CN216434271U - 一种探针台及半自动晶圆测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针台及半自动晶圆测试设备，涉及晶圆技术领域，为解决现有技术中的普通晶圆探针台及半自动晶圆测试设备对晶圆的固定效果不够好的问题。所述气箱的上方安装有分流箱，且分流箱与气箱固定连接，所述气箱的上方安装有第一吸盘，且第一吸盘与气箱固定连接，所述气箱的外侧安装有固定管，且固定管与气箱固定连接，所述固定管的一端设置有伸缩管，且伸缩管与固定管滑动连接，所述伸缩管的上方安装有第二吸盘，且第二吸盘与伸缩管固定连接，所述底座的上方安装有测试机，且测试机与底座固定连接，所述测试机的上方安装有探针，且探针与测试机固定连接。

Description

一种探针台及半自动晶圆测试设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种探针台及半自动晶圆测试设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针（probe），与晶粒上的接点（pad）接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片以晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下个制程，以免徒增制造成本，晶圆固定在探针台上时，一般采用真空吸力卡盘进行固定，但是一般的探针台真空吸力卡盘只固定晶圆最中间的部位，将所有的受力都集中在晶圆额一个点，并且无论晶圆的尺寸大小都是如此，使得晶圆的受力不均匀，不仅不能有效的固定晶圆还可能损伤晶圆；因此市场急需研制一种探针台及半自动晶圆测试设备来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种探针台及半自动晶圆测试设备，以解决上述背景技术中提出的普通晶圆探针台及半自动晶圆测试设备对晶圆的固定效果不够好的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种探针台及半自动晶圆测试设备，包括底座和气箱，所述气箱的上方安装有分流箱，且分流箱与气箱固定连接，所述气箱的上方安装有第一吸盘，且第一吸盘与气箱固定连接，所述气箱的外侧安装有固定管，且固定管与气箱固定连接，所述固定管的一端设置有伸缩管，且伸缩管与固定管滑动连接，所述伸缩管的上方安装有第二吸盘，且第二吸盘与伸缩管固定连接。

优选的，所述底座的上方安装有测试机，且测试机与底座固定连接，所述测试机的上方安装有探针，且探针与测试机固定连接。

优选的，所述底座的上方安装有纵向驱动箱，且纵向驱动箱与底座固定连接，所述纵向驱动箱的一侧安装有横向驱动箱，且横向驱动箱与纵向驱动箱滑动连接，所述横向驱动箱与气箱滑动连接。

优选的，所述横向驱动箱的内部安装有第一滚珠丝杆，且第一滚珠丝杆与横向驱动箱转动连接，所述第一滚珠丝杆的外侧安装有第一滚珠丝杆副，且第一滚珠丝杆副与第一滚珠丝杆螺纹连接，所述第一滚珠丝杆副与气箱固定连接。

优选的，所述纵向驱动箱的内部安装有第二滚珠丝杆，且第二滚珠丝杆与纵向驱动箱转动连接，所述第二滚珠丝杆的外侧安装有第二滚珠丝杆副，且第二滚珠丝杆副与第二滚珠丝杆螺纹连接，所述第二滚珠丝杆副与横向驱动箱固定连接。

优选的，所述底座的上方安装有支柱，且支柱与底座固定连接，所述支柱的外侧安装有支架，且支架与支柱滑动连接，所述支架的一端安装有取景器，且取景器与支架固定连接。

优选的，所述分流箱的上方设置有晶圆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1. 该实用新型通过固定管、伸缩管和第二吸盘的设置，第二吸盘设置在伸缩管的上方，伸缩管与固定管之间可滑动，第二吸盘设置有六个，围绕在第一吸盘圆周分布，可通过调节伸缩管与固定管之间长度，从而调节第二吸盘与第一吸盘之间的距离，从而在固定晶圆时，不仅可以通过第一吸盘固定晶圆的中间部位，同时通过第二吸盘可以固定晶圆的四周，起到对晶圆全方位固定的效果，而伸缩管和固定管又可伸缩，从而可根据晶圆的尺寸大小将第二吸盘调节至合适的位置，从而使得此探针台的固定结构能对晶圆进行有效的固定，避免晶圆受到损坏。

