CN216435862U - 一种硅片输送定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型请求保护的硅片输送定位装置，包括取片机构、硅片支撑平台和硅片传送机构：取片机构能够依次从花篮中取出硅片；硅片支撑平台包括相对设置的两排支撑定位块，其中每排支撑定位块中的支撑定位块依次以预设间隙的方式进行间隔设置，且相对的支撑定位块配合能够支撑由取片机构取出的硅片；硅片传送机构能够作用于硅片支撑平台上的硅片，以使硅片依次排布于硅片支撑平台上。本实用新型能够实现对花篮内硅片的取片、送片及定位，避免硅片在输送定位过程中造成硅片表面的污染，进而确保了硅片表面的质量，进而具有提高硅片生产良率的作用。

Description

一种硅片输送定位装置

技术领域

本实用新型属于硅片传送相关的技术领域，特别是涉及一种硅片输送定位装置。

背景技术

PECVD/PVD/RPD制备工艺与设备中硅片的传送为该工序一个重要环节，即由传送装置将硅片移载到载板上，在放置硅片之前首先要将载板进行精确定位，再通过移载机构带动已排布好硅片的载板放置到PECVD/PVD/RPD的腔室中。为防止镀膜过程将硅片边缘位置镀膜到背面，这对载板定位精度和硅片放置精度提出更高要求。

目前，现有硅片的传送通常采用输送带的方式，具体采用吸盘或者吸嘴以吸附的方式从花篮中硅片取出，之后再将取出的硅片直接放置于输送带上，并用输送带的移动实现对硅片的传送。然而，用吸盘或者吸嘴吸附硅片、以及将硅片直接放置于输送带上，这样对硅片会造成污染，使得硅片表面产生吸嘴印及皮带印，从而直接影响硅片的表面质量，制约硅片的生产良率。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术中存在的技术问题，提供一种硅片输送定位装置。

一种硅片输送定位装置，包括：

取片机构，所述取片机构能够依次从花篮中取出硅片；

硅片支撑平台，所述硅片支撑平台包括相对设置的两排支撑定位块，相对的支撑定位块配合能够支撑由所述取片机构取出的硅片；

硅片传送机构，所述硅片传送机构能够作用于所述硅片支撑平台上的硅片，以使硅片依次排布于所述硅片支撑平台上。

在本申请中，通过上述的结构设置，使得该硅片输送定位装置工作时，用取片机构从花篮中取出硅片，并将取出的硅片放置于硅片支撑平台的支撑定位块上，然后再利用硅片传送机构对硅片支撑平台上硅片的传送，使得取片机构能够依次从花篮中取出硅片，并将取出的硅片排布于硅片支撑平台的支撑定位块上，亦即达到取片、送片及定位的作用，以此避免硅片在输送定位过程中造成硅片表面的污染，进而确保了硅片表面的质量，进而具有提高硅片生产良率的作用。

在其中一个实施例中，所述取片机构包括第一横移模组、第一升降驱动件和取片板，所述取片板安装于所述第一升降驱动件上；沿硅片的取出方向，所述第一横移模组能够驱动所述第一升降驱动件及所述取片板作相对于花篮的往复运动，沿硅片取出方向的竖向方向，所述第一升降驱动件能够驱动所述取片板作相对于所述花篮的往复运动。

可以理解的是，通过上述的结构设置，具体实现该取片机构的结构设置，使得该取片机构工作时，取片板在第一横移模组及第一升降驱动件的驱动下能够依次从花篮内取出硅片。

在其中一个实施例中，所述取片板上设有多个第一限位凸块，多个所述第一限位凸块间隔设置，且所述取片板能够通过所述第一限位凸块作用于硅片的侧边，以抓取对应的硅片。

可以理解的是，通过上述第一限位凸块的结构设置，使得该取片板在取片时，可用取片板上第一限位凸块与硅片侧边之间的配合达到抓取硅片的目的，避免取片板直接与硅片的表面接触，具有确保该取片板所作用的硅片的表面质量的作用。

