CN215894685U - 一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，包括设备机架，所述设备机架顶面位置固接两个第一滑轨，所述第一滑轨上滑动连接两个滑台组件，所述设备机架位于第一滑轨下方位置固接多个三角支撑块，多个所述三角支撑块上放置晶体；所述滑台组件包括滑动连接在两个第一滑轨上的多个第一滑块，多个所述第一滑块顶面固接固定板，所述固定板顶面固接立板，所述立板一侧固接第二滑轨，其中一个所述第一滑轨侧面固接平齿轮；其中一个所述滑台组件上的第二滑轨上滑动连接第二滑块，所述第二滑块固接第一连接板。本实用新型自动化程度高，打磨效率高，通过机器进行打磨及检测，提高了打磨效率及测量准确度。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械设备技术领域，具体为一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置。
背景技术
区熔拉晶成型后，需要在工艺条件下对成型的晶体进行性能测试。包括电阻率测试、PN型测试等。电阻率测试采用四探针测试法进行测试。但由于区熔拉晶晶体表面有一层高亮皮层，与内部晶体性能差异较大。因此在测试电阻率前，需要将表面高亮皮层打磨，露出内部均匀材质后进行四探针测量。此外不同拉晶长度，需要间隔相应距离采用四探针测量法进行电阻率测试，求其平均值，以保证测量数据的准确。现工序，操作工需要手持打磨工具进行间隔取点打磨。后在打磨点位上进行电阻率等测试。四探针测试也需要人工去下压探头。后需将测试数据统计记录。目前的这种方式有一些缺陷：
目前的打磨及检测方式自动化程度低，一方面需要人力多次重复打磨，时间长效率低；另一方面人工下压探头，探针与晶体接触力度无法控制，接触方形不一致，测量数据误差较大，影响打磨效率及测量数据的准确性。
为此我们提出一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，包括设备机架，所述设备机架顶面位置固接两个第一滑轨，所述第一滑轨上滑动连接两个滑台组件，所述设备机架位于第一滑轨下方位置固接多个三角支撑块，多个所述三角支撑块上放置晶体；所述滑台组件包括滑动连接在两个第一滑轨上的多个第一滑块，多个所述第一滑块顶面固接固定板，所述固定板顶面固接立板，所述立板一侧固接第二滑轨，其中一个所述第一滑轨侧面固接平齿轮；其中一个所述滑台组件上的第二滑轨上滑动连接第二滑块，所述第二滑块固接第一连接板，所述第一连接板底面固接第一固定块，所述第一固定块底面通过多个减震弹簧固接手磨机，多个所述减震弹簧顶端固接第一固定块底面、底端固接手磨机顶面，所述手磨机转轴处固接打磨辊，所述固定板顶面远离手磨机一侧固接第一电机，所述第一电机转轴处固接齿轮，所述齿轮啮合连接平齿轮，所述固定板顶面靠近手磨机一侧固接第一气缸，所述第一气缸顶杆处顶端固接第一连接板；另一个所述滑台组件上的第二滑轨上滑动连接第三滑块，所述第三滑块固接第二连接板，所述第二连接板固接第二固定块，所述第二固定块上开设多个滑槽，所述滑槽滑动连接安装板，所述第二固定块上固接第二气缸，所述第二气缸顶杆处顶端固接安装板，所述安装板侧面固接四探针针头，所述固定板顶面远离安装板一侧固接第二电机。
优选的，所述第二电机用于驱动第三滑块在第二滑轨上移动。
优选的，所述第一固定块远离第一电机一侧固接位置传感器，所述第一固定块靠近第一电机一侧固接吸尘腔。
优选的，所述手磨机为可调节转速型手磨机，所述手磨机位于打磨辊处固接设有防护壳。
优选的，所述三角支撑块顶面转动连接多个牛眼轴承，所述设备机架内位于三角支撑块下方位置固接主气缸。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型自动化程度高，打磨效率高，，通过机器进行打磨及检测，提高了打磨效率及测量准确度。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型中滑台组件处结构放大结构示意图；
图3为本实用新型手磨机及探针探头处结构放大结构示意图；
图4为本实用新型手磨机及探针探头处另一角度结构放大示意图；
图5为本实用新型内部结构放大示意图。
图中：1设备机架、2第一滑轨、3滑台组件、31第一滑块、32固定板、33立板、34第二滑轨、4平齿轮、5三角支撑块、6牛眼轴承、7晶体、8第一电机、9齿轮、10第二滑块、11第一连接板、12第一固定块、13手磨机、14位置传感器、15打磨辊、16吸尘腔、17第二电机、18第一气缸、19第二连接板、20第二固定块、21滑槽、22安装板、23第二气缸、24四探针针头、25减震弹簧、26第三滑块、27主气缸。