CN216663302U - 单晶炉炉体升降机构 - Google Patents

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燕靖
李远田
乔帅帅
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Xuzhou Meixin Semiconductor Material Technology Co ltd
Jiangsu Jixin Semiconductor Silicon Research Institute Co Ltd
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Xuzhou Meixin Semiconductor Material Technology Co ltd
Jiangsu Jixin Semiconductor Silicon Research Institute Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开一种单晶炉炉体升降机构,包括炉体和升降装置,所述炉体的表面设置有升降装置,所述升降装置包括引导柱,所述引导柱在炉体的一侧设置,所述引导柱上安装有用于升降炉体的传动装置以及驱动传动装置转动的驱动装置。本实用新型,能够解决在升降设备的过程中,设备易出现晃动,易导致设备内部形成的晶体断裂,同时现有升降机构难以保证抬升的精确性的问题。

Description

单晶炉炉体升降机构
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种单晶炉炉体升降机构。
背景技术
单晶炉,即通过在惰性其气体中,借助加热器对多晶硅等材料进行熔化加工的设备。
随着社会的发展,单晶炉大量用于工业生产中,目前市面上大多数设备在使用时需进行吊装升降操作,在升降设备的过程中,设备易出现晃动,易导致设备内部形成的晶体断裂,增加设备的使用难度,增加使用者的工作负担,降低设备的易用性,增加设备的安全隐患,不利于设备的正常使用,对此需进行改进。
实用新型内容
针对上述现有利用手部对刹车架进行支撑会导致使用人员手部酸痛的问题,本实用新型提供一种单晶炉炉体升降机构,可实现对刹车架转动后的支撑。
为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种单晶炉炉体升降机构,包括炉体和升降装置,所述炉体的表面设置有升降装置,所述升降装置包括引导柱,所述引导柱在炉体的一侧设置,所述引导柱上安装有用于升降炉体的传动装置以及驱动传动装置转动的驱动装置。
优选地,所述引导柱的数量为两个,两个引导柱以炉体为对称轴呈轴对称设置。引导柱的设置具有对驱动链的位置进行约束固定,并对传动齿轮进行防护的效果,设置两个引导柱时,炉体上升或下降的过程稳定性更好。
优选地,引导柱前侧壁和后侧壁分别开设有第一条形凹槽和第二条形凹槽(且两个凹槽不相通),第一条形凹槽和第二条形凹槽内上部均固定有弧形支撑板,引导柱下部安装有支撑架;支撑架的设置具有对伺服电机的位置进行固定,并防止伺服电机发生震动的效果。
驱动装置包括伺服电机和两个传动齿轮,伺服电机固定在支撑架上,两个传动齿轮分别位于第一条形凹槽和第二条形凹槽内下部、且位置相对应;伺服电机输出轴穿过两个传动齿轮,将两个传动齿轮分别固定在第一条形凹槽和第二条形凹槽内;传动齿轮的设置具有带动两侧环形驱动链进行同步转动的效果。
传动装置包括环形驱动链和滑块,环形驱动链分别设置在第一条形凹槽和第二条形凹槽内,其上端套在弧形支撑板上,下端套在传动齿轮上,并与传动齿轮啮合;
滑块与引导柱后侧壁滑动连接,滑块一端与环形驱动链连接,另一端连接有固定环,固定环呈半圆状,固定环固定在炉体外表面上。
进一步,弧形支撑板靠近引导柱后壁的一端向上延伸出弧形挡板。弧形挡板的设置有效地防止了环形链条从弧形支撑板上滑落,进一步保证了设备运行的稳定性和可靠性。
与现有技术相比,本实用新型通过设置升降装置,当设备需进行抬升或降低高度时,打开伺服电机的开关,随即伺服电机通电进行转动,伺服电机在转动的过程中会带动传动齿轮进行转动运动,传动齿轮在转动的过程中与环形驱动链发生啮合,随即环形驱动链在传动齿轮的带动下进行转动运动,环形驱动链在转动的过程中会带动滑块进行位移运动,滑块在位移的过程中带动固定环进行位移,固定环在位移的过程中便会带动炉体进行抬升或降低,通过设置抬升装置,可将炉体抬升或降低至既定位置,降低炉体的使用难度,降低使用者的工作负担,提高炉体的易用性,降低炉体的安全隐患,便于炉体的正常使用。
附图说明
图1为本实用新型提出一种单晶炉炉体升降机构的立体结构示意图;
图2为本实用新型提出一种单晶炉炉体升降机构中侧视的结构示意图;
图3为本实用新型提出一种单晶炉炉体升降机构中升降装置的结构示意图。
附图标记说明:
1、炉体;4、升降装置;41、引导柱;42、传动齿轮;43、支撑架;44、伺服电机;45、环形驱动链;46、滑块;47、固定环,48、弧形支撑板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1至图3所示,本实施例提供的一种单晶炉炉体升降机构,包括炉体1和升降装置4,所述炉体1的表面设置有升降装置4,所述升降装置4包括引导柱41,所述引导柱41在炉体1的一侧设置,所述引导柱41上安装有用于升降炉体1的传动装置以及驱动传动装置转动的驱动装置。
在一些实施例中,所述引导柱41的数量为两个,两个引导柱41以炉体1为对称轴呈轴对称设置。这种设置使得炉体1在上升或下降的过程中具有更好的稳定性和可靠性。
具体而言,引导柱41前侧壁和后侧壁分别开设有第一条形凹槽和第二条形凹槽且两个凹槽不相通,第一条形凹槽和第二条形凹槽内上部均固定有弧形支撑板48,引导柱41下部安装有支撑架43;
驱动装置包括伺服电机44和两个传动齿轮42,伺服电机44固定在支撑架43上,支撑架43的设置具有对伺服电机44的位置进行固定,并防止伺服电机44发生震动的效果;两个传动齿轮42分别位于第一条形凹槽和第二条形凹槽内下部、且位置相对应;伺服电机44输出轴穿过两个传动齿轮42,将两个传动齿轮42分别固定在第一条形凹槽和第二条形凹槽内;
传动装置包括两条环形驱动链45和滑块46,环形驱动链45分别设置在第一条形凹槽和第二条形凹槽内,其上端套在弧形支撑板48上,下端套在传动齿轮42上,并与传动齿轮42啮合;传动齿轮42的设置具有带动两侧驱动链45进行同步转动的效果。
滑块46与引导柱41侧壁滑动连接,滑块46一端与环形驱动链45连接,另一端连接有固定环47,固定环47呈半圆状,固定环47固定在炉体1外表面上。滑块46随着环形驱动链的转动而上下移动,从而带动固定环47上下移动,进而带动炉体1上下移动,实现了炉体的升降。
为了进一步提高炉体1在抬升和下降过程中的稳定性和可靠性,每条环形驱动链45上间隔连接有两个滑块46,两个滑块46之间的距离可根据实际情况设定。
在一些实施例中,为了防止环形驱动链45从弧形支撑板上滑落,弧形支撑板靠近引导柱41后侧壁的一侧向上延伸出弧形挡板。
使用时,当炉体1需进行抬升或降低高度时,打开伺服电机44的开关,随即伺服电机44通电进行转动,伺服电机44在转动的过程中会带动传动齿轮42进行转动运动,传动齿轮42在转动的过程中与环形驱动链45发生啮合,随即环形驱动链45在传动齿轮42的带动下进行转动运动,环形驱动链45在转动的过程中会带动滑块46进行位移运动,滑块46在位移的过程中带动固定环47进行位移,固定环47在位移的过程中便会带动炉体1进行抬升或降低,通过设置抬升装置,可将设备抬升或降低至既定位置,降低炉体1的使用难度,降低使用者的工作负担,提高设备的易用性,降低设备的安全隐患,便于设备的正常使用。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (4)

