CN216550818U - 一种预防晶棒掉落的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种预防晶棒掉落的装置，包括装置本体、感应组件和抱钳组件，装置本体的内部设置有晶棒，所述装置本体的内侧设置有感应组件，所述感应组件的下方设置有抱钳组件，通过感应组件对装置本体内部的晶棒进行检测，判断晶棒的大小和脉冲值，在通过抱钳组件对晶棒进行抱钳工作防止晶棒掉棒，所述感应组件包括发射器、接收器和感应器；本实用新型通过晶棒、发射器、接收器、感应器、上抱钳、下抱钳、推杆、滑槽、滑块和空槽之间的相互配合使用，有效解决晶棒掉落问题，抱钳装置可预防掉棒，检测出晶棒在副室腔体内的长度、位置，在晶棒掉落时，通过推杆的作用下推动抱钳，使抱钳稳定的对晶棒进行规定不会掉入锅中。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶棒设备技术领域，尤其涉及一种预防晶棒掉落的装置。
背景技术
直拉单晶硅棒，在生产环节，因外界振动或其他原因导致细晶的硅原子断裂，进而晶棒掉落到埚内(简称：掉棒)，抱钳装置可预防掉棒，但晶棒在副室腔体内的长度、位置没有精确，在晶棒掉落时，抱钳力度不足或者抱钳数不够导致晶棒掉落到坩埚中；
晶棒提拉部件断裂，晶棒掉落在隔离阀或者埚内，均会造成停炉或漏硅，停炉导致单个晶棒拉制成本异常高，漏硅将对设备造成不可修复的损坏，因此，本实用新型提出一种预防晶棒掉落的装置以解决现有技术中存在的问题。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的在于提出一种预防晶棒掉落的装置，该预防晶棒掉落的装置通过晶棒、发射器、接收器、感应器、上抱钳、下抱钳、推杆、滑槽、滑块和空槽之间的相互配合使用，有效解决晶棒掉落问题，抱钳装置可预防掉棒，检测出晶棒在副室腔体内的长度、位置，在晶棒掉落时，通过推杆的作用下推动抱钳，使抱钳稳定的对晶棒进行规定不会掉入锅中。
为实现本实用新型的目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种预防晶棒掉落的装置，包括装置本体、感应组件和抱钳组件，装置本体的内部设置有晶棒，所述装置本体的内侧设置有感应组件，所述感应组件的下方设置有抱钳组件，通过感应组件对装置本体内部的晶棒进行检测，判断晶棒的大小和脉冲值，在通过抱钳组件对晶棒进行抱钳工作防止晶棒掉棒，所述感应组件包括发射器、接收器和感应器，所述装置本体内壁的一侧设置有发射器，所述装置本体内壁的另一侧设置有接收器，所述装置本体内部的底部设置有感应器，通过发射器与接收器之前的配合，对内部晶棒进行体积与长度进行判断，持续检测晶棒在炉内的长度变化，便于后续工作使用。
进一步改进在于：所述抱钳组件包括上抱钳、下抱钳和推杆，所述装置本体内部的上方设置有上抱钳，所述上抱钳的下方设置有下抱钳，所述上抱钳和下抱钳的内侧均设置有推杆，通过推杆带动上抱钳与下抱钳向内侧进行推压对晶棒进行稳定的固定。
进一步改进在于：所述装置本体内部开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有滑块，所述滑块的外侧连接着推杆，通过滑块在滑槽内上下运动带动上抱钳与下抱钳进行上下运动，抱钳跟随晶棒长度做出相应的位置调整。
进一步改进在于：所述装置本体的底部开设有空槽，所述空槽的两侧设置有感应器，通过感应器在晶棒要掉落时收到提醒，对晶棒做检测反馈。
进一步改进在于：所述上抱钳与下抱钳设置有多组，且不少于两组，所述上抱钳与下抱钳的大小规格均相同，通果上抱钳固定晶棒的顶部，下抱钳固定晶棒的底部，抱钳上升闭合将晶棒钳住，避免晶棒掉落到埚内，抱钳住以后将晶棒运输到炉体外。抱钳张开时的尺寸规格可调整，从而适应各种规格晶棒。
本实用新型的有益效果为：本实用新型通过晶棒、发射器、接收器、感应器、上抱钳、下抱钳、推杆、滑槽、滑块和空槽之间的相互配合使用，有效解决晶棒掉落问题，抱钳装置可预防掉棒，检测出晶棒在副室腔体内的长度、位置，在晶棒掉落时，通过推杆的作用下推动抱钳，使抱钳稳定的对晶棒进行规定不会掉入锅中。
附图说明
图1为本实用新型的正面剖视图；
图2为本实用新型的俯视图。
其中：1、装置本体；2、晶棒；3、发射器；4、接收器；5、感应器；6、上抱钳；7、下抱钳；8、推杆；9、滑槽；10、滑块；11、空槽。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型做进一步详述，本实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
实施例1
根据图1、2所示，本实施例提供了一种预防晶棒掉落的装置，包括装置本体1、感应组件和抱钳组件，装置本体1的内部设置有晶棒2，装置本体1的内侧设置有感应组件，感应组件的下方设置有抱钳组件，通过感应组件对装置本体1内部的晶棒2进行检测，判断晶棒2的大小和脉冲值，在通过抱钳组件对晶棒进行抱钳工作防止晶棒2掉棒，感应组件包括发射器3、接收器4和感应器5，装置本体1内壁的一侧设置有发射器3，装置本体1内壁的另一侧设置有接收器4，装置本体1内部的底部设置有感应器5，通过发射器3与接收器4之前的配合，对内部晶棒2进行体积与长度进行判断，持续检测晶棒在炉内的长度变化，便于后续工作使用。