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，包括设备机架1，设备机架1顶面位置固接两个第一滑轨2，第一滑轨2上滑动连接两个滑台组件3，设备机架1位于第一滑轨2下方位置固接多个三角支撑块5，多个三角支撑块5上放置晶体7；滑台组件3包括滑动连接在两个第一滑轨2上的多个第一滑块31，多个第一滑块31顶面固接固定板32，固定板32顶面固接立板33，立板33一侧固接第二滑轨34，其中一个第一滑轨2侧面固接平齿轮4；其中一个滑台组件3上的第二滑轨34上滑动连接第二滑块10，第二滑块10固接第一连接板11，第一连接板11底面固接第一固定块12，第一固定块12底面通过多个减震弹簧25固接手磨机13，多个减震弹簧25顶端固接第一固定块12底面、底端固接手磨机13顶面，手磨机13转轴处固接打磨辊15，固定板31顶面远离手磨机13一侧固接第一电机8，第一电机8转轴处固接齿轮9，齿轮9啮合连接平齿轮4，固定板31顶面靠近手磨机13一侧固接第一气缸18，第一气缸18顶杆处顶端固接第一连接板11；另一个滑台组件3上的第二滑轨34上滑动连接第三滑块26，第三滑块26固接第二连接板19，第二连接板19固接第二固定块20，第二固定块20上开设多个滑槽21，滑槽21滑动连接安装板22，第二固定块20上固接第二气缸23，第二气缸23顶杆处顶端固接安装板22，安装板22侧面固接四探针针头24，固定板32顶面远离安装板22一侧固接第二电机17。
如图3所示，第二电机17用于驱动第三滑块26在第二滑轨34上移动，进而可以使四探针针头24调整垂直位置。
如图3所示，第一固定块12远离第一电机8一侧固接位置传感器14，第一固定块12靠近第一电机8一侧固接吸尘腔16，手磨机13打磨时转速较高会产生较多的打磨碎屑，吸尘腔16可以将打磨碎屑进行清理，当打磨辊15遇到较大阻力时，打磨辊15会翘起，此时触发位置传感器14进行报警并暂停设备工作，防止损坏设备或晶体7。
如图3所示，手磨机13为可调节转速型手磨机，手磨机13位于打磨辊15处固接设有防护壳，防止打磨碎屑飞溅。
如图5所示，三角支撑块5顶面转动连接多个牛眼轴承6，设备机架1内位于三角支撑块5下方位置固接主气缸27。
工作原理：本实用新型在使用时，需要将晶体放置在三角支撑块处，并可通过牛眼轴承进行调整，之后手磨机会对晶体进行打磨，同时四探针针头会在第二电机带动下进行晶体检测。本实用新型自动化程度高，打磨效率高，，通过机器进行打磨及检测，提高了打磨效率及测量准确度。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，包括设备机架(1)，其特征在于：所述设备机架(1)顶面位置固接两个第一滑轨(2)，所述第一滑轨(2)上滑动连接两个滑台组件(3)，所述设备机架(1)位于第一滑轨(2)下方位置固接多个三角支撑块(5)，多个所述三角支撑块(5)上放置晶体(7)；所述滑台组件(3)包括滑动连接在两个第一滑轨(2)上的多个第一滑块(31)，多个所述第一滑块(31)顶面固接固定板(32)，所述固定板(32)顶面固接立板(33)，所述立板(33)一侧固接第二滑轨(34)，其中一个所述第一滑轨(2)侧面固接平齿轮(4)；
其中一个所述滑台组件(3)上的第二滑轨(34)上滑动连接第二滑块(10)，所述第二滑块(10)固接第一连接板(11)，所述第一连接板(11)底面固接第一固定块(12)，所述第一固定块(12)底面通过多个减震弹簧(25)固接手磨机(13)，多个所述减震弹簧(25)顶端固接第一固定块(12)底面、底端固接手磨机(13)顶面，所述手磨机(13)转轴处固接打磨辊(15)，所述固定板(31)顶面远离手磨机(13)一侧固接第一电机(8)，所述第一电机(8)转轴处固接齿轮(9)，所述齿轮(9)啮合连接平齿轮(4)，所述固定板(31)顶面靠近手磨机(13)一侧固接第一气缸(18)，所述第一气缸(18)顶杆处顶端固接第一连接板(11)；
另一个所述滑台组件(3)上的第二滑轨(34)上滑动连接第三滑块(26)，所述第三滑块(26)固接第二连接板(19)，所述第二连接板(19)固接第二固定块(20)，所述第二固定块(20)上开设多个滑槽(21)，所述滑槽(21)滑动连接安装板(22)，所述第二固定块(20)上固接第二气缸(23)，所述第二气缸(23)顶杆处顶端固接安装板(22)，所述安装板(22)侧面固接四探针针头(24)，所述固定板(32)顶面远离安装板(22)一侧固接第二电机(17)。
2.根据权利要求1所述的一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，其特征在于：所述第二电机(17)用于驱动第三滑块(26)在第二滑轨(34)上移动。
3.根据权利要求1所述的一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，其特征在于：所述第一固定块(12)远离第一电机(8)一侧固接位置传感器(14)，所述第一固定块(12)靠近第一电机(8)一侧固接吸尘腔(16)。
4.根据权利要求1所述的一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，其特征在于：所述手磨机(13)为可调节转速型手磨机，所述手磨机(13)位于打磨辊(15)处固接设有防护壳。
5.根据权利要求1所述的一种区熔单晶硅自动打磨及测试装置，其特征在于：所述三角支撑块(5)顶面转动连接多个牛眼轴承(6)，所述设备机架(1)内位于三角支撑块(5)下方位置固接主气缸(27)。
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