CN215770013U - 一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，涉及晶圆技术领域，为解决现有技术中的晶圆研磨机将晶圆放反后容易造成高额经济损失的问题。所述智能盒的一侧分别设置有第一支腿和第二支腿，且第一支腿和第二支腿均与智能盒设置为一体结构，所述第一支腿的一侧安装有第一监测盘，且第一监测盘与第一支腿固定连接，所述第二支腿的一侧安装有第二监测盘，且第二监测盘与第二支腿固定连接，所述第一监测盘的内侧安装有监测摄像头，且监测摄像头与第一监测盘固定连接，所述第一监测盘的内侧安装有补光灯，且补光灯与第一监测盘固定连接。

Description

一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

晶圆在生产时需要进行研磨，均采用化学机械研磨法进行研磨，需要将其背面减薄，使其背面光滑如镜，但是晶圆在摆放时如果放反了，就会研磨错的一面，造成晶圆报废，造成高额经济损失；因此市场急需研制一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，以解决上述背景技术中提出的晶圆研磨机将晶圆放反后容易造成高额经济损失的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，包括智能盒，所述智能盒的一侧分别设置有第一支腿和第二支腿，且第一支腿和第二支腿均与智能盒设置为一体结构，所述第一支腿的一侧安装有第一监测盘，且第一监测盘与第一支腿固定连接，所述第二支腿的一侧安装有第二监测盘，且第二监测盘与第二支腿固定连接，所述第一监测盘的内侧安装有监测摄像头，且监测摄像头与第一监测盘固定连接。

优选的，所述第一监测盘的内侧安装有补光灯，且补光灯与第一监测盘固定连接。

优选的，所述智能盒的内部安装有主板架，且主板架与智能盒固定连接，所述主板架的前端面上安装有主板，且主板与主板架通过紧固螺丝固定连接。

优选的，所述智能盒的内部分别安装有稳压器和保护器，且稳压器和保护器均与智能盒固定连接，所述稳压器与保护器电性连接。

优选的，所述主板的前端面上分别安装有处理器和存储器，且处理器和存储器均与主板电性连接。

优选的，所述智能盒的内部安装有蜂鸣器，且蜂鸣器与智能盒固定连接。

优选的，所述第一支腿的内部安装有第一保护管，且第一保护管与第一支腿固定连接，所述第二支腿的内部安装有第二保护管，且第二保护管与第二支腿固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1. 该实用新型通过第一监测盘和第二监测盘的设置，传统的监测防放反报警装置大多数采用光照的形式进行检测，通过折射出来的过判断出晶圆的正面和反面，此种方式效果不佳，在晶圆未抛光时，背面的表面也是存在不光滑的情况，与正面相同，而第一监测盘和第二监测盘采用监测摄像头直接获取晶圆正面和方面的图像信息，利用图像信息可直接判断出晶圆正反面的不同，从而判断出晶圆的正反面，实现放反报警功能，避免造成高额的经济损失。

2. 该实用新型通过处理器和存储器的设置，处理器用于分析图像信息，存储器内部存储有常规晶圆正反面的图像信息，将分析过的图像信息与存储的信息作对比，可快速判断出晶圆的正反面，提高判断和分析的效率，同时也提高诊断的正确率，避免分析失误无法判断的情况发生，提高此放反报警装置的使用可靠性和使用安全性。

附图说明

图1为本实用新型的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置的整体示意图；

图2为本实用新型的图中A处的放大示意图；

图3为本实用新型的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置的内部结构示意图。

图中：1、智能盒；2、第一支腿；3、第二支腿；4、第一监测盘；5、第二监测盘；6、盒盖；7、监测摄像头；8、补光灯；9、第一保护管；10、第二保护管；11、稳压器；12、保护器；13、主板架；14、主板；15、处理器；16、存储器；17、蜂鸣器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，包括智能盒1，智能盒1的一侧分别设置有第一支腿2和第二支腿3，第一支腿2和第二支腿3均与智能盒1设置为一体结构，第一支腿2的一侧安装有第一监测盘4，第一监测盘4与第一支腿2固定连接，第二支腿3的一侧安装有第二监测盘5，第二监测盘5与第二支腿3固定连接，第一监测盘4的内侧安装有监测摄像头7，监测摄像头7与第一监测盘4固定连接。