抱钳组件包括上抱钳6、下抱钳7和推杆8，装置本体1内部的上方设置有上抱钳6，上抱钳6的下方设置有下抱钳7，上抱钳6和下抱钳7的内侧均设置有推杆8，通过推杆8带动上抱钳6与下抱钳7向内侧进行推压对晶棒进行稳定的固定。
装置本体1内部开设有滑槽9，滑槽9的内部设置有滑块10，滑块10的外侧连接着推杆8，通过滑块10在滑槽9内上下运动带动上抱钳6与下抱钳7进行上下运动，抱钳跟随晶棒长度做出相应的位置调整。
装置本体1的底部开设有空槽11，空槽11的两侧设置有感应器5，通过感应器5在晶棒2要掉落时收到提醒，对晶棒2做检测反馈。
上抱钳6与下抱钳7设置有多组，且不少于两组，上抱钳6与下抱钳7的大小规格均相同，通果上抱钳6固定晶棒2的顶部，下抱钳7固定晶棒2的底部，抱钳上升闭合将晶棒钳住，避免晶棒掉落到埚内，抱钳住以后将晶棒运输到炉体外。抱钳张开时的尺寸规格可调整，从而适应各种规格晶棒2。
该预防晶棒掉落的装置使用时，通过感应组件对装置本体1内部的晶棒2进行检测，判断晶棒2的大小和脉冲值，在通过抱钳组件对晶棒进行抱钳工作防止晶棒2掉棒，通过发射器3与接收器4之前的配合，对内部晶棒2进行体积与长度进行判断，持续检测晶棒在炉内的长度变化，便于后续工作使用，通过推杆8带动上抱钳6与下抱钳7向内侧进行推压对晶棒进行稳定的固定，通过滑块10在滑槽9内上下运动带动上抱钳6与下抱钳7进行上下运动，抱钳跟随晶棒长度做出相应的位置调整，通过感应器5在晶棒2要掉落时收到提醒，对晶棒2做检测反馈，通过上抱钳6固定晶棒2的顶部，下抱钳7固定晶棒2的底部，抱钳上升闭合将晶棒钳住，避免晶棒掉落到埚内，抱钳住以后将晶棒运输到炉体外。抱钳张开时的尺寸规格可调整，从而适应各种规格晶棒2。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种预防晶棒掉落的装置，包括装置本体(1)、感应组件和抱钳组件，其特征在于：装置本体(1)的内部设置有晶棒(2)，所述装置本体(1)的内侧设置有感应组件，所述感应组件的下方设置有抱钳组件，通过感应组件对装置本体(1)内部的晶棒(2)进行检测，判断晶棒(2)的大小和脉冲值，在通过抱钳组件对晶棒进行抱钳工作防止晶棒(2)掉棒，所述感应组件包括发射器(3)、接收器(4)和感应器(5)，所述装置本体(1)内壁的一侧设置有发射器(3)，所述装置本体(1)内壁的另一侧设置有接收器(4)，所述装置本体(1)内部的底部设置有感应器(5)，通过发射器(3)与接收器(4)之前的配合，对内部晶棒(2)进行体积与长度进行判断，持续检测晶棒在炉内的长度变化，便于后续工作使用。
2.根据权利要求1所述的一种预防晶棒掉落的装置，其特征在于：所述抱钳组件包括上抱钳(6)、下抱钳(7)和推杆(8)，所述装置本体(1)内部的上方设置有上抱钳(6)，所述上抱钳(6)的下方设置有下抱钳(7)，所述上抱钳(6)和下抱钳(7)的内侧均设置有推杆(8)，通过推杆(8)带动上抱钳(6)与下抱钳(7)向内侧进行推压对晶棒(2)进行稳定的固定。
3.根据权利要求1所述的一种预防晶棒掉落的装置，其特征在于：所述装置本体(1)内部开设有滑槽(9)，所述滑槽(9)的内部设置有滑块(10)，所述滑块(10)的外侧连接着推杆(8)，通过滑块(10)在滑槽(9)内上下运动带动上抱钳(6)与下抱钳(7)进行上下运动，抱钳跟随晶棒长度做出相应的位置调整。
4.根据权利要求1所述的一种预防晶棒掉落的装置，其特征在于：所述装置本体(1)的底部开设有空槽(11)，所述空槽(11)的两侧设置有感应器(5)，通过感应器(5)在晶棒(2)要掉落时收到提醒，对晶棒(2)做检测反馈。
5.根据权利要求2所述的一种预防晶棒掉落的装置，其特征在于：所述上抱钳(6)与下抱钳(7)设置有多组，且不少于两组，所述上抱钳(6)与下抱钳(7)的大小规格均相同，通过上抱钳(6)固定晶棒(2)的顶部，下抱钳(7)固定晶棒(2)的底部，抱钳上升闭合将晶棒钳住，避免晶棒掉落到埚内，抱钳住以后将晶棒运输到炉体外，抱钳张开时的尺寸规格可调整，从而适应各种规格晶棒(2)。
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| CN202122030559.7U CN216550818U (zh) | 2021-08-26 | 2021-08-26 | 一种预防晶棒掉落的装置 |
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| CN202122030559.7U Active CN216550818U (zh) | 2021-08-26 | 2021-08-26 | 一种预防晶棒掉落的装置 |
Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116288653A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-06-23 | 四川高景太阳能科技有限公司 | 一种预防晶棒掉落装置 |
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2021
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