在其中一个实施例中，所述支撑定位块上设置有支撑斜面，所述支撑斜面能够作用于硅片的侧边，以将所述硅片限位安装于相对的支撑定位块的支撑斜面上。

可以理解的是，通过上述的结构设置，使得硅片支撑平台工作时，具体可用支撑定位块上支撑斜面抵接硅片的侧边，以此达到支撑硅片的目的，避免支撑定位块直接与硅片的表面接触，具有确保该支撑定位块所作用的硅片的表面质量的作用。

在其中一个实施例中，所述硅片支撑平台还包括支撑立柱和连接板，其中每排所述支撑定位块均安装于对应的所述连接板上，所述支撑立柱安装于所述连接板背离所述支撑定位块的一端上，用以对所述连接板进行支撑。

可以理解的是，通过上述支撑立柱及连接板的结构设置，具体实现每排支撑定位块在该硅片支撑平台中的装配连接，使得每排支撑定位块中的支撑定位块设置为整体结构，具有简化结构，便于生产制备的作用。

在其中一个实施例中，所述硅片传送机构包括第二横移模组、第二升降驱动件和硅片搬运支撑杆，所述硅片搬运支撑杆安装于所述第二升降驱动件上，其中所述硅片搬运支撑杆设置在两排所述支撑定位块之间的位置；沿硅片的取出方向，所述第二横移模组能够驱动所述第二升降驱动件及所述硅片搬运支撑杆作相对于花篮的往复运动，沿所述硅片取出方向的竖向方向，所述第二升降驱动件能够驱动所述硅片搬运支撑杆作相对于所述花篮的往复运动。

可以理解的是，通过上述的结构设置，具体实现该硅片传送机构的结构设置，使得该硅片传送机构工作时能够同时作用于置于硅片支撑平台上的硅片，并可将硅片在硅片支撑平台后移一个工位，以此满足该硅片传送机构对硅片支撑平台上硅片传送的使用需求，具有简化结构，便于将该硅片传送机构与硅片支撑平台之间的装配。

在其中一个实施例中，所述硅片搬运支撑杆上设置有多个第二限位凸块，多个所述第二限位凸块对应相对的支撑定位块，且所述硅片搬运支撑杆能够通过所述第二限位凸块作用于硅片的侧边，以从所述支撑定位块上提取对应的硅片。

可以理解的是，通过上述第二限位凸块的结构设置，使得该硅片搬运支撑杆作用于硅片时，可用硅片搬运支撑杆上第二限位凸块与硅片侧边之间的配合达到抓取硅片的目的，避免硅片搬运支撑杆直接与硅片的表面接触，具有确保该硅片搬运支撑杆所作用的硅片的表面质量的作用。

在其中一个实施例中，所述硅片输送定位装置还包括硅片抬升机构，所述硅片抬升机构作用于置于所述硅片支撑平台的硅片，以抬升对应的所述硅片脱离所述硅片支撑平台。

可以理解的是，通过上述硅片抬升机构的结构设置，使得该硅片输送定位装置工作时，可用硅片抬升机构抬升在硅片支撑平台上排布好的硅片，以便于后续对硅片的移载；于此同时，该取片机构及硅片传送机构能够正常工作，节省因后续对硅片移载所需要的等待时间，具有提高该硅片输送定位装置工作效率的作用。

在其中一个实施例中，所述硅片抬升机构包括第一伸缩驱动件、第三升降驱动件和两排导向支撑块，两排所述导向支撑块对应两排所述支撑定位块，其中相对的导向支撑块能够与对应的相对所述支撑定位块配合并作用于同一片硅片上；沿硅片取出方向的纵向方向，所述第一伸缩驱动件能够驱动两排所述导向支撑块作相对于所述花篮的往复运动，沿硅片取出方向的竖向方向，所述第三升降驱动件能够驱动对应的两排所述导向支撑块作相对于所述花篮的往复运动。