进一步，第一监测盘4的内侧安装有补光灯8，补光灯8与第一监测盘4固定连接，补光灯8设置有若干个，第二监测盘5的内部结构与第一监测盘4的内部结构相同。

进一步，智能盒1的内部安装有主板架13，主板架13与智能盒1固定连接，主板架13的前端面上安装有主板14，主板14与主板架13通过紧固螺丝固定连接，监测摄像头7和补光灯8均与主板14电性连接。

进一步，智能盒1的内部分别安装有稳压器11和保护器12，稳压器11和保护器12均与智能盒1固定连接，稳压器11与保护器12电性连接，保护器12与主板14电性连接。

进一步，主板14的前端面上分别安装有处理器15和存储器16，处理器15和存储器16均与主板14电性连接，处理器15用于分析数据，存储器16用于对比数据。

进一步，智能盒1的内部安装有蜂鸣器17，蜂鸣器17与智能盒1固定连接，蜂鸣器17与主板14电性连接。

进一步，第一支腿2的内部安装有第一保护管9，第一保护管9与第一支腿2固定连接，第二支腿3的内部安装有第二保护管10，第二保护管10与第二支腿3固定连接，智能盒1的前端面上安装有盒盖6，盒盖6与智能盒1固定连接。

工作原理：使用时，将此智能盒1安装在晶圆研磨机的送料工段上，将第一监测盘4和第二监测盘5置于送料工段的必经途径上，当晶圆通过将第一监测盘4与第二监测盘5之间时，第一监测盘4将对晶圆的下方进行检测，第二监测盘5将对晶圆的上方进行检测，第一监测盘4和第二监测盘5均通过监测摄像头7捕捉晶圆上方和下方的图像信息，并且利用补光灯8进行补光，使得图像更加清晰，图像信息将传导到主板14上，由主板14的处理器15进行分析，并与存储器16的存储信息进行对比，从而判断出晶圆的正反面，当晶圆放反后，处理器15将控制蜂鸣器17发出警报，从而实现放反报警的功能效果。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，包括智能盒（1），其特征在于：所述智能盒（1）的一侧分别设置有第一支腿（2）和第二支腿（3），且第一支腿（2）和第二支腿（3）均与智能盒（1）设置为一体结构，所述第一支腿（2）的一侧安装有第一监测盘（4），且第一监测盘（4）与第一支腿（2）固定连接，所述第二支腿（3）的一侧安装有第二监测盘（5），且第二监测盘（5）与第二支腿（3）固定连接，所述第一监测盘（4）的内侧安装有监测摄像头（7），且监测摄像头（7）与第一监测盘（4）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，其特征在于：所述第一监测盘（4）的内侧安装有补光灯（8），且补光灯（8）与第一监测盘（4）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，其特征在于：所述智能盒（1）的内部安装有主板架（13），且主板架（13）与智能盒（1）固定连接，所述主板架（13）的前端面上安装有主板（14），且主板（14）与主板架（13）通过紧固螺丝固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，其特征在于：所述智能盒（1）的内部分别安装有稳压器（11）和保护器（12），且稳压器（11）和保护器（12）均与智能盒（1）固定连接，所述稳压器（11）与保护器（12）电性连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，其特征在于：所述主板（14）的前端面上分别安装有处理器（15）和存储器（16），且处理器（15）和存储器（16）均与主板（14）电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，其特征在于：所述智能盒（1）的内部安装有蜂鸣器（17），且蜂鸣器（17）与智能盒（1）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置，其特征在于：所述第一支腿（2）的内部安装有第一保护管（9），且第一保护管（9）与第一支腿（2）固定连接，所述第二支腿（3）的内部安装有第二保护管（10），且第二保护管（10）与第二支腿（3）固定连接。

Images