CN216427386U - 一种锁紧装置及真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的一种锁紧装置，包括底板支架，设于所述底板支架上的驱动机构，以及设于所述驱动机构上且与锁紧块配合的锁紧扣，所述驱动机构驱动所述锁紧扣移动至与锁紧块锁合的锁合位置，或驱动所述锁紧扣移动至解除对锁紧块锁合的解锁位置。本实用新型还提供了真空镀膜设备。本实用新型的一种锁紧装置，通过驱动机构调动锁定扣对锁紧块进行锁合或解除锁合，代替人工操作，可实现远程控制该锁紧装置的锁紧或开合，极大地提高工作效率及操作的安全性。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种锁紧装置及真空镀膜设备。
【背景技术】
随着日益增长的镀膜需求，为了适应大面积基板镀膜，提高镀膜生产线的产能，生产线的箱体结构也随之相应变大，相对应的镀膜生产线设备高度亦随着产品的增大而增高，传统的此类镀膜生产线大多为直立式，但是由于一些特殊的镀膜工艺要求或者产品品质的要求，使得产品无法垂直装夹，需要倾斜一定的角度来完成装夹，基片装夹装置的倾斜使得镀膜线也要相应的倾斜，其中工艺室的靶门机构也要倾斜，靶门翻转后的靶门锁紧机构相比直立式产线而言，在倾斜式生产线尤其是前倾式产线上就显得尤为重要。前期镀膜室的翻转式靶门开启或闭合时，采用人工攀爬人字梯至高层空间进行螺栓锁付作业，螺栓锁付作业用时长工作效率低，而且人工在高层空间作业时存在不慎坠落的安全风险，造成人员的伤害或设备的损坏。
【实用新型内容】
本实用新型解决了现有镀膜室的翻转式靶门开启或闭合时需要人工进行的技术问题，本实用新型提供了一种锁紧装置及真空镀膜设备。
本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种锁紧装置，包括底板支架，设于所述底板支架上的驱动机构，以及设于所述驱动机构上且与锁紧块配合的锁紧扣，所述驱动机构驱动所述锁紧扣移动至与锁紧块锁合的锁合位置，或驱动所述锁紧扣移动至解除对锁紧块锁合的解锁位置。
如上所述的一种锁紧装置，所述驱动机构包括第一驱动组件，以及第二驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述锁紧扣移动至与锁紧块扣合的半锁合位置，所述锁紧扣移动至与锁紧块半锁合位置后，所述第二驱动组件驱动所述锁紧扣移动至锁合位置，以将锁紧块锁紧。
如上所述的一种锁紧装置，所述底板支架上设有与其铰接的连杆，所述第一驱动组件设于所述连杆上，所述第二驱动组件用于驱动所述连杆旋转，带动所述第一驱动组件和所述锁紧扣共同移动，所述锁紧扣移动至锁合位置。
如上所述的一种锁紧装置，所述连杆包括自其与所述底板支架的铰接点处分别往两方向延伸的第一连杆及第二连杆。
如上所述的一种锁紧装置，所述第一驱动组件包括设于所述第二连杆上的第一驱动气缸，所述锁紧扣包括与所述第一连杆铰接的铰接点，与锁紧块扣合的扣合端，以及与所述第一驱动气缸输出端铰接的驱动端；
所述第一驱动气缸输出端缩回时拉动所述驱动端，使所述扣合端绕所述铰接点旋转至扣合在锁紧块上；
所述第一驱动气缸输出端伸出时推动所述驱动端，使所述扣合端绕所述铰接点旋转至脱离锁紧块。
如上所述的一种锁紧装置，所述第二驱动组件包括第二驱动气缸，所述第二驱动气缸本体与所述底板支架铰接，输出端与所述第二连杆铰接；
所述第二驱动气缸输出端缩回时拉动所述第二连杆，使所述第一连杆往远离锁紧块的方向转动；
所述第二驱动气缸输出端伸出时推动所述第二连杆，使所述第一连杆往远离锁紧块的方向转动。
如上或所述的一种锁紧装置，所述锁紧扣处于锁合位置时，锁紧块作用在所述锁紧扣上以形成自锁。
如上所述的一种锁紧装置，所述底板支架上设有与其铰接的连杆，所述连杆的旋转范围受所述底板支架限制，所述连杆与所述锁紧扣铰接，所述锁紧扣位于锁合位置上时，锁紧块作用在所述锁紧扣上以使所述连杆抵压在所述底板支架上。
如上所述的一种锁紧装置，所述第二驱动气缸输出端上设有用于与所述第二连杆铰接的鱼眼接头。
本实用新型还提供了真空镀膜设备，包括真空镀膜室，以及与所述真空镀膜室配合的靶门，所述真空镀膜室与所述靶门之间设有使两者保持相互锁紧状态或解除锁紧状态的如上所述的一种锁紧装置。
与现有技术相比，本实用新型的有如下优点：
本实用新型的一种锁紧装置，通过驱动机构调动锁定扣对锁紧块进行锁合或解除锁合，代替人工操作，可实现远程控制该锁紧装置的锁紧或开合，极大地提高工作效率及操作的安全性。
本实用新型的真空镀膜设备，锁紧装置与锁紧块分别设置在真空镀膜室和靶门上，当锁紧装置与锁紧块进行锁合时，靶门盖合在真空镀膜室上并被锁定，当锁紧装置与锁紧块解除锁合时，靶门可相对真空镀膜室打开翻转。这样就无需人工操作，不但能够避免造成人员的伤害或设备的损坏，而且还能够提高工作效率。
【附图说明】
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是锁紧扣处于解锁位置的结构示意图一；