可以理解的是，通过上述的结构设置，具体实现该硅片抬升机构的结构设置，使得该硅片抬升机构工作时，用第三升降驱动件驱动导向支撑块作用于硅片，并带动硅片脱离支撑定位块，待导向支撑块上的硅片被移载完之后，第三升降驱动件复位，在此过程中，可用第一伸缩驱动件驱动导向支撑块对支撑定位块起到避让的作用，避免导向支撑块与支撑定位块发生干涉，以此达到该硅片抬升机构与硅片支撑平台之间装配的使用需求，具有简化结构，便于装配的作用。

在其中一个实施例中，所述硅片输送定位装置还包括花篮升降机构，沿硅片取出方向的竖向方向，所述花篮升降机构能够驱动所述花篮作相对于所述取片机构的往复运动，以使所述取片机构依次从花篮中取出硅片。

可以理解的是，通过上述花篮升降机构的结构设置，使得该花篮升降机构工作时能够带动花篮内硅片依次与取片机构配合并被取出，进而满足取片机构能够依次从花篮上取片的使用需求。

附图说明

图1为本申请一实施例所提供的硅片输送定位装置的结构示意图。

图2为图1另一视角的结构示意图。

图3为本申请中取片机构、硅片支撑平台及硅片传送机构的装配结构示意图。

图4为图3另一视角的结构示意图。

其中，10、取片机构；11、第一横移模组；12、第一升降驱动件；13、取片板；131、第一限位凸块；20、硅片支撑平台；21、支撑定位块；211、支撑斜面；22、支撑立柱；23、连接板；30、硅片传送机构；31、第二横移模组； 32、第二升降驱动件；33、硅片搬运支撑杆；331、第二限位凸块；40、硅片抬升机构；41、第一伸缩驱动件；42、第三升降驱动件；43、导向支撑块；431、安装板；50、花篮升降机构；200、花篮；201、硅片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

本实用新型请求保护的硅片输送定位装置，应用在镀膜设备制备工艺与设备中硅片的传送环节，用于从花篮上取出硅片并将取出的硅片输送定位，以便后续对硅片的移载，后续具体可将硅片移载至载板上，然后再将已排布好硅片的载板放置到镀膜设备的腔室中进行硅片的镀膜。

请参阅图1至图4，本实用新型一实施例所提供的硅片输送定位装置，包括取片机构10、硅片支撑平台20和硅片传送机构30。

本实施例的取片机构10工作时能够依次从花篮200中取出硅片201。

具体地，本实施例的取片机构10包括第一横移模组11、第一升降驱动件 12和取片板13，取片板13安装于第一升降驱动件12上；沿硅片201的取出方向，第一横移模组11能够驱动第一升降驱动件12及取片板13作相对于花篮200 的往复运动，沿硅片201取出方向的竖向方向，第一升降驱动件12能够驱动取片板13作相对于花篮200的往复运动。需要说明的是，第一横移模组11具体可设置为同步带传送机构或者丝杠螺母的传送机构，且第一升降驱动件12具体可设置为升降气缸或者升降电机，在此就不展开阐述。

可以理解，本实施例的取片机构10工作时，第一横移模组11能够带动取片板13进入至花篮200内，第一升降驱动件12能够带动取片板13移动至硅片 201所在的位置，并抓取硅片201；然后，第一横移模组11再朝相反方向运动并将取片板13抓取的硅片201运送至硅片支撑平台20上；接着，第一升降驱动件12复位，使得该取片机构10抓取的硅片201被移送至硅片支撑平台20上，以此实现该取片机构10工作时对花篮200内硅片201的取片作业。

其中，本实施例的取片板13上设有多个第一限位凸块131，多个第一限位凸块131间隔设置，且取片板13能够通过第一限位凸块131作用于硅片201的侧边，以抓取对应的硅片201。使得该取片板13在取片时，可用取片板13上第一限位凸块131与硅片201侧边之间的配合达到抓取硅片201的目的，避免取片板13直接与硅片201的表面接触，具有确保该取片板13所作用的硅片201 的表面质量的作用。

需要说明的是，本实施例的第一限位凸块131设置为锥形结构，以便于置于花篮200内的取片板13在朝向硅片201的方向运动时，该取片板13上第一限位凸块131能够卡接于该硅片201的侧边。另外，本实施例的第一限位凸块 131的数量为四个，四个第一限位凸块131两两对称地分居于取片板13的两侧，以便于该取片板13通过第一限位凸块131作用于硅片201上时对硅片201的抓取，并提高该取片板抓取硅片201时的稳定性。

