CN216487955U - 一种可调距式充气激光真空紫外灯装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及紫外灯装置技术领域，特别涉及一种可调距式充气激光真空紫外灯装置。包括聚焦透镜、空心圆杆、固定板、第一J形密封圈、镜片、J形圈密封压套、凹槽块、针阀、第二J形密封圈。所述聚焦透镜设置于空心圆杆的一端，所述空心圆杆的另一端设置有镜片，所述空心圆杆的一侧壁面上开设有通孔，所述针阀设置于所述通孔中，且所述针阀与所述通孔贴紧，所述凹槽块套设于所述空心圆杆的外侧，所述凹槽块靠近所述空心圆杆的部分设置有凹槽，所述密封圈组安装于所述凹槽内部，所述固定板套设于所述空心圆杆的外侧，且所述固定板的底部贴紧所述凹槽块。因此本实用新型能够达到可调节出光口位置，并且，不用在装置外重新调节焦距。
Description
技术领域
本实用新型涉及紫外灯装置技术领域，特别涉及一种可调距式充气激光真空紫外灯装置。
背景技术
激光真空紫外(VUV)灯是一种产生真空紫外光的装置，真空紫外光电离是一种能够软电离环境中绝大多数挥发性有机物的单光子电离质谱技术。由于真空紫外光是发散的，因此，其出光口应当尽量靠近电离区。传统的激光真空紫外(VUV)灯装置(图1)，其出光口同电离区距离固定，一旦设计制作完成无法改变出光口与电离区之间的距离。并且，需要额外在真空腔体外放置聚焦透镜，调整焦距使激光聚焦于靠近氟化镁镜片处的氪气，氪气受激辐射产生真空紫外光。因此，传统的激光真空紫外(VUV)灯装置存在下述问题：对加工精度要求高，缺乏灵活的调节性能，装置一旦制作完成后无法调节出光口位置，需要在装置加工前固定出光口与电离区的距离。更换仪器或者耦合其他解析源后，一旦电离区距出光口位置改变就需要重新设计真空紫外(VUV)灯装置；并且，装置需要在腔体外调节焦距，移动装置后就需要重新对焦，不够便携，因此迫切需要改进。
实用新型内容
本实用新型为了克服上述现有技术的不足，提供了一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，解决了现有技术中的制作完成之后无法调节出光口位置，更换仪器或者耦合其他解析源后，一旦电离区距出光口位置改变就需要重新设计制作装置、需要在腔体外重新调节焦距，移动装置后就需要重新对焦的问题。
要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为：
一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，包括：
聚焦透镜，其设置于空心圆杆的一端；
空心圆杆，其另一端设置有镜片，所述空心圆杆的一侧壁面上开设有通孔；
针阀，其设置于所述通孔中，且所述针阀与所述通孔贴紧；
凹槽块，其套设于所述空心圆杆的外侧，所述凹槽块靠近所述空心圆杆的部分设置有凹槽；
密封圈组，其安装于所述凹槽内部；
固定板，其套设于所述空心圆杆的外侧，且所述固定板的底部贴紧所述凹槽块。
优选的，所述密封圈组包括：
第一J形密封圈，其设置于所述凹槽块的凹槽底部；
J形圈密封压套，其安装于所述第一J形密封圈的上部；
第二J形密封圈，其安装于所述J形圈密封压套的上部。
优选的，所述固定板上包括多个螺纹孔，所述螺纹孔中设置有螺丝，所述螺丝与螺纹孔螺纹配合。
优选的，所述镜片的材质为氟化镁镜片。
优选的，所述空心圆杆为密闭式圆杆。
优选的，所述凹槽块的材质为304不锈钢。
优选的，所述第一J形密封圈、第二J形密封圈的材质为丁腈橡胶材质。
优选的，所述J形圈密封压套的材质为304不锈钢。
优选的，所述聚焦透镜作为入光口，所述镜片作为出光口。
优选的，所述针阀用于充入氪气。
本实用新型的有益效果为：
(1)、本实用新型的可调距式充气激光真空紫外灯装置通过针阀往空心圆杆中充入氪气，通过上下调节空心圆杆控制所需的出光口位置，将空心圆杆用螺丝同固定板固定，将一束激光从聚焦透镜处射入空心圆杆中，空心圆杆中氪气受激辐射发出真空紫外光，真空紫外光便可通过氟化镁镜片射出。因此本实用新型能够达到可调节出光口位置，并且，不用在装置外重新调节焦距。
(2)、本实用新型的可调距式充气激光真空紫外灯装置调节灵活，结构简单，便于携带。
附图说明
下面对本实用新型说明书中每幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：
图1为现有技术中的激光真空紫外灯装置的结构示意图；
图2为本实用新型的可调距式充气激光真空紫外灯装置的结构示意图。
图中的附图标记含义如下：
1—聚焦透镜 2—空心圆杆
3—固定板 4—第一J形密封圈
5—镜片 6—J形圈密封压套
7—凹槽块 8—针阀
9—第二J形密封圈
具体实施方式
下面对照附图，对本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明：
请参阅图2，图2为本实用新型的可调距式充气激光真空紫外灯装置的结构示意图。一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，包括聚焦透镜1、空心圆杆2、固定板3、第一J形密封圈4、镜片5、J形圈密封压套6、凹槽块7、针阀8、第二J形密封圈9。所述聚焦透镜1设置于空心圆杆2的一端，所述空心圆杆2的另一端设置有镜片5，所述空心圆杆2的一侧壁面上开设有通孔，所述针阀8设置于所述通孔中，且所述针阀8与所述通孔贴紧，所述凹槽块7套设于所述空心圆杆2的外侧，所述凹槽块7靠近所述空心圆杆2的部分设置有凹槽，所述密封圈组安装于所述凹槽内部，所述固定板3套设于所述空心圆杆2的外侧，且所述固定板3的底部贴紧所述凹槽块7。