图2是锁紧扣处于解锁位置的结构示意图二；
图3是锁紧扣处于半锁合位置的结构示意图一；
图4是锁紧扣处于半锁合位置的结构示意图二；
图5是锁紧扣处于锁合位置的结构示意图一；
图6是锁紧扣处于锁合位置的结构示意图二；
图7是真空镀膜设备的靶门打开状态示意图；
图8是真空镀膜设备的靶门闭合状态示意图；
图9是底板支架的结构示意图。
【具体实施方式】
为了使本实用新型所解决的技术问题技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
当本实用新型实施例提及“第一”“第二”等序数词时，除非根据上下文其确实表达顺序之意，应当理解为仅仅是起区分之用。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”“相连”“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例一：一种锁紧装置，包括底板支架1，设于所述底板支架1上的驱动机构2，以及设于所述驱动机构2上且与锁紧块7配合的锁紧扣3，所述驱动机构2驱动所述锁紧扣3移动至与锁紧块锁合的锁合位置，或驱动所述锁紧扣3移动至解除对锁紧块锁合的解锁位置。
本实用新型实施例的一种锁紧装置，通过驱动机构调动锁定扣对锁紧块进行锁合或解除锁合，代替人工操作，可实现远程控制该锁紧装置的锁紧或开合，极大地提高工作效率及操作的安全性。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述底板支架1上设有让位空间11，所述锁紧块7与所述锁紧扣3进行锁合时，所述让位空间11供所述锁紧块7进入，锁紧块处于让位空间中。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述驱动机构2包括第一驱动组件21，以及第二驱动组件22，所述第一驱动组件21用于驱动所述锁紧扣3移动至与锁紧块扣合的半锁合位置，所述锁紧扣3移动至与锁紧块半锁合位置后，所述第二驱动组件22驱动所述锁紧扣3移动至锁合位置，以将锁紧块锁紧。通过第一驱动组件和第二驱动组件对锁紧扣的位置进行调整，包括移动位置和旋转位置，使得锁紧扣能够在锁合位置、半锁合位置，和解锁位置之间移动。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述底板支架1上设有与其铰接的连杆4，所述第一驱动组件21设于所述连杆4上，所述第二驱动组件22用于驱动所述连杆4旋转，带动所述第一驱动组件21和所述锁紧扣3共同移动，所述锁紧扣3移动至锁合位置。第一驱动组件驱动连杆转动，连杆转动带动第一驱动组件和锁紧扣移动。第二驱动组件的直线驱动通过连杆改变成第一驱动组件和锁紧扣绕连杆与底板支架的交接点的圆周运动。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述连杆4包括自其与所述底板支架1的铰接点处分别往两方向延伸的第一连杆41及第二连杆42。本实施例中，第一连杆与第二连杆之间的夹角为锐角。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述第一驱动组件21包括设于所述第二连杆42上的第一驱动气缸211，所述锁紧扣3包括与所述第一连杆41铰接的铰接点31，与锁紧块扣合的扣合端32，以及与所述第一驱动气缸211输出端铰接的驱动端33；
所述第一驱动气缸211输出端缩回时拉动所述驱动端33，使所述扣合端32绕所述铰接点31旋转至扣合在锁紧块上；
所述第一驱动气缸211输出端伸出时推动所述驱动端33，使所述扣合端32绕所述铰接点31旋转至脱离锁紧块。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述第二驱动组件22包括第二驱动气缸221，所述第二驱动气缸221本体与所述底板支架1铰接，输出端与所述第二连杆42铰接；
所述第二驱动气缸221输出端缩回时拉动所述第二连杆42，使所述第一连杆41往远离锁紧块的方向转动；
所述第二驱动气缸221输出端伸出时推动所述第二连杆42，使所述第一连杆41往远离锁紧块的方向转动。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述锁紧扣3处于锁合位置时，锁紧块作用在所述锁紧扣3上以形成自锁。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述底板支架1上设有与其铰接的连杆4，所述连杆4的旋转范围受所述底板支架1限制，所述连杆4与所述锁紧扣3铰接，所述锁紧扣3位于锁合位置上时，锁紧块作用在所述锁紧扣3上以使所述连杆4抵压在所述底板支架1上。此时当时第二驱动机构和/或第一驱动机构失效时，锁紧扣仍然保持在锁紧位置，锁紧块作用在锁紧扣上，令连杆抵压在底板支架上，连杆保持当前位置，令到锁紧扣不能移动。
