CN216450591U - 一种夹持式扫描电镜样品台装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种夹持式扫描电镜样品台装置，包括样品座和夹持板，其中：样品座可以为多面体，在一些实施例中样品座为六面体，样品座具有第一表面，第一表面用于放置样品；夹持板安装在样品座上并与样品座的第二表面之间形成夹持空间，夹持空间用于卡紧样品相对第一表面凸出的部分，具体的，可以通过将样品放置在夹持空间后，通过在样品和夹持板或第二表面之间填充挤压块实现样品在夹持空间的固定；第一表面和第二表面不在同一平面内，进而保证对样品的固定，避免在测试过程中样品掉落；为了便于固定多个凸出的样品，在一些实施例中夹持板至少设有两块，两块夹持板与样品座不同的两个表面之间形成至少两个不同的夹持空间。

Description

一种夹持式扫描电镜样品台装置

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜测试装置技术领域，尤其涉及一种夹持式扫描电镜样品台装置。

背景技术

扫描电镜即扫描电子显微镜，聚焦的高能电子束轰击样品表面，通过对电子束与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等信号的分析，可对试样表面以及断口形貌进行观察和分析。扫描电镜具有高分辨率，高放大倍数，景深大、视野大，成像富有立体感，搭配X射线能谱仪，同时可进行形貌的观察和微区成分分析。扫描电镜是材料领域的一种重要的表征分析手段，

常规的扫描电镜制样方法即用导电胶将待测样品粘在平面或截面样品台上，此方法适用于常规片状、块状、粉末状样品。但对于形状特异，如有凸出、凹陷、转角的样品，用扫描电镜来观测此类样品的表面或断口，常用的平面或者截面样品台并不能完全固定，可能会导致样品在测试过程中掉落进而对仪器造成损坏，而且对于特殊角度的观测不便调整样品的固定位置和拍摄角度。针对此类异形样品的测试，需要设计一种特制样品台，以适用于特异形状样品的夹持固定，以保证良好的测试角度，避免测试过程中样品掉落。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种夹持式扫描电镜样品台装置。

本实用新型提出的一种夹持式扫描电镜样品台装置，包括样品座和夹持板，其中：

样品座可以为多面体，在一些实施例中样品座为六面体，样品座具有第一表面，第一表面用于放置样品；

夹持板安装在样品座上并与样品座的第二表面之间形成夹持空间，夹持空间用于卡紧样品相对第一表面凸出的部分，具体的，可以通过将样品放置在夹持空间后，通过在样品和夹持板或第二表面之间填充挤压块实现样品在夹持空间的固定；

第一表面和第二表面不在同一平面内，进而保证对样品的固定，避免在测试过程中样品掉落；

为了便于固定多个凸出的样品，在一些实施例中夹持板至少设有两块，两块夹持板与样品座不同的两个表面之间形成至少两个不同的夹持空间。

避免样品在自身重力作用下相对第一表面发生移动，进一步防止样品掉落，作为本实用新型进一步优化的方案，第一表面为样品座的上表面。

为了便于不同的样品，且便于样品夹紧在夹持空间，作为本实用新型进一步优化的方案，夹持空间的宽度可调，具体的夹持板可以通过现有的不同长度的固定销固定在样品座上，通过更换不同长度的固定销改变夹持空间的宽度。

为了减少零部件，在一些实施例中优选的，夹持板通过螺纹方式安装在样品座上。

为了便于多块夹持板的安装，避免固定夹持板的固定件贯穿样品座，在一些实施例中优选的，夹持板通过螺柱安装在样品座上，螺柱的底端与样品座转动连接，螺柱贯穿夹持板并与夹持板通过螺纹方式连接。

为了进一步对样品的固定，作为本实用新型进一步优化的方案，第一表面和第二表面上均涂有导电胶。

为了便于清洗，作为本实用新型进一步优化的方案，第一表面上安装有载台，载台用于放置样品，载台可拆卸安装在样品座上。

为了适应不同形状的样品，作为本实用新型进一步优化的方案，载台远离第一表面的表面距离第一表面之间的距离可调，载台可以通过现有的卡接柱固定在样品座上，通过更换不同长度的卡接柱调节载台距离第一表面的距离；

在一些实施例中优选的，载台上固定有螺柱，样品台上开有螺纹孔，螺柱与螺纹孔匹配，通过转动螺柱或载台改变螺柱延伸至螺纹孔的距离进而调节载台距离第一表面的距离。

作为本实用新型进一步优化的方案，载台上涂有导电胶，导电胶的设定进一步对样品的固定。

进一步便于对具有阶梯面的样品进行固定，作为本实用新型进一步优化的方案，载台设有多个。

本实用新型中，所提出的夹持式扫描电镜样品台装置，在使用过程中将样品的一个面与第一表面接触，样品相对第一表面凸出的部分通过夹持板卡在夹持空间内，避免异性样品在检测过程中掉落，进而提高检测效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1为本实用新型实施例一结构示意图；