本实施例的硅片支撑平台20包括相对设置的两排支撑定位块21，其中每排支撑定位块21中的支撑定位块21等间距的排列设置，且相对的支撑定位块21 能够支撑由取片机构10取出的硅片201，以此达到该硅片支撑平台20对硅片 201的限位支撑。

其中，本实施例的硅片支撑平台20具体用相对设置的两个支撑定位块21 来对应支撑一个硅片201，相对的两个支撑定位块21为一组，使得该硅片支撑平台20工作时，能够对数量等于每排支撑定位块21中支撑定位块21个数的硅片201起到支撑。当然，该硅片支撑平台20用以支撑硅片201的支撑定位块21 不局限为一组，具体可为两组、三组、甚至更多组。

具体地，本实施例的支撑定位块21上设置有支撑斜面211，支撑斜面211 能够作用于硅片201的侧边，以将硅片201限位安装于相对的支撑定位块21的支撑斜面211上，以此实现该硅片支撑平台20对硅片201的安装限位。

可以理解，本实施例的支撑定位块21用支撑斜面211抵接硅片201的侧边，可以避免支撑定位块21在支撑硅片201时直接与硅片201的表面接触，具有确保该支撑定位块21所作用的硅片201的表面质量的作用。

另外，本实施例的硅片支撑平台20还包括支撑立柱22和连接板23，其中每排支撑定位块21均安装于对应的连接板23上，支撑立柱22安装于连接板23 背离支撑定位块21的一端上，用以对连接板23进行支撑。以此实现每排支撑定位块21在该硅片支撑平台20中的装配连接，使得每排支撑定位块中的支撑定位块21设置为整体结构，具有简化结构，便于生产制备的作用。

本实施例的硅片传送机构30能够作用于硅片支撑平台20上的硅片201，以使硅片201依次排布于硅片支撑平台20上，具体可使硅片201布满该硅片支撑平台20上每组支撑定位块21。

具体地，本实施例的硅片传送机构30包括第二横移模组31、第二升降驱动件32和硅片搬运支撑杆33，硅片搬运支撑杆33安装于第二升降驱动件32上，其中硅片搬运支撑杆33设置在两排支撑定位块21之间的位置；沿硅片201的取出方向，第二横移模组31能够驱动第二升降驱动件32及硅片搬运支撑杆33 作相对于花篮200的往复运动，沿硅片201取出方向的竖向方向，第二升降驱动件32能够驱动硅片搬运支撑杆33作相对于花篮200的往复运动。使得该硅片传送机构30工作时能够同时作用于置于硅片支撑平台20上的硅片201，并可将硅片201在硅片支撑平台20后移一个工位，以此满足该硅片传送机构30对硅片支撑平台20上硅片201传送的使用需求，具有简化结构，便于将该硅片传送机构30与硅片支撑平台20之间的装配。需要说明的是，第二横移模组31的结构及工作原理与第一横移模组11的结构及工作原理相同，在此就不重复说明。

其中，本实施例的硅片搬运支撑杆33上设置有多个第二限位凸块331，多个第二限位凸块331对应相对的支撑定位块21，且硅片搬运支撑杆33能够通过第二限位凸块331作用于硅片201的侧边，以从支撑定位块21上提取对应的硅片201。使得该硅片搬运支撑杆33作用于硅片201时，可用硅片搬运支撑杆33 上第二限位凸块331与硅片201侧边之间的配合达到抓取硅片201的目的，避免硅片搬运支撑杆33直接与硅片201的表面接触，具有确保该硅片搬运支撑杆 33所作用的硅片201的表面质量的作用。

作为本实用新型的优选方案，本实用新型的硅片输送定位装置还包括硅片抬升机构40，硅片抬升机构40作用于置于硅片支撑平台20的硅片201，以抬升对应的硅片201脱离硅片支撑平台20。