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述第二驱动气缸221输出端上设有用于与所述第二连杆42铰接的鱼眼接头23。
实施例二：与实施例一的不同之处在于：所述锁紧扣3处于锁合位置时，锁紧块作用在所述锁紧扣3上以形成自锁。实施例一的自锁是在第一驱动组件和第二驱动组件的基础上连同连杆进行实现的。而实施例二的自锁可以是通过多种方式实现，如：
进一步地，作为本方案的优选实施方式而非限定，所述底板支架1上设有与其铰接的连杆4，所述连杆4的旋转范围受所述底板支架1限制，所述连杆4与所述锁紧扣3铰接，所述锁紧扣3位于锁合位置上时，锁紧块作用在所述锁紧扣3上以使所述连杆4抵压在所述底板支架1上。
本实用新型实施例还提供了真空镀膜设备，包括真空镀膜室5，以及与所述真空镀膜室5配合的靶门6，所述真空镀膜室5与所述靶门6之间设有使两者保持相互锁紧状态或解除锁紧状态的如上所述的一种锁紧装置。
本实用新型实施例的真空镀膜设备，锁紧装置与锁紧块分别设置在真空镀膜室和靶门上，当锁紧装置与锁紧块进行锁合时，靶门盖合在真空镀膜室上并被锁定，当锁紧装置与锁紧块解除锁合时，靶门可相对真空镀膜室打开翻转。这样就无需人工操作，不但能够避免造成人员的伤害或设备的损坏，而且还能够提高工作效率。锁紧装置与锁紧块的位置可以互换，也达到同样的效果。
本实施例的工作原理如下：
本实用新型的一种锁紧装置，通过驱动机构调动锁定扣对锁紧块进行锁合或解除锁合，代替人工操作，可实现远程控制该锁紧装置的锁紧或开合，极大地提高工作效率及操作的安全性。
本实用新型的真空镀膜设备，锁紧装置与锁紧块分别设置在真空镀膜室和靶门上，当锁紧装置与锁紧块进行锁合时，靶门盖合在真空镀膜室上并被锁定，当锁紧装置与锁紧块解除锁合时，靶门可相对真空镀膜室打开翻转。这样就无需人工操作，不但能够避免造成人员的伤害或设备的损坏，而且还能够提高工作效率。
如上是结合具体内容提供的实施方式，并不认定本申请的具体实施只局限于这些说明。凡与本申请的方法结构等近似雷同，或是对于本申请构思前提下做出若干技术推演或替换，都应当视为本申请的保护范围。
Claims (10)
1.一种锁紧装置，其特征在于：包括底板支架(1)，设于所述底板支架(1)上的驱动机构(2)，以及设于所述驱动机构(2)上且与锁紧块配合的锁紧扣(3)，所述驱动机构(2)驱动所述锁紧扣(3)移动至与锁紧块锁合的锁合位置，或驱动所述锁紧扣(3)移动至解除对锁紧块锁合的解锁位置。
2.根据权利要求1所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括第一驱动组件(21)，以及第二驱动组件(22)，所述第一驱动组件(21)用于驱动所述锁紧扣(3)移动至与锁紧块扣合的半锁合位置，所述锁紧扣(3)移动至与锁紧块半锁合位置后，所述第二驱动组件(22)驱动所述锁紧扣(3)移动至锁合位置，以将锁紧块锁紧。
3.根据权利要求2所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述底板支架(1)上设有与其铰接的连杆(4)，所述第一驱动组件(21)设于所述连杆(4)上，所述第二驱动组件(22)用于驱动所述连杆(4)旋转，带动所述第一驱动组件(21)和所述锁紧扣(3)共同移动，所述锁紧扣(3)移动至锁合位置。
4.根据权利要求3所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述连杆(4)包括自其与所述底板支架(1)的铰接点处分别往两方向延伸的第一连杆(41)及第二连杆(42)。
5.根据权利要求4所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述第一驱动组件(21)包括设于所述第二连杆(42)上的第一驱动气缸(211)，所述锁紧扣(3)包括与所述第一连杆(41)铰接的铰接点(31)，与锁紧块扣合的扣合端(32)，以及与所述第一驱动气缸(211)输出端铰接的驱动端(33)；
所述第一驱动气缸(211)输出端缩回时拉动所述驱动端(33)，使所述扣合端(32)绕所述铰接点(31)旋转至扣合在锁紧块上；
所述第一驱动气缸(211)输出端伸出时推动所述驱动端(33)，使所述扣合端(32)绕所述铰接点(31)旋转至脱离锁紧块。
6.根据权利要求4所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述第二驱动组件(22)包括第二驱动气缸(221)，所述第二驱动气缸(221)本体与所述底板支架(1)铰接，输出端与所述第二连杆(42)铰接；
所述第二驱动气缸(221)输出端缩回时拉动所述第二连杆(42)，使所述第一连杆(41)往远离锁紧块的方向转动；
所述第二驱动气缸(221)输出端伸出时推动所述第二连杆(42)，使所述第一连杆(41)往远离锁紧块的方向转动。
7.根据权利要求1或3所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述锁紧扣(3)处于锁合位置时，锁紧块作用在所述锁紧扣(3)上以形成自锁。