图2为本实用新型实施例二结构示意图；

图3为本实用新型实施例三结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中表示，其中自始至终相同或类似的符号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解对本实用新型的限制。

需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1所示的一种夹持式扫描电镜样品台装置，包括载台1、样品座2和夹持板3，其中：

样品座2为铝材料制成的长方体，样品座2具有第一表面，第一表面用于放置样品，第一表面为样品座2的上表面；

样品座2的上表面上开有多个螺纹孔20，载台1为铝材料制成，载台1设有多个，载台1下方固定有连接柱4，螺连接柱4的下端开有外螺纹，螺连接柱4通过通过螺纹方式与螺纹孔20连接，且一个载台1通过螺连接柱4安装在一个螺纹孔20内，载台1的上表面用于支撑固定样品，为了进一步对样品的固定，载台1的上表面粘有导电胶层；

为了避免相邻的载台1在转动过程中相互干涉，载台1为圆盘状，且载台1相对样品座2转动的轴线与载台1的轴线重合；

夹持板3为铝材料制成，夹持板3安装在样品座2上并与样品座2的第二表面之间形成夹持空间，第二表面为样品座2的一个侧面，夹持空间用于卡紧样品相对第一表面凸出的部分，具体的，可以通过将样品放置在夹持空间后，通过在样品和夹持板3或第二表面之间填充挤压块实现样品在夹持空间的固定；

具体的，为了便于对样品的固定，夹持板3与第二表面相对的侧面为平面并与第二表面平行；

在本实施例中优选的，夹持空间的宽度可调，即夹持板3与第二表面相对的侧面距离第二表面的距离可调，为了便于不同的样品，且便于样品夹紧在夹持空间；

在本实施例中具体的，夹持板3通过螺纹方式安装在样品座2上，为了避免固定夹持板3的部件贯穿样品座2，在本实施例中优选的，夹持板3通过螺柱5安装在样品座2上，螺柱5的底端与样品座2转动连接，螺柱5贯穿夹持板3并与夹持板3通过螺纹方式连接；

为了进一步对样品的固定，在本实施例中优选的，第二表面和夹持板3与第二表面相对的表面均涂有导电胶；

本实施例在工作过程中：

1：转动螺柱5使夹持板3远离样品座2，夹持板3内侧和样品座2内与夹持板3相对的第二表面分别粘上导电胶，在载台1上粘上导电胶；

2：将待测的异形样品如带有转角的螺钉放置在夹持板3内，且样品的一个下表面粘在载台1上，转动螺杆使夹持板3向样品座2方向移动进而使待测样品夹在夹持板3和样品座2中间；

3：将固定好样品的样品座2转移至扫描电镜样品室内；

4：样品室抽真空，当真空度达到一定值时，待抽真空结束后调整升降台，将样品台升至合适位置；

5：将样品台调整至合适的测试角度，按扫描电镜正常测试步骤对样品进行拍摄、测试、记录数据；

6：测试结束后，将样品台降至安全位置，卸真空并向样品室补入惰性气体(如N2)，测试结束对样品进行后处理，样品台清理后备用。

实施例二

如图2所示，本实施例与上述实施例的不同之处在于：夹持板3通过水平移动机构安装在样品座2上，水平移动机构可以为电缸6、液压缸、丝杆滑块机构等现有的水平移动机构，在本实施例中为电缸6。

实施例三

如图3所示，本实施例与上述实施例的不同之处在于，还包括滑杆7，滑杆7固定在样品座2上，夹持板3滑动安装在滑杆7上，且夹持板3通过固定件8固定在滑杆7上，固定件8为螺钉，通过夹持板3在滑杆7上滑动改变夹持板3距离样品座2的距离。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，包括样品座和夹持板，其中：

样品座具有第一表面，第一表面用于放置样品；

夹持板安装在样品座上并与样品座的第二表面之间形成夹持空间；

第一表面和第二表面不在同一平面内。

2.根据权利要求1所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，第一表面为样品座的上表面。

3.根据权利要求1所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，夹持空间的宽度可调。

4.根据权利要求3所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，夹持板通过螺纹方式安装在样品座上。

5.根据权利要求4所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，夹持板通过螺柱安装在样品座上，螺柱的底端与样品座转动连接，螺柱贯穿夹持板并与夹持板通过螺纹方式连接。

6.根据权利要求1所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，第一表面和第二表面上均涂有导电胶。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，第一表面上安装有载台，载台用于放置样品。

8.根据权利要求7所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，载台远离第一表面的表面距离第一表面之间的距离可调。

9.根据权利要求7所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，载台上涂有导电胶。

10.根据权利要求7所述的夹持式扫描电镜样品台装置，其特征在于，载台设有多个。

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