2. 该实用新型通过纵向驱动箱和横向驱动箱的设置，纵向驱动箱可驱使横向驱动箱在Y轴方向上移动，而横向驱动箱可驱使气箱以及气箱以上的结构在X轴方向上移动，从而使得晶圆在被固定后，可在X轴和Y轴方向上移动，从而使得晶圆上的芯片可以全部与探针接触，从而对晶圆进行全方位的测试，使得此半自动晶圆测试设备使用起来更加的高效和方便。

附图说明

图1为本实用新型的一种探针台及半自动晶圆测试设备的正视图；

图2为本实用新型的分流箱的俯视图；

图3为本实用新型的纵向驱动箱和横向驱动箱的内部结构示意图。

图中：1、底座；2、测试机；3、探针；4、支柱；5、支架；6、取景器；7、纵向驱动箱；8、横向驱动箱；9、气箱；10、分流箱；11、晶圆；12、第一吸盘；13、固定管；14、伸缩管；15、第二吸盘；16、第一驱动装置；17、第一驱动齿轮；18、第一滚珠丝杆；19、第一滚珠丝杆副；20、第一从动齿轮；21、第二驱动装置；22、第二驱动齿轮；23、第二滚珠丝杆；24、第二滚珠丝杆副；25、第二从动齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种探针台及半自动晶圆测试设备，包括底座1和气箱9，气箱9的上方安装有分流箱10，分流箱10与气箱9固定连接，气箱9的上方安装有第一吸盘12，第一吸盘12与气箱9固定连接，气箱9的外侧安装有固定管13，固定管13与气箱9固定连接，固定管13的一端设置有伸缩管14，伸缩管14与固定管13滑动连接，伸缩管14的上方安装有第二吸盘15，第二吸盘15与伸缩管14固定连接，第二吸盘15、伸缩管14和固定管13均设置有六个。

进一步，底座1的上方安装有测试机2，测试机2与底座1固定连接，测试机2的上方安装有探针3，探针3与测试机2固定连接，测试机2和探针3均设置有两个。

进一步，底座1的上方安装有纵向驱动箱7，纵向驱动箱7与底座1固定连接，纵向驱动箱7的一侧安装有横向驱动箱8，横向驱动箱8与纵向驱动箱7滑动连接，横向驱动箱8与气箱9滑动连接，纵向驱动箱7设置有两个，两个纵向驱动箱7内部结构现同。

进一步，横向驱动箱8的内部安装有第一滚珠丝杆18，第一滚珠丝杆18与横向驱动箱8转动连接，第一滚珠丝杆18的外侧安装有第一滚珠丝杆副19，第一滚珠丝杆副19与第一滚珠丝杆18螺纹连接，第一滚珠丝杆副19与气箱9固定连接，横向驱动箱8的内部安装有第一驱动装置16，第一驱动装置16与横向驱动箱8固定连接，第一驱动装置16的一侧安装有第一驱动齿轮17，第一驱动齿轮17与第一驱动装置16固定连接，第一滚珠丝杆18的外侧安装有第一从动齿轮20，第一从动齿轮20与第一滚珠丝杆18固定连接，第一从动齿轮20与第一驱动齿轮17咬合连接。

进一步，纵向驱动箱7的内部安装有第二滚珠丝杆23，第二滚珠丝杆23与纵向驱动箱7转动连接，第二滚珠丝杆23的外侧安装有第二滚珠丝杆副24，第二滚珠丝杆副24与第二滚珠丝杆23螺纹连接，第二滚珠丝杆副24与横向驱动箱8固定连接，纵向驱动箱7的内部安装有第二驱动装置21，第二驱动装置21与纵向驱动箱7固定连接，第二驱动装置21的后端面上安装有第二驱动齿轮22，第二驱动齿轮22与第二驱动装置21固定连接，第二滚珠丝杆23的外侧安装有第二从动齿轮25，第二从动齿轮25与第二滚珠丝杆23固定连接，第二从动齿轮25与第二驱动齿轮22咬合连接。

