CN216525094U - 一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，包括基座，基座上端设有样品固定部以及设置于样品固定部一侧的样品切割部；样品固定部包括用于放置样品挡板的挡板放置槽，挡板放置槽上方设有用于固定样品挡板的挡板固定块；样品切割部包括与基座滑动连接的刀片固定架，刀片固定架靠近样品固定部的一侧设有刀片，刀片与刀片固定架上下滑动连接，刀片位于挡板放置槽上方，本实用新型的装样器，能有效减弱挡板与待测样品的间隙，精准控制样品的凸出量，预处理切面整齐，使得样品前处理操作简单，制样方便，能有效提高样品离子束截面抛光的效率，提高仪器使用效率，样品截面抛光效果变得更好，有利于样品截面表征的精准性。
Description
技术领域
本实用新型涉及离子束抛光测试领域，具体是一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置。
背景技术
氩离子束截面抛光是一种广泛应用于材料截面加工处理的技术，其机理即是根据离子束溅射原理进行去除加工。相对于其他较常见的材料表面抛光技术，如机械抛光，离子束抛光惰性气体中进行，无氧化、无脱碳，加工精度可以达到原子量级以上，加工环境稳定，抛光后的材料表面几乎不发生变形，表面质量良好。这些优势也使得离子束抛光技术在各个行业得到广泛应用，如半导体，锂电等。
针对锂电领域，离子束抛光处理后的材料样品结合扫描电子显微镜等可进行材料表征，失效分析等。如氩离子抛光可用于正负极极片，经截面处理后，用于观测极片截面颗粒破碎，活性物质的分布，集流体厚度等，能更加清晰的表现极片的真实性能。电池充放电循环后的极片截面抛光处理后分析，对研究电池内部发生的反应过程有很大的帮助。
常用的离子束抛光方法是以挡板切割法，即用金属挡板遮挡部分离子束，产生一个切割区域，此种方法近乎无损伤制样，抛光处理后的样品具有绝佳的深度分别率。例如针对锂电领域的材料，如正负极片，隔膜，集流体等，样品的前处理结果对抛光效果有很大影响，主要表现为样品在挡板上的凸出量，样品与挡板的贴合程度以及样品预切面的整齐度，这些都是影响抛光效率与效果的主要因素。因此，提供一种适用于样品装样器装置会对提高样品抛光效果有极大的帮助。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，包括基座，所述基座上端设有样品固定部以及设置于所述样品固定部一侧的样品切割部；
所述样品固定部包括用于放置样品挡板的挡板放置槽，所述挡板放置槽上方设有用于固定样品挡板的挡板固定块；
所述样品切割部包括与所述基座滑动连接的刀片固定架，所述刀片固定架靠近所述样品固定部的一侧设有刀片，所述刀片与所述刀片固定架上下滑动连接，所述刀片位于所述挡板放置槽上方。
作为本实用新型进一步的方案：所述挡板固定块至少一个紧固螺丝与所述基座可拆卸连接。
作为本实用新型进一步的方案：所述挡板放置槽的长度不小于样品挡板的长度。
作为本实用新型进一步的方案：所述挡板放置槽的长度比样品挡板的长度长5CM。
作为本实用新型进一步的方案：所述基座上设有两条平台布置的导轨，所述导轨上滑动连接有滑块，所述刀片固定架固定连接于所述滑块上端。
作为本实用新型进一步的方案：所述刀片通过推进装置与所述刀片固定架上下滑动连接。
作为本实用新型进一步的方案：所述刀片固定架上设有上下方向布置的第一刻度，所述基座上设有水平方向布置的第二刻度。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的装样器，能有效减弱挡板与待测样品的间隙，精准控制样品的凸出量，预处理切面整齐，使得样品前处理操作简单，制样方便，能有效提高样品离子束截面抛光的效率，提高仪器使用效率，样品截面抛光效果变得更好，有利于样品截面表征的精准性。
附图说明
图1为本实施例结构示意图；
图中：1-基座、2-挡板放置槽、3-挡板固定块、4-刀片、5-刀片固定架、6-导轨、7-推进装置、8-紧固螺丝、9-第一刻度、10-第二刻度、11-滑块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1，本实用新型实施例中，一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，包括基座1，基座1上端设有样品固定部以及设置于样品固定部一侧的样品切割部。