可以理解的是，通过上述硅片抬升机构的结构设置，使得该硅片输送定位装置工作时，可用硅片抬升机构40抬升在硅片支撑平台20上排布好的硅片201，以便于后续对硅片201的移载；于此同时，该取片机构10及硅片传送机构30 能够照常工作，节省因后续对硅片201移载所需要的等待时间，具有提高该硅片输送定位装置工作效率的作用。

具体地，本实用新型的硅片抬升机构40包括第一伸缩驱动件41、第三升降驱动件42和两排导向支撑块43，两排导向支撑块43对应两排支撑定位块21，其中相对的导向支撑块43能够与对应的相对支撑定位块21配合并作用于同一片硅片201上；沿硅片201取出方向的纵向方向，第一伸缩驱动件41能够驱动两排导向支撑块43作相对于花篮200的往复运动，沿硅片201取出方向的竖向方向，第三升降驱动件42能够驱动对应的两排导向支撑块43作相对于花篮200 的往复运动。

由上可知，该硅片抬升机构40工作时，用第三升降驱动件42驱动导向支撑块43作用于硅片201，并带动硅片201脱离支撑定位块21，待导向支撑块43 上的硅片201被移载完之后，第三升降驱动件42复位，在此过程中，可用第一伸缩驱动件41驱动导向支撑块43对支撑定位块21起到避让的作用，避免导向支撑块43与支撑定位块21发生干涉，以此达到该硅片抬升机构40与硅片支撑平台20之间装配的使用需求，具有简化结构，便于装配的作用。需要说明的是，该硅片抬升机构40上用于支撑一块硅片201的导向支撑块43数量也可设置为两个，且每个导向支撑块43与支撑定位块21交替设置，使得该硅片输送定位装置工作时，相对的两个支撑定位块21与相对的两个导向支撑块43可共同支撑一个硅片201，又或者，将导向支撑块43设置在支撑定位块21的下方位置，并可在第三升降驱动件42的驱动上升直至作用于硅片201上，然后再驱动硅片 201脱离对应的支撑定位块21。

另外，需要说明的是，本实施例的硅片抬升机构40上每排导向支撑块43 也可用安装板431连接为整体结构，然后再安装于第三升降驱动件42上，使得第三升降驱动件42能够同时驱动两排导向支撑块43进行升降。

本实施例的硅片输送定位装置还包括花篮升降机构50，沿硅片201取出方向的竖向方向，花篮升降机构50能够驱动花篮200作相对于取片机构10的往复运动，以使取片机构10依次从花篮200中取出硅片201。使得该花篮升降机构50工作时能够带动花篮200内硅片201依次与取片机构10配合并被取出，进而满足取片机构10能够依次从花篮200上取片的使用需求。

综上，本实用新型的硅片输送定位装置工作时，用取片机构10从花篮200 中取出硅片201，并将取出的硅片201放置于硅片支撑平台20的支撑定位块21 上，然后再利用硅片传送机构30对硅片支撑平台20上硅片的传送，使得取片机构10能够依次从花篮200中取出硅片201，并将取出的硅片201排布于硅片支撑平台20的支撑定位块21上，在此过程中，花篮升降机构50配合取片机构 10工作时，使得取片机构10能够依次从花篮200内提取硅片201，并将取出的硅片201排布于硅片支撑平台20的支撑定位块21上，亦即达到取片、送片及定位的作用，以此避免硅片201在输送定位过程中造成硅片表面的污染，进而确保了硅片表面的质量，进而具有提高硅片生产良率的作用。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施例，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种硅片输送定位装置，其特征在于，包括：

取片机构(10)，所述取片机构(10)能够依次从花篮(200)中取出硅片(201)；

硅片支撑平台(20)，所述硅片支撑平台(20)包括相对设置的两排支撑定位块(21)，相对的支撑定位块(21)配合能够支撑由所述取片机构(10)取出的硅片(201)；