进一步，底座1的上方安装有支柱4，支柱4与底座1固定连接，支柱4的外侧安装有支架5，支架5与支柱4滑动连接，支架5的一端安装有取景器6，取景器6与支架5固定连接，支架5与支柱4之间同时可以固定，通过螺栓顶住支柱4，从而使得支架5无法移动。

进一步，分流箱10的上方设置有晶圆11，第二吸盘15和第一吸盘12均与晶圆11贴合，通过第二吸盘15和第一吸盘12将晶圆11固定。

工作原理：使用时，通过晶圆11的尺寸，将伸缩管14调节至合适的位置，使得第二吸盘15能够与晶圆11合适的位置接触，然后将晶圆11放置到分流箱10的上方，使得晶圆11中间部位放置在第一吸盘12上，四周与第二吸盘15接触，然后通过外接气泵抽取气箱9内部的空气，并抽取分流箱10内部的空气，从而使得第一吸盘12和第二吸盘15内形成负压，从而将晶圆11固定住，通过第一驱动装置16可驱使第一驱动齿轮17转动，第一驱动齿轮17可通过第一从动齿轮20驱使第一滚珠丝杆18转动，通过第一滚珠丝杆18的转动驱使第一滚珠丝杆副19移动，第一滚珠丝杆副19带动气箱9移动，从而使得晶圆11能够在X轴方向上移动，通过第二驱动装置21可驱使第二驱动齿轮22移动，第二驱动齿轮22通过第二从动齿轮25驱使第二滚珠丝杆23转动，通过第二滚珠丝杆23的转动驱使第二滚珠丝杆副24移动，第二滚珠丝杆副24带动横向驱动箱8在Y轴方向上移动，从而使得晶圆11能够在Y轴方向上移动，从而使得晶圆11与探针3充分接触，从而对晶圆11进行全方位的测试，而取景器6为电子显微镜，可观察探针3与晶圆11的接触情况。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种探针台及半自动晶圆测试设备，包括底座（1）和气箱（9），其特征在于：所述气箱（9）的上方安装有分流箱（10），且分流箱（10）与气箱（9）固定连接，所述气箱（9）的上方安装有第一吸盘（12），且第一吸盘（12）与气箱（9）固定连接，所述气箱（9）的外侧安装有固定管（13），且固定管（13）与气箱（9）固定连接，所述固定管（13）的一端设置有伸缩管（14），且伸缩管（14）与固定管（13）滑动连接，所述伸缩管（14）的上方安装有第二吸盘（15），且第二吸盘（15）与伸缩管（14）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种探针台及半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述底座（1）的上方安装有测试机（2），且测试机（2）与底座（1）固定连接，所述测试机（2）的上方安装有探针（3），且探针（3）与测试机（2）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种探针台及半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述底座（1）的上方安装有纵向驱动箱（7），且纵向驱动箱（7）与底座（1）固定连接，所述纵向驱动箱（7）的一侧安装有横向驱动箱（8），且横向驱动箱（8）与纵向驱动箱（7）滑动连接，所述横向驱动箱（8）与气箱（9）滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种探针台及半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述横向驱动箱（8）的内部安装有第一滚珠丝杆（18），且第一滚珠丝杆（18）与横向驱动箱（8）转动连接，所述第一滚珠丝杆（18）的外侧安装有第一滚珠丝杆副（19），且第一滚珠丝杆副（19）与第一滚珠丝杆（18）螺纹连接，所述第一滚珠丝杆副（19）与气箱（9）固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种探针台及半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述纵向驱动箱（7）的内部安装有第二滚珠丝杆（23），且第二滚珠丝杆（23）与纵向驱动箱（7）转动连接，所述第二滚珠丝杆（23）的外侧安装有第二滚珠丝杆副（24），且第二滚珠丝杆副（24）与第二滚珠丝杆（23）螺纹连接，所述第二滚珠丝杆副（24）与横向驱动箱（8）固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种探针台及半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述底座（1）的上方安装有支柱（4），且支柱（4）与底座（1）固定连接，所述支柱（4）的外侧安装有支架（5），且支架（5）与支柱（4）滑动连接，所述支架（5）的一端安装有取景器（6），且取景器（6）与支架（5）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种探针台及半自动晶圆测试设备，其特征在于：所述分流箱（10）的上方设置有晶圆（11）。

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