CN216491108U - 一种靶材绑定用靶管加热装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种靶材绑定用靶管加热装置，包括：底座、固定套、三个温度传感器和三个温度控制器，固定套竖直设置在底座上，固定套外壁上从上到下依次间隔有上加热组件、中加热组件和下加热组件，三个温度传感器从上到下依次间隔设置在固定套外壁上，用于分别检测上加热组件、中加热组件和下加热组件的温度；三个温度控制器分别与上加热组件、中加热组件和下加热组件电性连接，三个温度控制器分别与三个温度传感器电性连接。本申请结构简单，操作方便，不容易出现破损，不影响生产的连续性，靶管表面温度均匀性好。

Description

一种靶材绑定用靶管加热装置

技术领域

本实用新型涉及靶材绑定领域技术领域，特别涉及一种靶材绑定用靶管加热装置。

背景技术

靶管的种类是多样的，有金属管和钛管等，在靶材绑定过程中，需要对靶管进行加热，陶瓷旋转靶对金属管表面的温度均匀性要求很高，温度不足或者较高的情况下，易产生钎料氧化和靶材的开裂，最终将会导致旋转靶在使用中产生的表面热量不能较好的传输，造成开裂等现象。

目前在生产中加热装置多为玻璃纤维加热棒，使用寿命较短，容易出现破损，加热丝表面高温材料容易脱落，造成短路，严重影响了生产的连续性，并且使用一段时间后表面容易出现凹凸不平的现象，造成靶管表面温度均匀性差。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种靶材绑定用靶管加热装置，结构简单，操作方便，不容易出现破损，不影响生产的连续性，靶管表面温度均匀性好。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种靶材绑定用靶管加热装置，包括：

底座，

固定套，竖直设置在底座上，所述固定套外壁上从上到下依次间隔有上加热组件、中加热组件和下加热组件，

三个温度传感器，从上到下依次间隔设置在固定套外壁上，用于分别检测上加热组件、中加热组件和下加热组件的温度；

三个温度控制器，分别与上加热组件、中加热组件和下加热组件电性连接，三个所述温度控制器分别与三个温度传感器电性连接。本申请采用上加热组件、中加热组件和下加热组件分段式加热，并通过三个温度控制器控制，可以更精确的对温度调节，便于控制，且对后续的冷却阶段可缩短冷却时间，提升工作效率，并且三个温度控制器可以根据需求温度进行控制，保证了靶管在长度方向上的温度均匀性。

进一步地，所述上加热组件、中加热组件和下加热组件结构、大小相同。

进一步地，所述上加热组件包括相对设置在固定套外壁的第一固定环和第二固定环，第一固定环沿圆周方向水平均布有多个第一固定板，第二固定环外缘上相对第一固定板设有第二固定板，相对设置的第一固定板和第一固定板之间竖直穿设有加热管。

进一步地，所述第一固定板位于第二固定板正上方，所述第一固定板外侧设有用与锁紧加热管的锁紧螺栓。通过设置锁紧螺栓，防止加热管滑落，提高了装置的稳定性，安装拆卸方便，提高了工作效率。

进一步地，所述第二固定板下端设有用于阻挡加热管掉落的挡筒，所述挡筒上端开口且与第二固定板下端连接，所述挡筒底部设有多个通孔，所述挡筒的内径大于加热管的外径。通过设置挡筒进一步提升了加热管的牢固性，保证了装置的稳定性。

进一步地，所述加热管为不锈钢管，加热管内设有加热丝。

进一步地，所述温度传感器通过连接板与固定套连接，所述温度传感器为热电偶。

进一步地，靠近所述固定套上端相对设有两个螺杆，两个所述螺杆分别贯穿固定套外壁且相对设置，两个螺杆相对的一端之间设有钢丝绳，所述螺杆位于固定套外侧的一端设有竖杆。通过设置两个螺杆和钢丝绳，在吊装时，吊钩勾在钢丝绳上，吊装方便提高了工作效率。

进一步地，所述底座呈环状套在固定套外壁上，底座下端与固定套下端平齐，底座的内径与固定套外径相同。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；

图3为图1中B处的局部放大图；

图4为图1中C处的局部放大图；

图5为本实用新型的俯视图；

图6为本实用新型的仰视图；

图7为本实用新型靶管的安装示意图。

图中标记：1、固定套，2、竖杆，3、钢丝绳，4、螺杆，5、第一固定板，6、第一固定环，7、连接板，8、温度传感器，9、加热管，10、第二固定板，11、第二固定环，12、底座，13、锁紧螺栓，14、挡筒，15、靶管。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参阅图1-6，一种靶材绑定用靶管加热装置，包括：底座12、固定套、三个温度传感器8和三个温度控制器，所述固定套1竖直设置在底座12上，所述固定套1外壁上从上到下依次间隔有上加热组件、中加热组件和下加热组件，三个所述温度传感器8从上到下依次间隔设置在固定套1外壁上，用于分别检测上加热组件、中加热组件和下加热组件的温度；三个温度控制器所述分别与上加热组件、中加热组件和下加热组件电性连接，三个温度控制器分别与三个温度传感器8电性连接，所述温度传感器8为热电偶，本申请采用上加热组件、中加热组件和下加热组件分段式加热，并通过三个温度控制器控制，可以更精确的对温度调节，便于控制，且对后续的冷却阶段可缩短冷却时间，提升工作效率，

其中，如图1-5所示，所述上加热组件、中加热组件和下加热组件结构、大小相同，上加热组件包括相对设置在固定套1外壁的第一固定环6和第二固定环11，第一固定环6沿圆周方向水平均布有多个第一固定板5，第二固定环11外缘上相对第一固定板5设有第二固定板10，相对设置的第一固定板5和第一固定板5之间竖直穿设有加热管9，所述加热管9为不锈钢管，加热管9内设有加热丝，中加热组件和下加热组件与上加热组件结构、大小完全相同。