8.根据权利要求7所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述底板支架(1)上设有与其铰接的连杆(4)，所述连杆(4)的旋转范围受所述底板支架(1)限制，所述连杆(4)与所述锁紧扣(3)铰接，所述锁紧扣(3)位于锁合位置上时，锁紧块作用在所述锁紧扣(3)上以使所述连杆(4)抵压在所述底板支架(1)上。
9.根据权利要求6所述的一种锁紧装置，其特征在于：所述第二驱动气缸(221)输出端上设有用于与所述第二连杆(42)铰接的鱼眼接头(23)。
10.真空镀膜设备，其特征在于：包括真空镀膜室(5)，以及与所述真空镀膜室(5)配合的靶门(6)，所述真空镀膜室(5)与所述靶门(6)之间设有使两者保持相互锁紧状态或解除锁紧状态的如权利要求1-9任一项所述的一种锁紧装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122533353.6U CN216427386U (zh) | 2021-10-20 | 2021-10-20 | 一种锁紧装置及真空镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122533353.6U CN216427386U (zh) | 2021-10-20 | 2021-10-20 | 一种锁紧装置及真空镀膜设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216427386U true CN216427386U (zh) | 2022-05-03 |
Family
ID=81333217
Family Applications (1)
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| CN202122533353.6U Active CN216427386U (zh) | 2021-10-20 | 2021-10-20 | 一种锁紧装置及真空镀膜设备 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN216427386U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114807889A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-07-29 | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 | 腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置 |
-
2021
- 2021-10-20 CN CN202122533353.6U patent/CN216427386U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114807889A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-07-29 | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 | 腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置 |
| CN114807889B (zh) * | 2022-05-18 | 2023-06-09 | 广东华升纳米科技股份有限公司 | 腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置 |
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Legal Events
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Denomination of utility model: Locking device and vacuum deposition equipment Effective date of registration: 20230508 Granted publication date: 20220503 Pledgee: Zhejiang Haining rural commercial bank Limited by Share Ltd. North Branch Pledgor: Zhejiang Shengbo Intelligent Equipment Co.,Ltd. Registration number: Y2023330000846 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |