CN216597488U - 一种离子注入机圆晶转运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种离子注入机圆晶转运装置，其技术方案要点是：一种离子注入机圆晶转运装置，包括设置于所述离子注入机的机械臂主体、连接于所述机械臂主体并用于搬运圆晶的支撑板、设置于支撑板的吸盘，所述机械臂主体输出端与支撑板之间设置有对支撑板及吸盘位置微调的调解机构，所述调解机构包括设置于所述机械臂主体输出端的延伸部、设置于所述支撑板并穿设于所述延伸部的支撑柱、驱动所述支撑柱伸缩的伸缩组件、驱动所述支撑柱及支撑板平移的平移组件。本实用新型实现通过伸缩组件、平移组件对支撑板、圆晶位置进行微调，提升圆晶搬运摆放的精确度。

Description

一种离子注入机圆晶转运装置

技术领域

本实用新型涉及离子注入机领域，尤其涉及到一种离子注入机圆晶转运装置。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有晶圆搬运机构一般选用机械臂，在机械臂长期使用过程中，机械臂后相应吸盘容易出现故障，需要进行维修更换，如当吸盘维修更换后，更换后的吸盘相较于原先吸盘可能出现位置的偏差，如果机械臂能够正常运作搬运晶圆，需要调整机械臂运作程序，从而达到精准搬运输送。但是调整程序，操作复杂，且不易于精准判断，需要反复测试，导致操作不变，且影响晶圆加工效率。

因此，我们有必要对这样一种结构进行改善，以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新材料。实现通过伸缩组件、平移组件对支撑板、圆晶位置进行微调，提升圆晶搬运摆放的精确度。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案实现的：一种离子注入机圆晶转运装置，包括设置于所述离子注入机的机械臂主体、连接于所述机械臂主体并用于搬运圆晶的支撑板、设置于支撑板的吸盘，所述机械臂主体输出端与支撑板之间设置有对支撑板及吸盘位置微调的调解机构，所述调解机构包括设置于所述机械臂主体输出端的延伸部、设置于所述支撑板并穿设于所述延伸部的支撑柱、驱动所述支撑柱伸缩的伸缩组件、驱动所述支撑柱及支撑板平移的平移组件。

本实用新型的进一步设置为：所述平移组件包括设置于延伸部内腔底面的滑座、设置于所述延伸部并驱动所述滑座水平滑移的第一丝杠驱动结构，所述滑座滑移方向呈垂直于支撑柱长度方向，所述支撑柱设置于所述滑座。

本实用新型的进一步设置为：所述伸缩组件包括开设于所述滑座并供支撑柱穿设的滑孔、开设于所述滑座上端面并与滑孔侧壁连通的控制槽、设置于所述滑座并驱动支撑柱伸缩的第二丝杠驱动结构，所述支撑柱固定有与第二丝杠驱动结构的丝杠螺母连接的连接部，所述连接部由控制槽伸出并与丝杠螺母连接。

本实用新型的进一步设置为：所述延伸部内腔底面开设有用于对滑座导向的导向槽、所述滑座下端面固定有滑动连接于导向槽的导向块。

本实用新型的进一步设置为：所述支撑柱呈多边形设置。

本实用新型的进一步设置为：所述支撑柱材质为陶瓷。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

在通过支撑板及吸盘搬运圆晶进行检测及放置于靶室时，可会出现圆晶位置轻微偏差，此时可以通过调解机构中的伸缩组件、平移组件实现驱动支撑板及吸盘、圆晶平移相应位置，提升搬运的精确度。

通过导向块、导向槽实现精准导向，并通过第一丝杠驱动结构能够达到高精度驱动滑座移动，实现调整圆晶水平位置。

通过支撑柱穿设于滑座，提升支撑柱伸缩时的稳定性，并实现精确调整支撑柱伸缩量，从而达到提升圆晶搬运摆放的精准度，提供后续加工的精度。

附图说明

图1是本实用新型的示意图；

图2是本实用新型中支撑板及延伸部的剖视图。

图中数字所表示的相应部件名称：1、机械臂主体；2、支撑板；3、吸盘；4、延伸部；5、支撑柱；6、滑座；7、第一丝杠驱动结构；8、导向槽；9、导向块；10、滑孔；11、控制槽；12、第二丝杠驱动结构；13、连接部；14、旋钮。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本实用新型。

如图1和图2所示，本实用新型提出的一种离子注入机圆晶转运装置，包括设置于所述离子注入机的机械臂主体1、连接于所述机械臂主体1并用于搬运圆晶的支撑板2、设置于支撑板2的吸盘3。所述机械臂主体1输出端与支撑板2之间设置有对支撑板2及吸盘3位置微调的调解机构，所述调解机构包括设置于所述机械臂主体1输出端的延伸部4、设置于所述支撑板2并穿设于所述延伸部4的支撑柱5、驱动所述支撑柱5伸缩的伸缩组件、驱动所述支撑柱5及支撑板2平移的平移组件。在通过支撑板2及吸盘3搬运圆晶进行检测及放置于靶室时，可会出现圆晶位置轻微偏差，此时可以通过调解机构中的伸缩组件、平移组件实现驱动支撑板2及吸盘3、圆晶平移相应位置，提升搬运的精确度。

其中平移组件包括设置于延伸部4内腔底面的滑座6、设置于所述延伸部4并驱动所述滑座6水平滑移的第一丝杠驱动结构7，第一丝杠驱动结构7为现有技术，并且在第一丝杠驱动结构的远端设置有旋钮14，通过旋钮14控制第一丝杠驱动结构7的丝杠转动，进而达到调解滑座6滑移位置。所述滑座6滑移方向呈垂直于支撑柱5长度方向，所述支撑柱5设置于所述滑座6。延伸部4内腔底面开设有用于对滑座6导向的导向槽8、所述滑座6下端面固定有滑动连接于导向槽8的导向块9。通过导向块9、导向槽8实现精准导向，并通过第一丝杠驱动结构7能够达到高精度驱动滑座6移动，实现调整圆晶水平位置。

伸缩组件包括开设于所述滑座6并供支撑柱5穿设的滑孔10、开设于所述滑座6上端面并与滑孔10侧壁连通的控制槽11、设置于所述滑座6并驱动支撑柱5伸缩的第二丝杠驱动结构12，第二丝杠驱动结构12与第一丝杠驱动结构的具体结构及功能一致。所述支撑柱5固定有与第二丝杠驱动结构12的丝杠螺母连接的连接部13，所述连接部13由控制槽11伸出并与丝杠螺母连接。并且本实施例中的支撑柱5材质为陶瓷、且支撑柱5呈多边形设置。通过支撑柱5穿设于滑座6，提升支撑柱5伸缩时的稳定性，并实现精确调整支撑柱5伸缩量，从而达到提升圆晶搬运摆放的精准度，提供后续加工的精度。

在本文中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了表达技术方案的清楚及描述方便，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (6)

1.一种离子注入机圆晶转运装置，包括设置于所述离子注入机的机械臂主体(1)、连接于所述机械臂主体(1)并用于搬运圆晶的支撑板(2)、设置于支撑板(2)的吸盘(3)，其特征在于：所述机械臂主体(1)输出端与支撑板(2)之间设置有对支撑板(2)及吸盘(3)位置微调的调解机构，所述调解机构包括设置于所述机械臂主体(1)输出端的延伸部(4)、设置于所述支撑板(2)并穿设于所述延伸部(4)的支撑柱(5)、驱动所述支撑柱(5)伸缩的伸缩组件、驱动所述支撑柱(5)及支撑板(2)平移的平移组件。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于：所述平移组件包括设置于延伸部(4)内腔底面的滑座(6)、设置于所述延伸部(4)并驱动所述滑座(6)水平滑移的第一丝杠驱动结构(7)，所述滑座(6)滑移方向呈垂直于支撑柱(5)长度方向，所述支撑柱(5)设置于所述滑座(6)。

3.根据权利要求2所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于：所述伸缩组件包括开设于所述滑座(6)并供支撑柱(5)穿设的滑孔(10)、开设于所述滑座(6)上端面并与滑孔(10)侧壁连通的控制槽(11)、设置于所述滑座(6)并驱动支撑柱(5)伸缩的第二丝杠驱动结构(12)，所述支撑柱(5)固定有与第二丝杠驱动结构(12)的丝杠螺母连接的连接部(13)，所述连接部(13)由控制槽(11)伸出并与丝杠螺母连接。

4.根据权利要求2所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于：所述延伸部(4)内腔底面开设有用于对滑座(6)导向的导向槽(8)、所述滑座(6)下端面固定有滑动连接于导向槽(8)的导向块(9)。

5.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于：所述支撑柱(5)呈多边形设置。

6.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于：所述支撑柱(5)材质为陶瓷。

Images