腔下部的凉液抽出，并将其混入第二循环罐内腔的上部，有效保证循环系统内的液体温度，从而在进入工作状态时，可以很快的到达所需的液体温度。

2、本实用新型提供剥离液热循环系统，通过电机、丝杆、活动板、滑块、滑槽、活动杆、活动块、限位槽和卡块的配合，便于操作人员在检修时对循环泵进行快速拆装，省时省力；利用电机带动丝杆转动，从而使活动板、活动杆、活动块和卡块进行活动，使卡块远离卡槽的内腔，此时操作人员可以将循环泵进行快速拆卸，反之可以实现循环泵的快速安装，结构简单，极大的降低了操作人员的工作强度，提高其工作效率，具有广泛的发展前景。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的固定箱和安装块结构示意图；

图3为本实用新型的A区域放大结构示意图。

图中标号：1、安装板；2、固定台；3、固定箱；4、拆装机构；41、电机；42、丝杆；43、活动板；44、滑块；45、滑槽；46、活动杆；47、活动块；48、限位槽；49、卡块；5、第一循环罐；6、加热器；7、安装块；8、循环泵；9、通槽；10、贯穿槽；11、卡槽；12、第一连通管；13、第三连通管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1～3所示的剥离液热循环系统，包括安装板1，安装板1顶部的居中部位栓接有固定台2，固定台2顶部的一侧栓接有固定箱3，固定箱3的内腔设置有拆装机构4，安装板1顶部的两侧分别装配有第一循环罐5和第二循环罐，固定台2顶部的另一侧装配有加热器6，通过加热器6对剥离液进行加热，固定箱3的顶部活动连接有安装块7，安装块7的顶部装配有循环泵8，固定箱3顶部的两侧均开设有通槽9，安装块7的底部开设有贯穿槽10，贯穿槽10内腔的两侧均开设有卡槽11，通过卡槽11和卡块49的配合可以实现对循环泵8的快速拆装，结构简单，实用性强。

拆装机构4包括电机41、丝杆42、活动板43、滑块44、滑槽45、活动杆46、活动块47、限位槽48和卡块49，固定箱3内腔的下壁装配有电机41，电机41的输出轴栓接有丝杆42，丝杆42的顶部通过轴承转动连接于固定箱3内腔的上壁，通过电机41带动丝杆42进行转动。

丝杆42的表面通过螺纹套螺纹连接有活动板43，活动板43的两侧均栓接有滑块44，固定箱3内腔的两侧均开设有与滑块44配合使用的滑槽45，通过滑块44和滑槽45的配合对活动板43起到限位和支撑的作用。

活动板43顶部的两侧均通过活动座活动连接有活动杆46，活动杆46远离活动板43的一侧均通过活动座活动连接有活动块47，通过活动板43带动活动杆46和活动块47进行移动，活动块47的背面均栓接有限位块，固定箱3内腔背面的两侧均开设有与限位块配合使用的限位槽48，通过限位块和限位槽48对活动块47进行限位和支撑。

活动块47的顶部均贯穿通槽9并向贯穿槽10的内腔延伸，活动块47外侧的上半部均栓接有卡块49，卡块49的外侧均活动连接于卡槽11的内腔，利用电机41带动丝杆42转动，从而使活动板43移动，并依次带动活动杆46、活动块47和卡块49进行移动，使卡块49远离卡槽11的内腔，从而解除对安装块7的固定，此时操作人员可以将循环泵8进行快速拆卸，反之当卡块49进入卡槽11的内腔时，可以对安装块7进行固定，由此实现对循环泵8的快速安装，极大的降低了操作人员的工作强度，有助于提高其工作效率。

第一循环罐5顶部的一侧连通有第一连通管12，第一连通管12的一侧与加热器6连通，加热器6与循环泵8的内侧均连通有第二连通管，第二循环罐顶部的一侧连通有第三连通管13，第三连通管13的一侧与循环泵8连通，第一循环罐5和第二循环罐顶部的外侧均连通有第四连通管，由于热胀冷缩原理，凉的在下部，第一连通管12会延伸到第一循环罐5内腔的底部。

具体使用时，通过设置有第一循环罐5和第二循环罐可以在较少的循环次数内就将液体加热到工作温度，原因是热损失较小，两桶循环不存在混凉液现象；新循环系统热循环时间较原系统更短，因为外部加热循环次数的减少，导致在进入工作状态时，可以很快的到达所需的液体温度；新循环系统可以用很大的流量进行循环而无需担心热损失，因为新循环系统的加热器6就在管路上；在需要对循环泵8进行检修时，通过将卡块49远离卡槽11的内腔，此时可以对循环泵8进行快速拆卸，反之可以实现快速安装，极大的降低了操作人员的工作强度，且可以节约大量的时间。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.剥离液热循环系统，包括安装板（1），其特征在于：所述安装板（1）顶部的居中部位栓接有固定台（2），所述固定台（2）顶部的一侧栓接有固定箱（3），所述固定箱（3）的内腔设置有拆装机构（4），所述安装板（1）顶部的两侧分别装配有第一循环罐（5）和第二循环罐，所述固定台（2）顶部的另一侧装配有加热器（6），所述固定箱（3）的顶部活动连接有安装块（7），所述安装块（7）的顶部装配有循环泵（8），所述固定箱（3）顶部的两侧均开设有通槽（9），所述安装块（7）的底部开设有贯穿槽（10），所述贯穿槽（10）内腔的两侧均开设有卡槽（11）,所述第一循环罐（5）顶部的一侧连通有第一连通管（12），所述第一连通管（12）的一侧与加热器（6）连通，所述加热器（6）与循环泵（8）的内侧均连通有第二连通管，所述第二循环罐顶部的一侧连通有第三连通管（13），所述第三连通管（13）的一侧与循环泵（8）连通，所述第一循环罐（5）和第二循环罐顶部的外侧均连通有第四连通管。

2.根据权利要求1所述的剥离液热循环系统，其特征在于：所述拆装机构（4）包括电机（41）、丝杆（42）、活动板（43）、滑块（44）、滑槽（45）、活动杆（46）、活动块（47）、限位槽（48）和卡块（49），所述固定箱（3）内腔的下壁装配有电机（41），所述电机（41）的输出轴栓接有丝杆（42），所述丝杆（42）的顶部通过轴承转动连接于固定箱（3）内腔的上壁。

3.根据权利要求2所述的剥离液热循环系统，其特征在于：所述丝杆（42）的表面通过螺纹套螺纹连接有活动板（43），所述活动板（43）的两侧均栓接有滑块（44），所述固定箱（3）内腔的两侧均开设有与滑块（44）配合使用的滑槽（45）。

4.根据权利要求3所述的剥离液热循环系统，其特征在于：所述活动板（43）顶部的两侧均通过活动座活动连接有活动杆（46），所述活动杆（46）远离活动板（43）的一侧均通过活动座活动连接有活动块（47），所述活动块（47）的背面均栓接有限位块，所述固定箱（3）内腔背面的两侧均开设有与限位块配合使用的限位槽（48）。

5.根据权利要求4所述的剥离液热循环系统，其特征在于：所述活动块（47）的顶部均贯穿通槽（9）并向贯穿槽（10）的内腔延伸，所述活动块（47）外侧的上半部均栓接有卡块（49），所述卡块（49）的外侧均活动连接于卡槽（11）的内腔。

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