所述密封圈组包括第一J形密封圈4、J形圈密封压套6、第二J形密封圈9，所述第一J形密封圈4设置于所述凹槽块7的凹槽底部，所述J形圈密封压套6安装于所述第一J形密封圈4的上部，所述第二J形密封圈9安装于所述J形圈密封压套6的上部。
所述固定板3上包括多个螺纹孔，所述螺纹孔中设置有螺丝，所述螺丝与螺纹孔螺纹配合，所述镜片5的材质为氟化镁镜片，所述空心圆杆2为密闭式圆杆，所述凹槽块7的材质为304不锈钢，所述第一J形密封圈4、第二J形密封圈9的材质为丁腈橡胶材质，所述J形圈密封压套6的材质为304不锈钢，所述聚焦透镜1作为入光口，所述镜片5作为出光口，所述针阀8用于充入氪气。
所述J形密封圈组可以由盖板压紧，所述盖板的底部有凸起，从而更好的压住J形密封圈组，所述固定板3的螺纹孔设置在凸起的上部，所述固定板3上包括但不限于四个螺纹孔。
为使本实用新型技术方案更加清楚明了，以下通过一具体实施例对本实用新型的工作过程进行说明。
一根长为L的不锈钢空心圆杆2，首尾分别用聚焦透镜1和氟化镁镜片，将钢空心圆杆2的内部进行密封。聚焦透镜1焦距为L1；氟化镁镜片对产生的真空紫外光有良好的透光率，氟化镁镜片作为其出光口。空心圆杆2靠近聚焦透镜1的位置设有一通孔，通孔连针阀8，用以充放气体。空心圆杆2穿过带凹槽的不锈钢凹槽块7，凹槽内设有一J形密封圈组将空心圆杆2包裹。J形密封圈由两个丁腈橡胶材质的J形密封圈，分别为第一J形密封圈4和第二J形密封圈9，夹住一个不锈钢材质的J形圈密封压套6组成，再由一侧面带有4个螺纹孔的固定板3封住凹槽口。将氪气通过针阀8充入空心圆杆2中密封，空心圆杆2穿过凹槽块7，其凹槽处放置有J形密封圈组，可以通过上下滑动空心圆杆2的方式调节所需的出光口的位置，调节到合适的位置后将固定板3盖封于凹槽口上，并将固定板3侧面的螺丝拧入，用以卡住空心圆杆2，将其位置固定。将一束光斑大小为D1的355nm激光从聚焦透镜1处射入空心圆杆2中，经聚焦透镜1聚焦于一点，此聚焦点距聚焦透镜1距离为L1，氟化镁镜片距离为L2，氪气在此位置受激辐射发出光斑大小为D2的真空紫外光，其中
真空紫外光便可通过氟化镁镜片射出。
综上所述，本实用新型提供的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，首先，通过针阀8往空心圆杆2中充入氪气，通过上下调节空心圆杆2控制所需的出光口位置，将空心圆杆2用螺丝同固定板3固定，其次，将一束激光从聚焦透镜1处射入空心圆杆2中，空心圆杆2中氪气受激辐射发出真空紫外光，真空紫外光便可通过氟化镁镜片射出。以上设计最终可以达到可调节出光口位置，并且，不用在装置外重新调节焦距的目的。且本实用新型的可调距式充气激光真空紫外灯装置调节灵活，结构简单，便于携带。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施方式只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的技术方案下得出的其他实施方式，均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于，包括：
聚焦透镜(1)，其设置于空心圆杆(2)的一端；
空心圆杆(2)，其另一端设置有镜片(5)，所述空心圆杆(2)的一侧壁面上开设有通孔；
针阀(8)，其设置于所述通孔中，且所述针阀(8)与所述通孔贴紧；
凹槽块(7)，其套设于所述空心圆杆(2)的外侧，所述凹槽块(7)靠近所述空心圆杆(2)的部分设置有凹槽；
密封圈组，其安装于所述凹槽内部；
固定板(3)，其套设于所述空心圆杆(2)的外侧，且所述固定板(3)的底部贴紧所述凹槽块(7)。
2.如权利要求1所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于，所述密封圈组包括：
第一J形密封圈(4)，其设置于所述凹槽块(7)的凹槽底部；
J形圈密封压套(6)，其安装于所述第一J形密封圈(4)的上部；
第二J形密封圈(9)，其安装于所述J形圈密封压套(6)的上部。
3.如权利要求2所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述固定板(3)上包括多个螺纹孔，所述螺纹孔中设置有螺丝，所述螺丝与螺纹孔螺纹配合。
4.如权利要求1所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述镜片(5)的材质为氟化镁镜片。
5.如权利要求1所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述空心圆杆(2)为密闭式圆杆。
6.如权利要求2所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述凹槽块(7)的材质为304不锈钢。
7.如权利要求2所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述第一J形密封圈(4)、第二J形密封圈(9)的材质为丁腈橡胶材质。
8.如权利要求2所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述J形圈密封压套(6)的材质为304不锈钢。
9.如权利要求3所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述聚焦透镜(1)作为入光口，所述镜片(5)作为出光口。
10.如权利要求3所述的一种可调距式充气激光真空紫外灯装置，其特征在于：所述针阀(8)用于充入氪气。
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