1.一种单晶炉炉体升降机构,包括炉体(1)和升降装置(4),其特征在于,所述炉体(1)的表面设置有升降装置(4),所述升降装置(4)包括引导柱(41),所述引导柱(41)在炉体(1)的一侧设置,所述引导柱(41)上安装有用于升降炉体(1)的传动装置以及驱动传动装置转动的驱动装置。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体升降机构,其特征在于,所述引导柱(41)的数量为两个,两个引导柱(41)以炉体(1)为对称轴呈轴对称设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉炉体升降机构,其特征在于,引导柱(41)前侧壁和后侧壁分别开设有第一条形凹槽和第二条形凹槽,第一条形凹槽和第二条形凹槽内上部均固定有弧形支撑板(48),引导柱(41)下部安装有支撑架(43);
驱动装置包括伺服电机(44)和两个传动齿轮(42),伺服电机(44)固定在支撑架(43)上,两个传动齿轮(42)分别位于第一条形凹槽和第二条形凹槽内下部、且位置相对应;伺服电机(44)输出轴穿过两个传动齿轮(42),将两个传动齿轮(42)分别固定在第一条形凹槽和第二条形凹槽内;
传动装置包括环形驱动链(45)和滑块(46),环形驱动链(45)分别设置在第一条形凹槽和第二条形凹槽内,其上端套在弧形支撑板(48)上,下端套在传动齿轮(42)上,并与传动齿轮(42)啮合;
滑块(46)与引导柱(41)侧壁滑动连接,滑块(46)一端与环形驱动链(45)连接,另一端连接有固定环(47),固定环(47)呈半圆状,固定环(47)固定在炉体(1)外表面上。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉炉体升降机构,其特征在于,弧形支撑板靠近引导柱(41)后壁的一端向上延伸出弧形挡板。
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