具体的，所述第一固定板5和第二固定板10均为四个，四个第一固定板5和四个第二固定板10分别相对设置，加热管9为四个，加热管9从上到下依次贯穿第一固定板5和第二固定板10。

更具体的，所述第一固定板5位于第二固定板10正上方，所述第一固定板5外侧设有用与锁紧加热管9的锁紧螺栓13，所述锁紧螺栓13为绝缘螺栓，所述第二固定板10下端设有用于阻挡加热管9掉落的挡筒14，所述挡筒14上端开口且与第二固定板10下端连接，所述挡筒14底部设有多个第一通孔，多个第一通孔用于线路通过，通过设置锁紧螺栓和挡筒14，防止了加热管9滑落，提高了装置的稳定性，安装拆卸方便，提高了工作效率，挡筒14的内径大于加热管9的外径，温度传感器8通过连接板7与固定套1连接，连接板7设置在固定套外壁上且位于其中两个加热管9之间，温度传感器8设置在连接板7上。

此外，底座12呈环状套在固定套1外壁上，底座12下端与固定套1下端平齐，底座12的内径与固定套1外径相同，固定套1为铝合金管，第一固定环6、第二固定环11连接板7、第一固定板5和第二固定板10分别为耐高温材质制成，第一固定环6和第二固定环11分别通过螺钉与固定套1连接。

当然，本实用新型并不仅限于上述所介绍的实施方式，以下还提供了几种基于本实用新型的设计构思其他的实施方式。

例如，在其他实施方式中，与上述介绍的实施方式不同的是，如图1所示，靠近所述固定套1上端相对设有两个螺杆4，两个所述螺杆4分别贯穿固定套1外壁且相对设置，两个螺杆4相对的一端之间设有钢丝绳3，所述螺杆4位于固定套1外侧的一端设有竖杆2，通过设置两个螺杆4和钢丝绳3，在吊装时，吊钩勾在钢丝绳3上，吊装方便提高了工作效率。

例如，在其他实施方式中，与上述介绍的实施方式不同的是，所述第一固定板5和第二固定板10均为六个，六个第一固定板5和六个第二固定板10分别相对设置，加热管9为六个，加热管9从上到下依次贯穿第一固定板5和第二固定板10。

再例如，在其他实施方式中，与上述介绍的实施方式不同的是，相邻两个加热管9之间填充有纤维棉，加热管9外壁上还包裹有玻璃纤维布，有良好的保温作用。

本申请的工作原理为：将本申请的加热装置放在加热平台上，如图7所示，将靶管15套在加热装置上开始对其加热，通过三个温度控制器分别控制上加热组件、中加热组件和下加热组件的加热温度为220℃正负5度，230℃正负5度和250℃正负5度，最终靶管15整个长度方向上的温度能够达到180℃左右，且均匀一致，上下温差能够小于5℃，本申请温度均匀性高，成本低，机械化水平较高，生产连续性好，有效解决了玻璃纤维加热棒使用寿命短，难维修，温度均匀性差，成本高等问题，有效的提高了工作效率，降低了靶材绑定时开裂的风险且提高了贴合强度。

需要说明的是，上述实施例仅用来说明本实用新型，但本实用新型并不局限于上述实施例，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于，包括：

底座（12），

固定套（1），竖直设置在底座（12）上，所述固定套（1）外壁上从上到下依次间隔有上加热组件、中加热组件和下加热组件，

三个温度传感器（8），从上到下依次间隔设置在固定套（1）外壁上，用于分别检测上加热组件、中加热组件和下加热组件的温度；

三个温度控制器，分别与上加热组件、中加热组件和下加热组件电性连接，三个所述温度控制器分别与三个温度传感器（8）电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：所述上加热组件、中加热组件和下加热组件结构、大小相同。

3.根据权利要求1所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：所述上加热组件包括相对设置在固定套（1）外壁的第一固定环（6）和第二固定环（11），第一固定环（6）沿圆周方向水平均布有多个第一固定板（5），第二固定环（11）外缘上相对第一固定板（5）设有第二固定板（10），相对设置的第一固定板（5）和第一固定板（5）之间竖直穿设有加热管（9）。

4.根据权利要求3所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：所述第一固定板（5）位于第二固定板（10）正上方，所述第一固定板（5）外侧设有用与锁紧加热管（9）的锁紧螺栓（13）。

5.根据权利要求4所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：所述第二固定板（10）下端设有用于阻挡加热管（9）掉落的挡筒（14），所述挡筒（14）上端开口且与第二固定板（10）下端连接，所述挡筒（14）底部设有多个通孔，所述挡筒（14）的内径大于加热管（9）的外径。

6.根据权利要求5所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：所述加热管（9）为不锈钢管，加热管（9）内设有加热丝。

7.根据权利要求5所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：所述温度传感器（8）通过连接板（7）与固定套（1）连接，所述温度传感器（8）为热电偶。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：靠近所述固定套（1）上端相对设有两个螺杆（4），两个所述螺杆（4）分别贯穿固定套（1）外壁且相对设置，两个螺杆（4）相对的一端之间设有钢丝绳（3），所述螺杆（4）位于固定套（1）外侧的一端设有竖杆（2）。

9.根据权利要求8所述的一种靶材绑定用靶管加热装置，其特征在于：所述底座（12）呈环状套在固定套（1）外壁上，底座（12）下端与固定套（1）下端平齐，底座（12）的内径与固定套（1）外径相同。

Images