硅片传送机构(30)，所述硅片传送机构(30)能够作用于所述硅片支撑平台(20)上的硅片(201)，以使硅片(201)依次排布于所述硅片支撑平台(20)上。

2.根据权利要求1所述的硅片输送定位装置，其特征在于，所述取片机构(10)包括第一横移模组(11)、第一升降驱动件(12)和取片板(13)，所述取片板(13)安装于所述第一升降驱动件(12)上；沿硅片(201)的取出方向，所述第一横移模组(11)能够驱动所述第一升降驱动件(12)及所述取片板(13)作相对于花篮(200)的往复运动，沿硅片(201)取出方向的竖向方向，所述第一升降驱动件(12)能够驱动所述取片板(13)作相对于所述花篮(200)的往复运动。

3.根据权利要求2所述的硅片输送定位装置，其特征在于，所述取片板(13)上设有多个第一限位凸块(131)，多个所述第一限位凸块(131)间隔设置，且所述取片板(13)能够通过所述第一限位凸块(131)作用于硅片(201)的侧边，以抓取对应的硅片(201)。

4.根据权利要求1所述的硅片输送定位装置，其特征在于，所述支撑定位块(21)上设置有支撑斜面(211)，所述支撑斜面(211)能够作用于硅片(201)的侧边，以将所述硅片(201)限位安装于相对的支撑定位块(21)的支撑斜面(211)上。

5.根据权利要求4所述的硅片输送定位装置，其特征在于，所述硅片支撑平台(20)还包括支撑立柱(22)和连接板(23)，其中每排所述支撑定位块(21)均安装于对应的所述连接板(23)上，所述支撑立柱(22)安装于所述连接板(23)背离所述支撑定位块(21)的一端上，用以对所述连接板(23)进行支撑。

6.根据权利要求1所述的硅片输送定位装置，其特征在于，所述硅片传送机构(30)包括第二横移模组(31)、第二升降驱动件(32)和硅片搬运支撑杆(33)，所述硅片搬运支撑杆(33)安装于所述第二升降驱动件(32)上，其中所述硅片搬运支撑杆(33)设置在两排所述支撑定位块(21)之间的位置；沿硅片(201)的取出方向，所述第二横移模组(31)能够驱动所述第二升降驱动件(32)及所述硅片搬运支撑杆(33)作相对于花篮(200)的往复运动，沿所述硅片(201)取出方向的竖向方向，所述第二升降驱动件(32)能够驱动所述硅片搬运支撑杆(33)作相对于所述花篮(200)的往复运动。

7.根据权利要求6所述的硅片输送定位装置，其特征在于，所述硅片搬运支撑杆(33)上设置有多个第二限位凸块(331)，多个所述第二限位凸块(331)对应相对的支撑定位块(21)，且所述硅片搬运支撑杆(33)能够通过所述第二限位凸块(331)作用于硅片(201)的侧边，以从所述支撑定位块(21)上提取对应的硅片(201)。

8.根据权利要求1所述的硅片输送定位装置，其特征在于，还包括硅片抬升机构(40)，所述硅片抬升机构(40)作用于置于所述硅片支撑平台(20)的硅片(201)，以抬升对应的所述硅片(201)脱离所述硅片支撑平台(20)。

9.根据权利要求8所述的硅片输送定位装置，其特征在于，所述硅片抬升机构(40)包括第一伸缩驱动件(41)、第三升降驱动件(42)和两排导向支撑块(43)，两排所述导向支撑块(43)对应两排所述支撑定位块(21)，其中相对的导向支撑块(43)能够与对应的相对所述支撑定位块(21)配合并作用于同一片硅片(201)上；沿硅片(201)取出方向的纵向方向，所述第一伸缩驱动件(41)能够驱动两排所述导向支撑块(43)作相对于所述花篮(200)的往复运动，沿硅片(201)取出方向的竖向方向，所述第三升降驱动件(42)能够驱动对应的两排所述导向支撑块(43)作相对于所述花篮(200)的往复运动。

10.根据权利要求1所述的硅片输送定位装置，其特征在于，还包括花篮升降机构(50)，沿硅片(201)取出方向的竖向方向，所述花篮升降机构(50)能够驱动所述花篮(200)作相对于所述取片机构(10)的往复运动，以使所述取片机构(10)依次从花篮(200)中取出硅片(201)。

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