样品固定部包括用于放置样品挡板的挡板放置槽2，挡板放置槽2上方设有用于固定样品挡板的挡板固定块3，挡板固定块3至少一个紧固螺丝8与基座1可拆卸连接，挡板放置槽2的长度不小于样品挡板的长度，在本实施例中，挡板放置槽2的长度比样品挡板的长度长5CM，顶部末端超出的5cm用于放置样品。；
样品切割部包括与基座1滑动连接的刀片固定架5，刀片固定架5由一个长的、两个短的长方体金属块相叠组成，长金属块底部与基座1相连，中间和左侧金属块固定于长金属块左侧，刀片4夹于中间和左侧金属块中间，刀片固定架5上的中间金属块与右侧金属块通过紧固螺丝8相连，可拆卸，刀片4夹于两者之间，基座1上设有两条平台布置的导轨6，导轨6上滑动连接有滑块11，刀片固定架5固定连接于滑块11上端，刀片固定架5靠近样品固定部的一侧设有刀片4，刀片4通过推进装置7与刀片固定架5上下滑动连接，刀片4位于挡板放置槽2上方。
此外，刀片固定架5上设有上下方向布置的第一刻度，基座1上设有水平方向布置的第二刻度10。
实用新型在使用时，首先将样品以及样品挡板放置到挡板放置槽2内，并通过挡板固定块3对样品挡板进行固定连接，同时，样品在样品挡板的前端伸出5CM，安装完成后，通过导轨6上的滑块11水平滑动刀片固定架5，使得刀片固定架5沿水平方向向样品移动，同时通过第二刻度10对刀片4与样品的相对位置进行测量反馈，当达到所需的位置时，停止运动，然后启动内置有螺旋微调机构的推进装置7推动刀片沿刀片固定架5向下运动，直到刀片4接触到样品并对样品端面进行切割，进而形成一个平整的切面，保证了切面的平整度，极大的提高了样品前处理的效果。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (7)
1.一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，包括基座(1)，其特征在于，所述基座(1)上端设有样品固定部以及设置于所述样品固定部一侧的样品切割部；
所述样品固定部包括用于放置样品挡板的挡板放置槽(2)，所述挡板放置槽(2)上方设有用于固定样品挡板的挡板固定块(3)；
所述样品切割部包括与所述基座(1)滑动连接的刀片固定架(5)，所述刀片固定架(5)靠近所述样品固定部的一侧设有刀片(4)，所述刀片(4)与所述刀片固定架(5)上下滑动连接，所述刀片(4)位于所述挡板放置槽(2)上方。
2.根据权利要求1所述的一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，其特征在于，所述挡板固定块(3)至少一个紧固螺丝(8)与所述基座(1)可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，其特征在于，所述挡板放置槽(2)的长度不小于样品挡板的长度。
4.根据权利要求3所述的一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，其特征在于，所述挡板放置槽(2)的长度比样品挡板的长度长5CM。
5.根据权利要求1所述的一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，其特征在于，所述基座(1)上设有两条平台布置的导轨(6)，所述导轨(6)上滑动连接有滑块(11)，所述刀片固定架(5)固定连接于所述滑块(11)上端。
6.根据权利要求1所述的一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，其特征在于，所述刀片(4)通过推进装置(7)与所述刀片固定架(5)上下滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，其特征在于，所述刀片固定架(5)上设有上下方向布置的第一刻度，所述基座(1)上设有水平方向布置的第二刻度(10)。
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| CN202123008049.6U CN216525094U (zh) | 2021-11-30 | 2021-11-30 | 一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置 |
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2021
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